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一种光刻机投影物镜波像差的测量方法
本发明公开了一种用于投影式光刻机成像系统的波像差检测方法,包括光刻机成像系统的快速正向模型建立,泽尼克系数灵敏度矩阵的解析求解,检测用掩模图形优化求解,基于单次光强测量的波像差求解。本发明方法通过解析求解无像差时的空间像光强值和泽尼克系数灵敏度矩阵,实现了基于单次离焦空间像光强测量的波像差检测。
华中科技大学 2021-04-14
一种适用于含能材料的搅拌混合机
本发明属于化工生产设备领域,其公开了一种适用于含能材料 的搅拌混合机,其包括驱动电机、行星式齿轮箱、混合釜及桨叶。所 述驱动电机连接于所述行星式齿轮箱的行星传动机构,其用于驱动所 述行星传动机构转动。所述行星式齿轮箱连接于所述混合釜,其还包 括连接于所述混合釜的箱体,所述行星传动机构的行星齿轮连接所述 桨叶,并带动所述桨叶同步转动。所述行星传动机构的齿轮满足所述 行星齿轮的自转公转比为 1。所述混合釜的内壁面为波浪形,且其内 壁面与垂直于所述混合釜中心轴方向的横截面的交线基本为六边形摆 线
华中科技大学 2021-04-14
扬州大学水平轴风力机气弹计算软件V1.0
本软件是基于水平轴风力机空气动力学和结构动力学理论,采用 MATLAB 软件编程开发。 主要用于计算水平轴风力机在非偏航和偏航工况下的气动弹性性能。目前已在国家版权局登记软件著作权,并获证书。
扬州大学 2021-04-14
高效、节能、低碳内燃机余热能梯级利用基础研究
从内燃机能量平衡来看,动力输出功率一般只占燃油燃烧总热量的30%~45%(柴油机)或20%~30%(汽油机),除了不到10%用于克服摩擦等功率损失之外,其余的余热能没有得到利用,主要通过冷却回路的散热以及排气被排放到大气中。因此,将内燃机的余热能回收再利用是提高总能效率、降低油耗的一个有效途径。本项目从提高内燃机总能效率,降低油耗和CO2排放的目的出发,开展内燃机余热能梯级利用的研究,探索新理论和新方法。重点解决:①内燃机联合热力循环非稳态热能流转化规律和效率协同优化;②内燃
天津大学 2021-04-14
一种土压平衡盾构机隧道掘进参数智能控制方法
本发明公开了一种土压平衡盾构机隧道掘进参数智能控制方法, 其特征在于:该方法包括如下步骤:S1:采集数据提取影响盾构机掘 进性能的因素节点,S2:构建影响盾构机掘进性能所述因素节点的拓 扑结构,获取各节点之间的模糊关联矩阵 Wij,S3:构建土压平衡盾 构机掘进模糊控制网络图,根据迭代推理公式动态演化计算各个因素 节点在 t+1 时刻上的状态值,S4:利用所述模糊控制网络图进行多阶 段决策分析,实现对土压平衡盾构机掘进参数的实时分析与纠偏控制。 本发明的方法,通过统筹采用专家先验知识、模糊逻辑、图论
华中科技大学 2021-04-14
精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置,包括增压泵;初级热交换器,其浸液入口与增压泵出口连通,浸液在其中进行热交换,实现浸液温度的初级调控;次级热交换器,其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通,浸液在其中进行再次热交换,实现浸液温度的次级调控;流量伺服阀,其入口与初级热交换器浸液出口连通,与次级热交换器形成并联,用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量,并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节,可实现对浸液温度的两级调控,从而获得温
华中科技大学 2021-04-14
一种适用于空调外机的螺帽装卸装置
本发明属于智能装卸领域,其公开了一种适用于空调外机的螺 帽装卸装置,其包括支撑组件、设置在所述支撑组件上的水平移动调 节组件、可移动的连接于所述水平移动调节组件上的螺帽装卸组件及 固定连接于所述螺帽装卸组件上的视觉识别组件。当所述螺帽装卸组 件到达螺帽安装位置附近,所述视觉识别组件对螺帽安装位置区域拍 摄图像,根据所述图像获得螺帽相对于所述螺帽安装位置的偏移量或 者螺帽的位置信息;所述螺帽装卸组件根据所述偏移量或者位置信息 进行相应移动以调整自身的位置及姿态,进而安装或者拆卸螺帽。本 发明提供的螺帽
华中科技大学 2021-04-14
一种铺带机铺放工艺参数的优化装置
本发明公开了一种铺带机铺放工艺参数的优化装置,包括控制器、底座、直线运动平台以及压力控制机构,直线运动平台包括伺服电机、滚珠丝杠、伺服电机支架、工作平台、一对限位开关、一对直线导轨、一对导轨支架及两对滚动滑块,压力控制机构包括硅胶滚轮、步进电机、一对机械臂支架、支撑板、压力传感器、丝杆、支架、一对固定支座、步进电机支架以及一对滑轨,导轨支架与伺服电机支架固定在底座上,用于分别安装直线导轨与伺服电机,工作平台安装在滚动滑块上,并与滚珠丝杠连接。滚珠丝杠用于在伺服电机驱动下带动工作平台沿直线导轨进行往复
华中科技大学 2021-04-14
组合式教学一体机DB-ZH01系列
产品详细介绍
北京东方中原教育科技有限公司 2021-08-23
MMW-1B数显式立式万能摩擦磨损试验机
产品详细介绍MMW-1B数显式立式万能摩擦磨损试验机   主要用途:         该机以滑动、滚动和复合的形式评定润滑剂和各种材料的摩擦磨损性能。根据用户要求可配有销盘、四球、球-三片、锁-三柱、止推圈、球盘、模拟凸轮、齿轮等多种形式的摩擦副,可以做多种形式的摩擦磨损试验。适用于摩擦学和专业领域,在石油化工、大专院校、研究院(所)等部门具有广泛的用途。  主要技术参数:                              1、最大的试验力:1000N 2、试验力示值相对误差:±1% 3、摩擦力矩测试最大值:2.5Nm 4、主轴转速范围: 0.05~2000r/min 5、试样温度控制范围: 室温~260℃ 6、外形尺寸(长×宽×高)mm:860mm×740mm×1600mm 7、可接记录仪记录温度-时间和摩擦力矩-时间曲线
济南竟成测试技术有限公司 2021-08-23
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