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一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
本发明公开了一种原子层沉积装置,包括原子层沉积单元喷头,所述单元喷头包括高压气流入口,惰性隔离气体入口通道,出气口通 道,和两种前驱体入口通道,其中所述高压气流入口喷出高压气体以 顶起整个沉积装置,该装置是微型开放式且可移动可扩展,能够适用 于大型非平整结构表面薄膜沉积,并可直接经过简单多块组合,增加 沉积效率。
华中科技大学 2021-04-11
高频辉光放电等离子体化学气相沉积(PECVD)装置
PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)—等离子体化学气相沉积,在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子,提供化学气相沉积过程所需的激活能,相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1)自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号;2)可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境,且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3)专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构,可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构,可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4)该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计,符合产品要求。
北京交通大学 2021-04-13
一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
本发明公开了一种原子层沉积装置,包括原子层沉积单元喷头,所述单元喷头包括高压气流入口,惰性隔离气体入口通道,出气口通道,和两种前驱体入口通道,其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置,该装置是微型开放式且可移动可扩展,能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积,并可直接经过简单多块组合,增加沉积效率。
华中科技大学 2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置,所 述方法,即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动,依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统,基片通过每个原子层沉 积系统时:调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置, 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置;原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统;基片承载台,设置 在原子层沉积反应腔下方;运动平台,与基片承载台连接,带动基片 承载台运动;温度控制装置,设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜,所述装置,能方便的通过现有 原子层沉积系统组装,兼容性强,功耗低,沉积效率高。 
华中科技大学 2021-04-11
双腔微导管及应用其的介入治疗设备
相关专利提出了一种新型的双腔微导管,用于冠脉介入治疗时辅助导丝到位
天津医科大学 2021-02-01
双腔半环面型功率分流无级变速器
成果描述:现已装车使用的金属带式无级变速器,由于金属间摩擦系数的限定以及带抗拉能力的制约,使得其在大扭矩传递中一直没有获得突破性进展。与金属带式无级变速器相比,牵引式半环面型无级变速器借助牵引油在输入锥盘、传力滚轮和输出锥盘接触区间的牵引性能传递运动和动力,极大地改善了接触面间的摩擦条件,提高了半环面型无级变速器的承载能力,适用于中、大排量轿车。由于受牵引油剪切极限和运动构件材料的抗弯曲强度极限的限制,仅由牵引式半环面型无级变速器传递的扭矩无法满足工程机械作业时对大扭矩的需求。双腔半环面型功率分流无级变速器通过功率分流在很大程度上克服了单腔半环面型无级变速器传递功率受牵引油传递扭矩极限限制的缺陷,满足工程机械领域对大扭矩的需求。市场前景分析:根据匹配的柴油机型号,该产品适用于40装载机、18~22吨振动压路机、80水泥拖泵、20~25吨挖掘机、160~180平地机等工程机械。由于实现了无级变速和大扭矩传输,减少了工人作业时频繁换挡的疲劳感,减轻了工人的劳动强度,是工程机械发展的新趋势。与同类成果相比的优势分析:匹配柴油机型号:YC6A200L-T20,标定功率:148kW,转速:2200r/min 变速比:2.5~8; 输出扭矩:1488~3324 . 国内领先。
四川大学 2021-04-11
可调谐外腔式半导体激光器
西安交通大学 2021-04-10
火灾实验炉内腔及试验构件保护装置
本实用新型公开了一种火灾实验炉内腔及试验构件保护装置,包括设置在火灾实验炉中的四根竖直钢管,相邻的竖直钢管顶部之间连接有水平钢管,竖直钢管与水平钢管外均包裹有耐火岩棉,竖直钢管的底部通过可拆卸锚固节点连接在火灾实验炉的底面基础上。本实用新型结构简单、构造合理,在不影响实验效果前提下,能够有效的在火灾实验中对火灾实验炉内腔和试验构件起到保护作用,并且通过可拆卸锚固节点的设置,使本实用新型可重复使用,当保护装置受损时,易于更换修复。
安徽建筑大学 2021-01-12
一种内腔钻孔多刀具加工装置
本发明公开了一种内腔钻孔多刀具加工装置。包括装在箱体内的刀具机构、传动驱动机构和进给机构以及支撑连接在箱体外壁与工件之间的支撑机构;传动驱动机构连接刀具机构驱动刀具旋转,进给机构连接刀具机构控制其径向移动,刀具机构包括沿圆周均布的多组刀具组件,每组刀具组件径向安装并朝向工件内壁。本发明可在零件内腔中同时加工多个周向的盲孔或通孔,加工不需要额外的夹具,装夹十分方便,并且能自动快速定心,大大的提高了加工效率。
浙江大学 2021-04-13
XM-SQ三腔两囊管操作训练模型
XM-SQ三腔两囊管操作训练模型   功能特点: ■ XM-SQ三腔两囊管操作训练模型为成人年男性整体人,解剖标志明显,具有真实的内脏器官。 ■ 关节灵活,可实现多种体位。 ■ 采用高分子材料制成,环保无污染,肤质仿真度高。 ■ 进行三腔两囊管压迫术操作,可模拟胃底静脉出血,进行正确操作后,可有效止血。 ■ 鼻饲:操作正确可抽出模拟胃液。 ■ 洗胃术。 ■ 瞳孔示教:一侧瞳孔散大、一侧瞳孔正常。 ■ 颈动脉搏动可根据模拟病情进行示教。 ■ 导尿术:设有可互换的男女生殖器,正确操作可导出模拟尿液。 ■ 静脉注射:可选择不同类型的穿刺针进行训练,操作穿刺时有落空感,穿刺正确后可有回血,并可进行输液等练习。 ■ 静脉注射手臂及肌肉、皮下注射模块可更换。
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
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