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一种椭偏仪系统参数的优化方法
本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待 优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵 W；然后计算椭偏仪系统矩阵 W 在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算 出每个椭偏仪系统参数下矩阵 W 条件数的最大值与最小值的差值，并 按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏 仪系统参数，重复 n 次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其 n 次优化后最小条件数值与第 n-1 次优化时矩阵 W 最小条件数值之间的 差值，当差值大小满足要求时，则认为第 n 次优化后的椭偏仪系统参 数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优 参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的 优化。
华中科技大学
2021-04-11
椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数，然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点，建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型，最后根据传递函数和随机噪声模型，推导随机噪声的传递模型，从而计算评估系统的随机误差。评估仪器随机误差的一般方法是进行多次测量，然后根据多次测量结果的分布情况评估测量系统的随机误差，本发明方法通过建立随机噪声模型和计算随机噪声传递特性，可以在一次测量中评估椭偏仪测量系统的随机误差。适用于现有多种配
华中科技大学
2021-04-14
旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法
本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法，该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数，其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件，使用待校准光谱椭偏仪进行测量，对测量获得的光强谐波信号进行傅里叶分析，通过傅里叶系数序列计算获取第一个波长点的系统参数，以其作为初值，采用非线性回归算法，通过理论光谱拟合测量光谱，获得第一个波长点的系统参数。并依次以校准获得的第 i 个波长点的系统参数作为初值，拟合获得第 i+1 个波长点的系统参数，进而获得全光谱范围的系统参数。
华中科技大学
2021-04-14
一种椭偏仪系统参数的优化方法
本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵 W；然后计算椭偏仪系统矩阵 W 在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵 W 条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复 n 次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其 n次优化后最小条件数值与第 n-1 次优化时矩阵 W 最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第 n 次优化后的椭偏仪系统参
华中科技大学
2021-04-14
磁弹磁电效应式应力监测装置
一种磁弹磁电效应式应力监测装置，用于铁磁材料构件应力的无损监测，具有磁场发生元件、磁电传感元件、支撑骨架和控制调理仪部分。磁场发生元件在控制调理仪控制下可以根据需要产生磁场，将铁磁材料构件磁化，磁电传感元件，无需供电，直接产生表征磁场或磁感应强度的电信号VME，经控制调理仪分析处理，输出相应于外力变化的磁特征量Vst，利用该磁特征量Vst与构件应力的对应关系，实现对铁磁材料构件的无损应力监测。支撑骨架用来设置磁场发生元件和固定磁电传感元件位置。该应力监测装置可实现对铁磁材料构件应力的在线、实时、无损监测，也可用于离线无损检测。
浙江大学
2021-04-11
齿辊式胡萝卜去土装置
本发明提供了一种用于胡萝卜联合收获机的齿棍式胡萝卜去土装置，包括去土辊传动轴和去土辊单体，单体包括辊齿安装板、去土辊齿和套管焊合件，去土辊齿设置在辊齿安装板上，两个辊齿安装板通过螺栓固定在套管焊合件上，套管焊合件与去土传动轴间通过螺栓连接固定，结构简单，易于拆装维修。去土辊传动轴的两端固定在前机架上，并通过驱动链轮带动其转动。相邻两排的去土辊齿交错分布，提高了清土的工作面积，防止出现漏清的问题。去土辊齿与辊齿安装板的安装孔之间为过盈配合，不仅结构简单，而且拆装方便，便于去土装置的维修、护理。齿辊式去土装置的旋转去土方向与胡萝卜夹持提升输送方向相同，既去除胡萝卜上的泥土，也不至于损伤胡萝卜。
青岛农业大学
2021-04-11
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。
华中科技大学
2021-04-11
城轨新型能馈式牵引供电装置
来源：能馈式牵引供电装置基于国家“十一五”最新科技成果（项目：“城市轨道交通能馈式牵引供电系统及传动系统研制”，编号：2007BAA12B07），并成功申报国家级星火计划项目。 简介：城市轨道交通能馈式牵引供电系统将城市供电网高压交流电转化成供城轨车辆的直流电，其核心产品双向变流器柜，可实现交直流能量双向传输：在列车牵引时向列车提供电能，列车制动时将多余再生制动能量反馈回交流电网，保持直流网压稳定。 亮点：与传统的二极管不控式牵引供电系统不同，新型牵引供电系统采用PWM整流器作为系统中基本的整流器单元，直流侧输出特性完全可控，通过闭环反馈控制可保证牵引接触网的直流牵引电压水平；交流侧可实现单位功率因数运行，同时谐波含量大大降低；在车辆制动过程中，该装置可自动将直流侧累积的过剩能量逆变为交流能量回馈到交流电网，节能效果显著。 产品：能馈式牵引供电系统由变压器、低压交流开关柜、双向变流器柜、直流接触器柜构成。 系统参数：名称参数额定功率2×1000kW （连续）峰值功率125%*额定功率 （一分钟）设备功能整流、逆变、无功补偿直流并联输出电压750V（750-900）直流串联输出电压1500V（1500-2000）功率因数>0.99变流器效率>0.98电流总谐波畸变<3% (计算到51次)冷却方式强迫风冷柜体尺寸1200*1200*2300mm（L×W×H）
北京交通大学
2021-04-13
一种干湿式新风处理装置
本实用新型公开了一种干湿式新风处理装置，包括蒸发器内部风机、空气冷却器、集水盘、冷凝水换热管、新风（经过滤器）入口，冷凝水换热管为“S”型多排管，冷凝水换热管的进口接集水盘出口，承接集水盘内部的冷凝水，冷凝水换热管的出口接室外雨水管。本实用新型可以简单方便的替代或者更换现有存在缺陷的同类装置；有效利用冷凝水的冷量，预冷效果会大大增加；使新风有效降低了显热，间接降低机组能耗；新风预冷端为干式，新风冷却器端为湿式，这种干湿式一体新风处理结构能满足多种工况要求。
安徽建筑大学
2021-01-12
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，
华中科技大学
2021-04-14