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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置
本实用新型公开了一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置，包括贯穿有推杆的气缸，所述气缸缸头设置 有与推杆配合的伸缩爪，所述气缸内设置有第一活塞和第二活塞，第一活塞和第二活塞将气缸内腔分为 前腔室，中腔室，后腔室，其中前腔室位于气缸头部，所述前腔室和后腔室均与大气连通;所述推杆前 端沿轴线设置有多段上小下大的棱台状斜面，中部与第二活塞固定，尾端设置有与大气压连通的第二气 口，所述第二气口与中腔室连通;所述述
武汉大学
2021-04-14
一种单缸双活塞内孔用机械手
本发明提供一种单缸双活塞内孔用机械手，包括气缸、一级活塞(21)、二级活塞(22)和弹簧卡 爪(3)，所述的气缸包括缸体(11)、设置在气缸下端的端盖(12)和设置在缸体内壁的活塞导向套(13)， 所述的一级活塞(21)设置在缸体中部，所述的二级活塞(22)设置在缸体(11)下部，二级活塞(22) 上下端均设有活塞杆;本发明的气缸结构中，将传统的两级气缸结构简化为单缸双活塞结构，两个活塞 将气缸腔
武汉大学
2021-04-14
金属薄板海量群孔/群坑高效加工技术
成果简介在 21 世纪的航空航天、 电子、 仪器、 纺织、 印刷、 医疗器械和汽车等工业领域中， 以微小群孔/群坑为关键结构的零部件使用越来越广泛， 例如光纤连接器、 喷丝板、 电子显微光栅、 微喷嘴、 过滤网、 冷气导管、 印刷电路板、 摩擦副表面用于减磨的微细群坑结构等。 目前， 加工微小群孔的方法主要有： 机械加工、激光加工、 电火花加工、 掩膜电解加工和电子束加工。 但这些加工方式或多或少均存在着一些问题， 机械加工易产生内应力和毛刺； 激光加工效率高， 但其加工后的孔壁有再铸
安徽工业大学
2021-04-14
钢质深孔零件温 (热)挤压工艺及应用
技术原理及特点 ：本研究的应用领域为材料加工工程，特别是钢制件 的塑性加工。本研究针对凿岩机产品中同类零件最复杂的 “转动筒套体 ”， 从正、反挤压 2 方面开展了工艺试验与应用研究，成功开发了 “转动筒套 体”热挤压工艺。 本研究设计应用了一种 “分步脱模 ”机构，解决了经典的正挤压模具结 构存在的制件脱模难这一关键问题，正挤压分步脱模法为国内首创。 本研究在江西省内和凿岩机行业同类零件
南昌大学
2021-04-14
一种单楔式内孔抓紧机械手
本实用新型公开了一种单楔式内孔抓紧机械手，包括气缸和卡爪，气缸内设有第一活塞和第二活塞 将气缸内分为前腔室、中腔室和后腔室三个腔室，前腔室、中腔室和后腔室分别设有可通气的第一气口、 第二气口和第三气口，第一活塞和第二活塞之间的气缸内壁上设有限位块，第一活塞上设有可从气缸顶 部开口伸出的卡爪，第二活塞上设有可自由穿过第一活塞且从卡爪内伸出的活塞杆，活塞杆顶部设有棱 台，卡爪顶部设有弹性爪，弹性爪和棱
武汉大学
2021-04-14
不锈钢玻璃仪器气流烘干器30孔
产品详细介绍玻璃仪器气流烘干器是使用玻璃仪器的各类实验室、化验室干燥玻璃仪器的适用设备。填补了国内空白，它具有快速、节能、无水渍、使用方便、维修简单等优点.该烘干器分B、C型二种型号。B型为改进新型，有调温自动控制装置(可调温40-120℃)，C型为全不锈钢调温型。 规格： (1)12孔 20孔 30孔可依需要任意选择。 (2)标准管、异形管，粗细长度不等，还可根据需要另订制作。 序号 NO. 规格 型号 Type 实用范围 Range 风管尺寸 Air duct Dementions 调整范围 Adjustable range 机型尺寸 Machine Dimension (mm) 重量 Weight Kg 功率 Power 工作电源 Working Pressure 长度 Length 数量 温度 Temp. 精度 Precision W V/HZ (mm) Q ℃ ℃ 1 B 800 ～220/50 170/200 12 20 30 40/120 ±5 400×40 7 8 2 C
巩义市科华仪器有限公司
2021-08-23
纳米银导电墨水
电子元器件对更低加工温度和更小特征尺寸的要求。开发适应低热处理温度、小尺寸加工工艺的纳米银墨水已经成为导电浆料发展的必然趋势。与传统印刷电子工艺相比，喷墨打印导电线路并经过烧结处理，性能优异。
东南大学
2021-04-10
纳米荧光显影剂
研发阶段/n虽然具有荧光性能和磁响应性能的稀土类纳米材料可作为性能优良的显影剂，但是它们的生物毒性限制了其临床使用。羟基磷灰石（HAP）具有良好的生物相容性和生物活性，并且其晶体结构特别适合稀土离子掺杂，可以作为荧光稀土离子如Eu3+和磁响应稀土离子如Gd3+的基质材料。该课题组前期也开展了稀土掺杂HAP荧光纳米粒子的相关研究，证明其具有良好的生物相容性，可用于肿瘤细胞的标记。这些研究都证明稀土掺杂HAP纳米材料是一种性能优异的显影剂，而且多重功能的稀土元素共掺杂HAP可以同时实现多种类型的显影功能
武汉理工大学
2021-01-12
纳米银导电墨水
电子元器件对更低加工温度和更小特征尺寸的要求。开发适应低热处理温度、小尺寸加工工艺的纳米银墨水已经成为导电浆料发展的必然趋势。与传统印刷电子工艺相比，喷墨打印导电线路并经过烧结处理，银导电层的厚度仅为传统蚀刻或印刷方式得到导电层厚度的十几分之一，而导电性却可以与其相媲美。因而喷墨打印方式的出现为无线射频识别(RFID)、有机发光二极管(OLED)、柔性电路板(PCB)、传感器(Sensor)等的发展提供了一种极具竞争力的制造方式。相比于粘稠的微米或纳米银浆料，纳米银墨水具有适合于喷墨打印的粘度、表面张力和更小的尺寸（一般小于50nm），因此成为喷墨印刷电子学及技术的重要关键材料。我们成功发展了纳米银导电墨水，导电相含量15 wt.%，纳米银颗粒纯度高，粒径集中分布于7~17 nm；墨水黏度为3 mPas，表面张力为32 mN/m，经喷墨打印形成的导电线路在低温固化、烧结成膜后具有良好的导电性能：在250℃下烧结20 min后，导电线路的电阻率可达5.3 μΩ´cm；在120 ℃下烧结60min后，电阻率可达10.3 μΩ´cm。
东南大学
2021-04-13