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一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通 道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以 顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用 于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加 沉积效率。
华中科技大学
2021-04-11
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所 述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉 积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置， 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置 在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片 承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜，所述装置，能方便的通过现有 原子层沉积系统组装，兼容性强，功耗低，沉积效率高。
华中科技大学
2021-04-11
高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。
华中科技大学
2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置，包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高效快速的制备多元物质原子层沉
华中科技大学
2021-04-14
固相离子迁移的原位可视化研究
近日，中国科学技术大学俞书宏院士团队与上海交通大学邬剑波教授以及中科大工程学院倪勇教授等开展多方合作，提出并设计了一种利用原位ChemTEM方法定量研究共组装纳米线之间的固相离子迁移过程的新策略（图1）。相关成果发表在《美国化学会志》杂志上。
中国科学技术大学
2021-01-12
玉米茎杆原位刺穿和弯折力测量装置
本实用新型公开了一种玉米茎杆原位刺穿和弯折力测量装置，包括压力测量器、穿刺测量头和弯折力测量头，它还包括C型架和移动横梁，在所述C型架两端内侧设置有滑槽，所述移动横梁的两端位于所述滑槽内，且移动横梁的至少一端与位于所述滑槽内的齿条连接，在C型架上设置有与所述齿条配合的齿轮，所述齿轮与驱动电机连接；在所述驱动电机的外壳上设置有与所述驱动电机连接的正转按钮和反转按钮；C型架的前端设置有固定卡扣；压力测量器的测量端设置有连接头，所述连接头上设置有螺纹孔，在所述穿刺测量头和弯折力测量头的末端设置有与所述螺纹孔配合的螺纹端。本实用新型设计小巧，操作方便，可以拿到田地里直接在玉米株上测量。
青岛农业大学
2021-04-13
北京九州同诚制冷设备有限公司
北京九州同诚制冷设备有限公司主要产品有：工业冷水机、冷却水循环机、低温冷冻机、分体式冷水机组、冷水机（±0.1℃），冷热一体机，螺杆式冷水机组，冷油机等系列。产品应用于焊接机器人、GM制冷机、实验室仪器、真空设备、汽车、电子、冶金、医疗制药、食品、机械重工、石油化工，光学仪器等领域。
北京九州同诚制冷设备有限公司
2024-01-26
双腔微导管及应用其的介入治疗设备
相关专利提出了一种新型的双腔微导管，用于冠脉介入治疗时辅助导丝到位
天津医科大学
2021-02-01
双腔半环面型功率分流无级变速器
成果描述：现已装车使用的金属带式无级变速器，由于金属间摩擦系数的限定以及带抗拉能力的制约，使得其在大扭矩传递中一直没有获得突破性进展。与金属带式无级变速器相比，牵引式半环面型无级变速器借助牵引油在输入锥盘、传力滚轮和输出锥盘接触区间的牵引性能传递运动和动力，极大地改善了接触面间的摩擦条件，提高了半环面型无级变速器的承载能力，适用于中、大排量轿车。由于受牵引油剪切极限和运动构件材料的抗弯曲强度极限的限制，仅由牵引式半环面型无级变速器传递的扭矩无法满足工程机械作业时对大扭矩的需求。双腔半环面型功率分流无级变速器通过功率分流在很大程度上克服了单腔半环面型无级变速器传递功率受牵引油传递扭矩极限限制的缺陷，满足工程机械领域对大扭矩的需求。市场前景分析：根据匹配的柴油机型号，该产品适用于40装载机、18～22吨振动压路机、80水泥拖泵、20～25吨挖掘机、160～180平地机等工程机械。由于实现了无级变速和大扭矩传输，减少了工人作业时频繁换挡的疲劳感，减轻了工人的劳动强度，是工程机械发展的新趋势。与同类成果相比的优势分析：匹配柴油机型号：YC6A200L-T20，标定功率：148kW，转速：2200r/min 变速比：2.5~8； 输出扭矩：1488~3324 . 国内领先。
四川大学
2021-04-11