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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
曲面自适应磁吸附装置
本发明公开了一种曲面自适应磁吸附装置。其电机的外壳与支架固定连接;电机的输出轴与第一磁轮和第二磁轮固定连接,使得电机能够同时驱动第一磁轮和第二磁轮同轴转动;第一磁块、第二磁块和第三磁块与支架固定连接,第一磁轮和第二磁轮位于第一磁块和第二磁块之间,第三磁块位于第一磁轮和第二磁轮之间;所述曲面自适应磁吸附装置在使用时,第一磁轮和第二磁轮的轮面与壁面直接接触,而第一磁块、第二磁块和第三磁块与壁面间存在间隙。本发明所述吸附装置在不同曲率壁面运动时,第一磁轮、第二磁轮、第一磁块、第二磁块和第三磁块与壁面之间的吸附力的变化量互补,总吸附力能保持在一个较小的范围内变化,具有良好的曲面自适应能力。
浙江大学 2021-04-11
大型复杂金属表面等离子体与脉冲放电复合抛光加工装置
本发明涉及一种大型复杂金属表面等离子体与脉冲放电复合抛 光加工装置,目的是解决常规金属表面精密加工和抛光方法的不足及 加工和抛光效率低、易产生加工应力和表层损伤等问题。该装置包括 射频电源、射频电源匹配器、高压直流脉冲电源、脉冲电源极性调节 装置、高压直流脉冲电源阻抗、等离子体炬、加工保护罩、控制电路 和联动机构;本发明是在大气压下对金属的表面的精密加工和抛光, 不需要真空室和特制的抛光液,可降低设备成本并扩大其使用范围。 加工效率是传统抛光方法的几倍,并且是无应力加工,无表面和亚表 层损伤、无表面污染,抛光工件的表面粗糙度可达到 Ra-0.2μm。 
华中科技大学 2021-04-13
基于超音速热喷涂技术的装备关键零部件表面耐磨耐蚀涂层
 许多工业设备往往因为某个关键零部件表面的损坏,导致整个系统效能大幅度降低甚至报废,造成极大地浪费。综合应用先进的表面涂层技术,不仅可以极大延长装备关键零部件的寿命,提高产品质量,甚至可以修复已损坏的关键零部件,实现装备的再制造,达到节能、减排、降耗、环保之目的。 热喷涂技术可使工件表面获得不同于基体材料的特性,具备更优良的强度、硬度、耐磨、耐蚀、耐热、绝缘、导电、密封、抗氧化、隔热、消毒、防微波辐射以及其它各种特殊物理化学性能。它不仅可以再制造修复关键零部件,使报废的零部件
华南理工大学 2021-04-14
小型精密车床
型号: XD0620 产品特点:紧急拍停开关、速度无级可调、四点式转动刀架、全套金属变速齿轮、高精确度。 基于高精密的产品技术,杰出的性能,使用众多的附件可进行多万面的工作。 技术参数 主轴精度:0.02mm机床最大回转直径:250mm最大工件长度:550mm三爪卡盘外径:125mm拖板横向行程:llOmm拖板纵向行程:70mm主轴通孔直径:26mm主轴孔莫氏锥度:MT#4尾轴孔莫氏锥度:MT#2车削公制螺纹范围:0.2~3.5mm车削英制螺纹范围:8~56TPI主轴转速范围(无级调速):50~2500转/分钟输出功率:750W净重/毛重 :115KG/145KG车床外形尺寸:1150mm*560mm*530mm包装尺寸:1220mm*580mm*580mm随机配件:125mm三爪卡盘、莫氏2号和莫氏4号呆顶尖、金属交换齿轮套件、油壶、2把外圆车刀可选配件:11件套车刀、中心架、跟刀架、四爪卡盘、莫氏2号活络顶尖、尾座夹头带锥柄
佛山市先导数码科技有限公司 2022-09-14
轻量化汽车用非调质钢零部件锻造形性调控关键技术研发
致力于高性能非调质钢锻件关键技术研发与应用,通过锻件一体化复合锻造成形技术、非调质钢曲轴和连杆热温复合锻造成形工艺及专用模具、以及非调质钢复杂构件组织性能差异化控制技术等技术,创新性发明了非调质钢在汽车零部件上应用的关键技术,解决了非调质钢强度有余而韧性不足的关键问题。
南京工程学院 2021-01-12
曲面板坯自动钻孔机
本发明公开了一种曲面板坯自动钻孔机,它由电机、框架结构、多轴箱、钻件机构、支撑导向机构和双万向联轴器等零部件组成。以框架结构为基础,电机通过联轴器联结多轴箱,多轴箱主轴通过双万向联轴器联结钻件机构,曲面板坯通过支撑导向机构进行升降、定位,通过钻件机构完成对曲面板坯的钻件动作。本发明的曲面板坯自动钻孔机能够通过双万向联轴器调整钻头空间位置和角度,从而实现对曲面板坯进行多孔钻削加工,并且可以加工不同类型板坯。
浙江大学 2021-04-13
29037曲面镜及支架
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
杂粮深加工技术
杂粮其独特的药用价值和营养保健功能逐渐走上餐桌,成为人们平衡膳食结构的重要品种。虽然杂粮有其独特的功能成分,但许多谷物杂粮食用品质较差,传统的粗加工品口感差,这也是导致杂粮食品消费不多的主要原因。 因此,通过研发杂粮深加工产品,可有效改善杂粮的食用品质,适应人们的需要,为杂粮开拓广阔的销售空间。同时,可以带动杂粮种植业持续发展。 本项目研究开发的杂粮深加工产品可作为早点快餐、休闲食品,集保健食品,食疗防病食品等功能于一体。因此,在早餐谷物食品市场颇具竞争力。在满足人们追求绿色时尚愿望的同时,也为其身体带来美好的感受。
延边大学 2025-02-18
汽车零部件产品设计、强化工艺制定、耐久性评价以及研发能力提高
1. 具有自主知识产权的复杂服役条件下强度与耐久性评价技术:载荷谱处理新技术——有机地结合强度的动态变化特征等的载荷谱处理新技术;强度与耐久性快速试验和评价技术——基于动态强度特征零部件耐久性快速评价技术;复杂载荷下零部件疲劳寿命预测技术——有机的结合载荷强化和损伤特性、基于强度特征的疲劳累积损伤理论进行复杂载荷下汽车零部件寿命预测和评价。   2.基于载荷与强度特性的轻量化设计技术:具有自主产权的基于强度特征的轻量化设计方法——基于零部件载荷谱和强度特征进行轻量化设计,该方法能够充分发挥材料的强度潜能,疲劳强度和疲劳寿命设计更加合理;在零部件的轻量化设计中把静强度、疲劳强度和寿命、热处理要求、动态特性和成本有机结合起来进行,把产品的强度与耐久性延伸到成形工艺和热处理强化工艺,把成形工艺-热处理工艺-产品疲劳耐久性能关系有机的结合起来,成功的应用于等速万向传动中间轴自主开发设计中。
上海理工大学 2021-04-13
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