|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
激光焊接中狭窄对接焊缝的测量方法及装置
本发明涉及一种激光焊接中狭窄对接焊缝的测量方法及装置，它将二维和三维视觉信息进行有机融合，通过对 CCD 相机和二个激光平面进行标定，利用含有三条激光条纹的焊缝图像，在同一测量位置获取焊缝中心的三维位置、法矢及焊缝宽度信息。装置包括：远心镜头、CCD 相机、图像采集卡、带通滤光片、计算机，各线光源激光器投射出会聚的三个激光平面，各激光平面在与 CCD 相机主光轴垂直的平面上相交所形成的激光条纹基本平行。第一、第三线光源激光器对称地安装在 CCD 相机的左右两侧，与 CCD 相机的主光轴成 15～60
华中科技大学
2021-04-14
一种短波长光辅助硅片直接键合方法
本发明属于晶圆键合技术，为一种短波长光辅助硅片直接键合方法，其步骤包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③将硅片用短波长光继续辅助活化，活化后取出；短波长光的波长范围为 100～400nm，短波长光照射光强为 5～30mW/cm<sup>2</sup>，活化时间为 0.5～30分钟；④预键合；⑤退火。经过短波长光辅助活化处理后的键合硅片对结合紧密，无需外压力作用就能实现硅硅直接键合。本发明所需设备简单，键合速度快，键合周期短，键合面积大，键合温度低，且在键合强度及键合可靠性上具有
华中科技大学
2021-04-14
一种三维微型模具的制造方法
本发明提供了一种三维微型模具的制造方法，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形，将质量百分比 98％的H2SO4 与质量百分比 30％的 H2O2 按照体积比 2～4∶1 混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗，然后活化，再将活化后的硅片干燥，按层次迅速对准贴合，最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的优点，适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。
华中科技大学
2021-04-14
一种遥感影像圆形油罐自动检测方法
本发明公开了一种遥感影像圆形油罐自动检测方法，首先，对遥感影像进行 MHC 视觉显著变换得 到视觉显著图，再经过数学形态学增强，得到增强视觉显著图，利用 hough 变换在增强视觉显著图上圆 检测，得到疑似油罐区域；然后，对遥感影像进行 turbopixels 过分割，根据特征合并分割块，根据似圆 特征，得到疑似油罐区域；最后，结合由 hough 检测结果和似圆特征检测结果，利用油罐圆心与半径关 系和多特征进行 SVM 分类，过滤掉同心圆和非油
武汉大学
2021-04-14
一种反推水库入库流量过程的测算方法
本发明公开了一种反演水库入库流量过程的测算方法，包括步骤:步骤 1，观测水库坝前水位获得 水库观测水位信息，收集水库出库流量数据;步骤 2，考虑水库入库流量过程连续性，建立优化目标函 数;步骤 3，采用拉格朗日法对优化目标函数中反推水库容量求偏导，获得反推水库入库流量的解析公 式;步骤 4，采用解析公式获得反推水库库容，根据反推水库库容反推获得水库入库流量。本发明能保 证水库入库流量过程光滑，避免流量出现负值或较大波动。
武汉大学
2021-04-14
INS 控制 GNSS 基带的开环跟踪误差分析及控制方法
本发明公开了一种 INS 控制 GNSS 基带的开环跟踪误差分析及控制方法，本发明基于 GNSS/INS 深 组合接收机的闭环跟踪环结构构建 INS 误差与开环跟踪误差间的拉氏域数学模型；采用拉氏域数学模型 分析基于不同精度等级惯导的开环跟踪误差发散规律；基于开环跟踪误差发散规律提出合理的 INS 控制 GNSS 基带的跟踪机制。本发明方法可用于短时间卫星信号不可用的情况，能有效提高 GNSS 接收机信 号跟踪环路的连续性，从而获取较高精度的连
武汉大学
2021-04-14
一种基于显著区域的行人检测方法及系统
一种基于显著区域的行人检测方法及系统，搜集包含行人的正样本及不包含行人的负样本的数据集， 将归一化正样本和负样本为预设尺寸，然后分别从各正样本和负样本中提取协方差矩阵特征作为训练数 据，构成级联分类器；对于输入图像提取有效区域，进行先验概率的分析，对各有效区域提取协方差矩 阵特征，将所得结果输入分类器进行行人检测，得到有效区域是否为包含行人的局部区域，根据贝叶斯 分布由统计学推导出最优结果。
武汉大学
2021-04-14
水泵水轮机第一象限特性曲线理论预测方法
本发明提出一种水泵水轮机第一象限特性曲线理论预测方法，基于水轮机欧拉方程，利用水泵水轮 机转轮进出口直径、转入叶片进出口安放角及导叶开度等几何体型参数，考虑转轮进口的撞击损失、转 轮内及尾水管水头损失和离心力作用项，得到水泵水轮机反―S‖的特性及水轮机区特性曲线。本发明可 适用于抽水蓄能电站中水泵水轮机前期开发设计，为水泵水轮机几何参数对转轮的反―S‖特性影响提供 预测和指导方向；使转轮在水力模型试验之前，为电站前期调节保证设计提供水轮机区初步
武汉大学
2021-04-14
一种花键套端面尺寸检测系统及方法
本发明涉及一种花键套的端面尺寸的检测系统及方法。该系统主要由 CMOS 相机、计算机、为此 系统编写的特定的检测软件、检测系统的工作台、支架等部分组成，并采用了相机标定技术校正光学系 统导致的零件图像畸变，以及图像测量技术实现对零件尺寸的检测，检测结果能够量化、存储及建库管 理。该系统可实现花键套端面尺寸的高精度检测，同时大大提高了零件检测速度，系统操作简单，工作 台体积小，成本低，特别适合花键套的生产厂家在检测过程中装备使用，也可作为计质检部
武汉大学
2021-04-14