一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块
本实用新型公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块,包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器,其制备方法为:利用45°刀头将矩形波导切割成三段,由划片机在芯片上切割出四个45°内端面;采用真空电子束热蒸发等对应工艺镀上布拉格反射膜、金属膜以及金属导线和焊点;再用折射率匹配胶将切割镀膜后的矩形波导粘合,同时在内端面狭缝上方一定区域涂上匹配胶;最后通过倒装焊接的方法,将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接,集成于内端面狭缝之上,本实用新型低成本,高速率,可实现多通道传输数据。
浙江大学
2021-04-13