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一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置,其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面,再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝,由光电探测器接收光强信号,然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量,通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量,最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成,信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式,具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学 2021-04-14
医用X线机数字减影血管造影系统(DSA)
本项目基于通用微机的数字减影血管造影图象处理系统,与X线机配合,可实现国际上典型DSA系统的各种功能与指标,且操作使用更适合国人。本项目的特点是真正实现了与进口大型X线机的联接,实现脉冲工作方式下的实时数字减影血管造影,样机在第四军医大学唐都医院替代进口西门子公司的Digitron-2数字减影系统已临床使用2年多,实施诊疗5000余例次,收到了非常好的社会
西安交通大学 2021-01-12
桨叶前缘带旋转圆柱的水平轴风力机
桨叶前缘带旋转圆柱的水平轴风力机。装置示意图如下,包括塔架 5、 水平轴机箱 4、轮毂 3 及桨叶 1,每个桨叶 1,一根可控的绕自身轴线的旋转圆 柱2。
上海理工大学 2021-01-12
桨叶前缘带旋转圆柱的水平轴风力机
桨叶前缘带旋转圆柱的水平轴风力机的研发。装置示意图如下,包括塔 架 5、水平轴机箱 4、轮毂 3 及桨叶 1,每个桨叶 1,一根可控的绕自身轴线的旋 转圆柱 2。
上海理工大学 2021-01-12
船舶主(副)机性能在线监测、诊断系统
本系统为在线监测系统,主要对船舶柴油机在运行中的性能参数进行监测。如柴油机的振动、噪声、油温、输出扭矩、输出转速、缸压、输入扭矩、输入功率、曲轴箱及螺旋桨的变速箱等多个性能指标进行实时多通道采集分析。系统自行对相应的变化做出反应,自动报警。并对测试结果自动打印测试报告。该系统具有黑匣子功能,对故障信号能够自动存储、分析和诊断。
大连理工大学 2021-04-13
一种益生菌培养、烘干一体机
本实用新型涉及一种益生菌培养、烘干一体机,包括箱体、箱门、培养装置、营养液提供装置和烘干装置,培养装置包括培养皿和设于培养皿底部的凸轮,营养液提供装置包括储液筒、泵体、输液管和设于输液管上的喷嘴,烘干装置包括烘干箱、下料管、喷雾器、热风管,下料管一端连接培养皿,另一端连接喷雾器,热风管一端与烘干箱相连通,另一端连接有三通阀,热风管上设有加热装置,三通阀还连接有进风管和冷风管,进风管与鼓风机相连,冷风管与箱体相连通;本实用新型确保培养皿始终处于无菌环境中,避免杂菌感染,凸轮驱动培养皿均匀的摇晃,使得培养皿内益生菌都能获得均匀的光照和营养液,烘干装置快速对益生菌进行快速干燥并维持菌体活性。
青岛农业大学 2021-04-13
光机热一体化设计技术(技术)
成果简介:在航空航天领域,光电仪器受温度影响会产生像移,成像质量会 变差,影响探测。本技术将光学设计、结构设计、有限元分析、光学表面自由曲面面型拟合结合起来,可以分析在恒温和瞬态温度变化的情况下,成像 质量的变化,进而给温控提供准确的技术方案和技术途径。 项目来源:横向项目 技术领域:信息技术 应用范围:航空航天光电探测领域 现状特点:国内领先 技术创新: 本技术将光学设计、结构设计、有限元分析、光
北京理工大学 2021-04-14
一种基于虚拟上位机的数控系统
本发明公开了一种基于虚拟上位机的数控系统,包括设置在远 程服务器上的虚拟上位机、位于本地的数控系统下位机、以及用于人 机交互的人机交互设备,其中人机交互设备用于提供人机交互输入/输 出接口;虚拟上位机上集成有人机交互模块、非实时/半实时性任务执 行单元、以及下位机控制单元,上位机接收数控加工指令并通过非实 时/半实时任务执行单元进行处理以形成机床控制指令,进而通过下位 机控制单元将控制数据利用网络传输至本地下位机;本地下位机控制机床执行实时性的运动控制和逻辑控制。本发明基于虚拟化技术实现 对数控系统上下位机架构的全新设计,解决目前数控系统存在的数据 处理能力、HMI 功能扩展以及远程加工受限的问题。 
华中科技大学 2021-04-11
高清短焦前投互动一体机
产品详细介绍 1、超短焦设计使用时无阴影、不伤眼 2、高清16:10画面比例,在同高的画面上16:10比4:3有较大的书写面积 3、模组化设计使维修容易快速 4、特殊智能控制盒设计只需一键开关即可实现所有操作 5、防雷击设计使系统更安全
擎天力科技(深圳)有限公司 2021-08-23
RD-15D反渗透去离子纯水机
产品详细介绍 产品简介RD-15D反渗透去离子纯水机配置有在线电阻率仪,出水水质一目了然。出水水质:13-16MΩ-cm 25℃,0.077-0.063 µs/cm,脱盐率:近100%,1个反渗透水出水口+1个去离子水出水口,出水量:15升/小时 RD-15D反渗透去离子纯水机详细介绍 RD-15D反渗透去离子纯水机融合各种尖端水处理技术和过程控制方法于一体,将自来水直接转化为超纯水,出水水质完全符合ASTM、NCCLS I级、GB6682-92 I级和GB/T11446-1997 I级等规定的用水要求。广泛适用于化学、生物、制药、医学、微电子、半导体等领域,满足光谱分析、色谱分析、细胞培养、蛋白纯化、分子生物学等的应用要求。精选全球优质组件:● RO膜:美国DOW陶氏、美国FCS● 泵、机箱:美国Kflow● 预处理组件:美国Kflow● 自动控制组件和安全保护装置:美国Kflow、美国Sciencetool融入世界尖端科技:● RO膜采用美国太空总署NASA研发的反渗透技术,脱盐率>99%,除菌率>99.5%● 二级混床保证出水水质,延长超纯柱寿命;特有内循环功能,时刻保证顶级水质● RO膜自动防垢冲洗,24小时全自动运行● 长效预过滤器,2年不用更换,降低使用成本,延长后续过滤组件寿命
上海本昂科学仪器有限公司 2021-08-23
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