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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
微生物转化生产洛伐他汀中间体 R-J6 的关键技术
他汀类药物(statins)是一类羟甲基戊二酰辅酶 A (HMG-CoA)还原酶选择性抑制剂，能够降低血浆胆固醇和脂蛋白水平，是防治冠心病、脑中风、高血脂、动脉粥样硬化的首选用药。目前，工业化生产他汀类药物侧链关键中间体主要途径为化学合成法，此法反应步聚复杂，条件不易控制，所需手性试剂价格昂贵，污染严重，收率低。而酶法催化生产他汀类药物侧链关键中间体具有工艺简单、周期短、耗能低、专一性强、收率高、提取方便等优点，因而受到越来越多的关注。采用酶法合成瑞舒伐他汀钙侧链关键中间体，体现降耗环保的时代需求；采用非水相体系进行酶催化反应，解决了底物难溶的瓶颈问题。
江南大学
2021-04-11
国家知识产权局办公室 工业和信息化部办公厅关于组织开展创新管理知识产权国际标准实施试点的通知
ISO56005国际标准是由我国提出并推动制定的首个知识产权管理国际标准，是创新管理国际标准体系的重要组成部分。ISO56005国际标准以创新价值实现为核心导向，坚持创新管理与知识产权的深度融合，将知识产权管理活动嵌入创新全过程，通过明确创新过程中的知识产权管理目标、方法和路径，全面提升创新效率、创新质量和创新效益。
国家知识产权局
2023-05-23
教育部办公厅 国家发展改革委办公厅 工业和信息化部办公厅关于开展第二批现代产业学院建设工作的通知
为深入贯彻党的二十大精神，落实国家有关战略部署，培养适应和引领现代产业发展的高素质应用型、复合型、创新型人才，经研究，决定在首批现代产业学院探索建设的基础上，开展第二批现代产业学院建设工作。
教育部
2023-03-14
南京师范大学eLife│生科院郭志刚教授-胡志刚副教授团队揭示RNA甲基化调控DNA重组修复并影响乳腺癌化疗新机制
生科院郭志刚-胡志刚课题组通过研究，深入阐明了METTL3通过m6A-YTHDC1依赖的方式调控EGF/RAD51轴，进而调控同源重组修复和乳腺癌化疗效果的新机制，为乳腺癌等肿瘤的治疗提供了新的靶点和药物开发思路。
南京师范大学
2022-06-14
中国药科大学药学院李微研究员团队发表关于远程导向基团控制糖苷化立体选择性合成复杂活性糖苷的研究成果
李微课题组利用N-phenyltrifluoroacetimidoyl (PTFAI)和2-diphenylphosphinoyl-acetyl (DPPA)这两种基团，分别通过远程导向以高立体选择性实现了多种糖基的α和β糖苷化。
中国药科大学
2022-05-31
北京科研团队实现人工智能四维重建技术提升冷冻电镜分析精度
近日，北京市自然科学基金资助的重点研究专题项目“超高分辨冷冻电子显微镜成像方法研究与应用”取得重要进展。在该项目支持下，北京大学毛有东教授团队于2022年4月27日在国际顶级学术期刊Nature杂志在线发表了题为“USP14-regulated allostery of the human proteasome by time-resolved cryo-EM”的研究论文，阐明了原子水平人源蛋白酶体动力学调控和构象重编程机制，并在国际上首次展示了人工智能四维重建技术用于大幅提升时间分辨冷冻电镜分析精度。
北大科研
2022-05-11
浙江省科学技术厅关于 组织开展省级企业研发机构评价工作的通知
按照我厅工作部署，根据《浙江省高新技术企业研究开发中心建设与管理办法》《浙江省企业研究院建设与管理办法》《浙江省重点企业研究院建设与管理办法》（以下简称《管理办法》），经研究，决定对省级企业研发机构（以下简称“研发机构”）开展2022年度集中评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-07-17
浙江省科学技术厅 关于加强省级科技计划项目科技伦理监管的通知
为贯彻落实中共中央办公厅、国务院办公厅《关于加强科技伦理治理的意见》和省委办公厅、省政府办公厅《关于加强科技伦理治理的实施意见》有关精神，加强省级科技计划项目科技伦理监管，推进科技伦理要求贯穿指南编制、项目申报、审批立项、过程管理、结题验收、监督评估等项目组织实施全过程，促进研发活动与科技伦理良性互动，实现负责任的创新，现就有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-06-28
“老年护理用运动体征与状态监测关键技术与装备”科技成果顺利通过鉴定
2019年12月20日，中国机械工业联合会在杭州组织召开了由浙江大学、浙江福祉医疗器械有限公司联合完成的“老年护理用运动体征与状态监测关键技术与装备”项目科技成果鉴定会。鉴定委员会听取了完成单位的研制等报告，审查了相关材料，经质询和讨论等环节。鉴定委员会同意通过鉴定，并建议加大应用推广力度。
浙江大学
2021-02-01