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一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形; ②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体, 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小,耗费能量小,制作简单的优点。 
华中科技大学 2021-04-11
一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形;②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体,而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小,耗
华中科技大学 2021-04-14
微型观察级水下机器人
微型观察级水下机器人:满足江河湖泊和近海各种水下观测应用要求。
西北工业大学 2021-05-11
微型缆控水下观测机器人
缆控水下观测机器人(ROV)是一型可以水面遥控水下运动,水下录像水面呈现的潜水器,水下机器人自身携带高强度水下光源以及高清晰广角度摄像机。中性浮力、低水阻力、超强拉力、多芯集成的超细柔性脐带缆来实现水面监控单元与水下机器人之间的数据、电源和视频信号的传输。 技术特点:该微型缆控水下观测机器人采用磁耦合传动技术、直流载波技术、超细中性浮力凯夫拉缆技术、自动航向保持和定深技术、高效水动力外形设计技术,平台具有极大的技术先进性。其操作简便简单,便携小巧。技术指标:     1、高分辨率彩色摄像头,数字变焦与云台控制;     2、3个磁耦合推进器,方向和速度可调;     3、高亮度LED灯组;     4、超细柔性脐带缆;     5、配置深度计和高度计,可实现自动定深操作;     6、配置电子罗盘,自动航向保持;     7、视频与字符叠加,实时状态显示,屏幕菜单操作;     8、数字信号传输,减小信号失真;     9、简易游戏操纵手柄控制;     10、富有美学设计理念的流线型机器造型,静电喷漆外观,硬质氧化水下机身。
天津大学 2023-05-12
生化违禁品快检微型质谱仪
生化(生物及化学)违禁品检查一直以来都是机场、火车站、地铁站等人流密集场所安全检查的重要一环,是保障公共场所安全和社会稳定的重要防范措施。质谱技术是一种高端的生化检测仪器,是实验室生化分析的金标准,但是常规的质谱仪器体积庞大,价格昂贵,不能用于现场检测。 本项目所开发的微型质谱仪创新地采用了高效的连续大气压接口进样模式,在具备高度便携性的同时,可以实现各种形态样品(固、液、气)在大气压条件下的快速分析,技术优势明显。此外,相比于国外类似产品的高昂售价(人民币约80-120万元/台),本项目拟开发的产品可以通过技术创新将其售价控制在40-80万元/台,更有利于打破国外同类型仪器的价格壁垒,实现小型化质谱仪在国内各机场、火车站等场所的推广,快速占据国内市场。
北京理工大学 2022-03-03
一种微型皮拉尼计
一种微型皮拉尼计,属于微机电系统的真空度测量器件,克服现有微型皮拉尼计体积大、灵敏度不够高的问题。本发明在硅衬底上具有凹槽,凹槽表面架有隔热层,隔热层表面覆盖绝缘层,绝缘层上溅射有加热体,加热体的两端溅射有金属电极;所述加热体为形状弯曲的铂或镍金属;所述绝缘层材料为氮化硅或二氧化硅;所述隔热层材料为二氧化硅、氮化硅中的一种或两种。本发明体积小、重量轻而且性能稳定,加热体采用金属铂,它的线性度好、性能稳定、灵敏度高、有良好的化学稳定性;其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。适用于各种大小真空封装
华中科技大学 2021-04-14
脱毒马铃薯微型种薯生产及繁育
项目研究背景及特点: 我国是世界上马铃薯生产最大的国家之一,具 有种植面积大、生产量大、产品市场大、发展潜力大等特点。随着国际经 济的重心东移,中国将成为亚太地区的马铃薯生产、加工和销售基地。近 几年来,我国马铃薯加工业迅速发展,同时东南部经济发达地区种植面积 正在迅速增加,并建立了一些加工原料生产基地和出口创汇生产基地,随 着消费者食物结构的改变,对优质产品的需求增加,随着南方冬闲田的利 用,中原与棉花、玉米套种面
南昌大学 2021-04-14
微型智能传动系统及拓展应用
针对机器人与高端智能装备中对精密减速机的迫切需求,研制开发世界首创的全向轨道摆线减速机,刚性、功率密度、使用寿命等指标均优于国际一流减速机品牌(日本纳博、日本住友、日本Harmonic、斯洛伐克Spinea),传动精度不亚于国际一流减速机品牌,且制造工艺得到显著优化。 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 项目团队在机器人减速机、微型大力矩减速机、油气开采井下智能装备领域的研究成果处于国际领先水平。 针对机器人与高端智能装备中对精密减速机的迫切需求,研制开发世界首创的全向轨道摆线减速机,刚性、功率密度、使用寿命等指标均优于国际一流减速机品牌(日本纳博、日本住友、日本Harmonic、斯洛伐克Spinea),传动精度不亚于国际一流减速机品牌,且制造工艺得到显著优化。
哈尔滨工业大学 2022-08-12
微型脆性材料断裂行为测试装置
本实用新型公开了一种微型脆性材料断裂行为测试装置,包括外框、第一固定件、试样夹具、第二 固定件、压电致动器、力传感器、手动荷载加载装置、力传感器固定件、驱动电源、控制单元和数据采 集单元;外框内沿长度方向依次设有第一固定件、试样夹具、第二固定件、压电致动器、力传感器;手 动荷载加载装置和力传感器固定件分别设于外框的两外端;驱动电源用来给压电致动器提供电场,控制 单元用来控制驱动电源;数据采集单元与力传感器信号连接,用来采集力传感器的输出信号。本实用新 型采用压电致动器施加荷载,荷载控制精度高;结构紧凑,可与显微镜结合获得材料的断裂韧性、裂纹 扩展增韧曲线等数据,以及材料断裂过程及裂纹尖端的微结构演化过程。 
武汉大学 2021-04-13
微型缆控水下观测机器人
成果简介: 缆控水下观测机器人(ROV)是一型可以水面遥控水下运动,水下录像水面呈现的潜水器,水下机器人自身携带高强度水下光源以及高清晰广角度摄像机。中性浮力、低水阻力、超强拉力、多芯集成的超细柔性脐带缆来实现水面监控单元与水下机器人之间的数据、电源和视频信号的传输。技术特点:该微型缆控水下观测机器人采用磁耦合传动技术、直流载波技术、超细中性浮力凯夫拉缆技术、自动航向保持和定深技术、高效水动力外形设计技术,平台具有极大的技术先进性。其操作简便简单,便携小巧。 技术指标: 1、高分辨率彩色摄像头,数字变焦与云台控制; 2、3 个磁耦合推进器,方向和速度可调; 3、高亮度 LED 灯组; 4、超细柔性脐带缆; 5、配置深度计和高度计,可实现自动定深操作; 6、配置电子罗盘,自动航向保持; 7、视频与字符叠加,实时状态显示,屏幕菜单操作; 8、数字信号传输,减小信号失真; 9、简易游戏操纵手柄控制; 10、富有美学设计理念的流线型机器造型,静电喷漆外观,硬质氧化水下机 身。 成果水平:国际先进 应用范围:微型缆控水下观测机器人通过视频搜索并观察水下目标物,广泛应用于河坝巡检、失事船只搜救、水下摄影、水上娱乐、水产养殖、江边垂钓、生态修复和舰船维护等。 市场分析及前景:该平台可以广泛应用于江河湖泊的深度测量测绘,水质监测、水质取样、大众娱乐,视频获取等,科研做为大众娱乐消费品或者儿童玩具进行营销,具有广泛的科研、业务和大众消费需求。 主要技术指标:主体长度:300mm 排水量:小于 2.8kg 最大航速:2m/s 下潜深度:100 米 投资规模:生产线、装配车间等需要大约 100 万的投资。 合作方式:技术转让,转让价格 200 万。 
天津大学 2021-04-11
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