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半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起,硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材,其需求日趋增加。同时,基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极,然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染,导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂,严重影响了多晶硅电极的使用性能。 传统制备技术下,设备热场结构单一,熔体流动性差,导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出,难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质(P、 O、N);利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固,进而分离硅中的金属杂质;基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒,并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系;基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺,可应用于刻蚀等半导体制造等领域。 本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持,具有很好的生产示范性,实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗,是一种低成本、环境友好的生产方法,属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广,可大幅增加就业岗位,提高企业的市场竞争力,保护环境。
大连理工大学 2021-05-10
硅晶片线切割用6HSiC微粉材料的研究及产业化
关键工序生产的自动化 ① 粉碎(雷蒙磨)自动控制系统的研发   研制可对粉碎车间雷蒙磨振动下料、粉碎、气流粗分工况进行实时监测、自动优化控制的自动监控系统。将雷蒙磨因堵塞停机造成的故障次数比现阶段减少75%,且提高工效15%以上。    ② 气流分级自动控制系统的研发   研制气流分级机用自动控制系统,具备以下功能:可根据分级轮主机负载实时自动调节喂料速度、根据所设定的风压值自动调整变频器运行、根据生产工艺要求自动向企业综合信息平台实时发送生产工况参数。    ③ 提纯工序实时检测与信息管理系统的研发   开发可对提纯缸、脱水机、烘干炉等主要设备工况进行实时监控的智能化监控仪设备。    ④ 水力分级自动控制系统的研发   研发水力分级设备用自动控制系统,可根据工艺曲线要求自动控制水流量。采用水泵变频控制,变常规的高低液位控制为恒液位控制,液位控制精度达到0.3%;研制出料自动切换装置,实现出料无人值守。 ⑤ SiC冶炼炉在线自动测控装置的研发   研制SiC冶炼炉在线自动测控装置,可按冶炼工艺和炉温自动进行恒功率综合优化控制,炉温控制精度达到2.5级。成果已在工厂正常运行3年。获得4项发明专利授权,5项软件著作权授权 雷蒙磨粉碎自动检测方法及装置                   专利号:ZL200810020792.3 一种提高碳化硅微粉水溢流分级效率的精密控制方法 专利号:ZL200910035173.6 一种燃煤锅炉能效监测方法                      专利号:ZL201110091483.7 阵列式LED照明灯具的中心区域温度动态控制方法  专利号:ZL201210356239.3 一种经济型燃煤锅炉能效监测系统及方法           专利号:ZL201110292517.9 一种低冗余度高可靠性船舶发电机组智能测速装置 专利号:ZL201110058228.2一种手机可遥控的总线型区域供热计量管理系统 专利号:ZL201010134495.9
东南大学 2021-04-13
硅基微纳结构调控太阳光谱提升光伏器件效率的研究
拥有人工微结构科学与技术协同创新中心、固体微结构物理国家重点实验室、半导体节能器件及材料国家地方联合工程中心以及江苏省光电信息功能材料重点实验室等科研平台,在硅基纳米结构材料与性能调控,硅基光子学器件和新型能源器件等基础研究领域具有很强的影响力。近年来,在硅基太阳能电池片研发及其新型结构材料在电池片上应用等方面开展了全方位的研究,承担完成了国家重点基础研究发展计划课题和国家自然科学基金重点项目等相关课题的研究。提出了渐变带隙的纳米硅量子点电池结构,利用渐变带隙进一步拓宽电池的响应光谱范围,发展了包
南京大学 2021-04-14
多晶硅生产冷氢化工艺加热合成反应关键技术装备
实现多晶硅生产冷氢化工艺过程工程化的关键加热系统装置;降低成本40%,减少能耗2/3。8000小时以上无故障稳定运行加热合成反应器关键技术。
常州大学 2021-04-14
一种硅太阳能电池正面银电极用银粉的制备方法
本发明公开了一种硅太阳能电池正面银电极用银粉的制备方法, 包括以下步骤:将硝酸银和柠檬酸溶于去离子水配制得到 A 溶液;将 瓜尔豆胶、抗坏血酸以及硝酸溶于去离子水中配制得到 B 溶液;在搅 拌的情况下,将 A 溶液逐渐滴加到 B 溶液,反应一段时间;静置,沉 淀得到银粉。本发明通过引入瓜尔豆胶为反应离子分散剂、柠檬酸为 粒子表面改性剂,在液相化学还原法下制备得到平均粒径 D50 为 1.0-3.0μm 的银粉,并兼顾
华中科技大学 2021-04-14
基于 SiCx 织构的硅量子点浮栅非易失性存储器及其制备方法
本发明公开了一种基于 SiCx 织构的硅量子点浮栅非易失性半导 体存储器及其制备方法,包括硅衬底,在硅衬底上掺杂形成的源导电 区和漏导电区,以及在源漏之间的载流子沟道上依次生长的隧穿氧化 层、电荷存储层、控制栅氧化层及金属栅层;所述电荷存储层包括 SiCx 织构和横纵向均匀分布于 SiCx 织构中的硅量子点。本发明有效利用硅 量子点-SiCx 织构间的隧穿势垒,构成了控制栅氧化层-SiCx 织构-Si 量子点-SiC
华中科技大学 2021-04-14
季铵盐-氟硅丙烯酸酯嵌段共聚物抗菌涂层材料
成果简介:本发明涉及一种季铵盐-氟硅丙烯酸酯嵌段共聚物抗菌涂层材料。通过可逆加成-断裂链转移自由基或大分子引发剂自由基聚合的方法,制备聚二甲基硅氧烷-b-[聚甲基丙烯酸 N,N-二甲氨基乙酯-b-聚甲基丙烯酸六氟丁酯-b-聚(甲基丙烯酸六氟丁酯-co-甲基丙烯酸羟乙酯)]2 多嵌段共聚物。然后加入 1-碘辛烷进行季铵化反应,制得季铵盐-氟硅丙烯酸酯嵌段共聚物。该方法的优点是反应操作简便,反应条件温和,反应过程具有较好的可控性。制备的多嵌段共聚物具有良好的成膜性和抗菌性能。这种多嵌段共聚物可以广泛应用于抗菌涂层材料。 成果水平: 国内领先 应用范围:广泛应用于织物、室内装饰、建筑物的内、外墙、顶棚或地面、以及家具表面。 市场分析及前景:微生物广泛存在于自然界,通常细菌适宜繁殖生长的自然条件为温度 23℃~38℃,相对湿度为 85%~100%,因此在温湿地区的建筑物内外墙面,以及家具表面等适合细菌生长的表面,它们繁衍迅速.并由此生出各种酶、酸和毒素的代谢产物,从而影响物品的外观与质量,污染环境,危害动植物的生长和人类的健康,我国南方地区多雨潮湿,很容易滋生细菌,抗菌涂料具有筑装饰和防霉作用的双重效果,具有广阔的应用前景。目前抗菌涂料的研发处于初始阶段,具有良好的发展前景。 主要技术指标:抗菌性能: 测试方法:琼脂平板法。 测试结果:在 37℃下,对大肠杆菌、枯草杆菌等进行 24 小时培养,具有显著的抗菌效果。 合作方式:技术转让,100 万元。
天津大学 2021-04-11
固体催化剂制备碳酸丙烯酯工艺
项目简介: 碳酸丙烯酯高能电池电解液.高效溶剂仅用作高能电池及电容器 的优良介质,世界市场所需碳酸丙烯酯 200-300 万吨。酯交换法生产 碳酸二甲酯的所需配套原料碳酸丙烯酯达数十万吨。而目前国内生产 量在 1000-2000 吨,供不应求,市场前景十分广阔。随着社会对绿色 环保的重视,许多工艺会被清洁、环境友好工艺所代替,必然进一步 加大碳酸丙烯酯的市场需求。因其下游产品如碳酸二甲酯、聚碳酸酯、 聚氨酯的不断推广应用,其市场需求量还要不断增加。本产品碳酸丙 烯酯是一种高效溶剂和优良抽提剂,性质稳定、无毒、纯的溶剂对碳 钢设备没有腐蚀,它对高分子化合物具有良好的溶解能力。目前最受 人重视的是用来脱除天然气、石油裂解气、油田气、合成氨变换气中 的二氧化碳和硫化氢,效果显著。在电子工业上可作高能电池及电容器的优良介质,在高分子工业上可作聚合物的溶剂和增塑剂等。也可 以作油性溶剂以及烯烃和芳烃的萃取剂。在纺织工业上可用作合成纤 维的助剂和固定剂、纺丝溶剂或水溶剂染料颜料分散剂;此外,它还 是一种用途极其广泛的有机合成原料和中间体,如酯交换法生产碳酸 二甲酯的原料。 产品市场分析 仅用作高能电池及电容器的优良介质,世界市场所需碳酸丙烯酯 200-300 万吨。酯交换法生产碳酸二甲酯的所需配套原料:碳酸丙烯 酯达数十万吨。而目前国内生产量在 1000-2000 吨,供不应求,市场 前景十分广阔。随着社会对绿色环保的重视,许多工艺会被清洁、环 境友好工艺所代替,必然进一步加大碳酸丙烯酯的市场需求。因其下 游产品如碳酸二甲酯、聚碳酸酯、聚氨酯的不断推广应用,其市场需 求量还要不断增加。现国内市场价格为 7000-8000 元/吨。相关原料价 格:环氧丙烷 7500 元/吨和二氧化碳 300--700 元/吨。 现有技术情况 利用二氧化碳与环氧化物加成反应合成环状碳酸酯早已实现了 工业化,目前的研究主要集中在寻找高效均相催化剂以及非均相催化 剂。现行工艺大多采用均相催化过程,存在着催化剂的回收、循环使 用上的困难;且产物必需经过多步蒸馏等过程分离提纯,既耗时、耗 能,又增加设备的投资。此外,为制得高质量的产品和提高环氧化物 的转化率,许多工艺还得使用挥发性的有机溶剂。这一反应的非均相 催化过程尚未实现产业化,主要受非均相催化剂的活性和稳定性(即 催化剂的使用寿命)所限。 所属技术领域:一碳化学与化工及绿色催化技术,可再生资源的 化学转化利用。选题依据:基于人们对资源和环境问题的关注及实现可持续发展 的社会需求,以消除污染、合理利用资源、实现可持续发展为目标的 绿色化学已成为当前化学研究的热点和前沿。二氧化碳作为一种典型 的可再生资源,具有无毒、无腐蚀性、阻燃、化学惰性,大量存在于 自然界中等特点,无溶剂残留而且对环境友好等优点;同时它也是一 种温室气体,对它的资源化利用,还可以减轻环境负荷。回收再利用 的二氧化碳主要用于生产基本化工原料及具有应用价值的绿色化工 产品。目前,每年大约有 110 MT(百万吨) 的二氧化碳用于化工产品 的合成,如碳酸酯、酰胺、氨基甲酸酯等,具有很高的应用价值和广阔 的市场前景。基于资源和环境因素考虑,二氧化碳的化学转化与利用 吸引着越来越多研究者的兴趣,具有很高的应用价值和理论研究意义。 本工艺的目的 针对固体催化剂活性不高、稳定性不好的问题,设计与筛选高活 性、高稳定性固体催化剂,解决催化剂的回收使用问题和简化产品的 分离、纯化过程,以降低生产成本;用超临界二氧化碳替代有机溶剂, 实现无有机溶剂、对环境友好的清洁工艺过程,即工艺过程的绿色化。 技术内容 高活性、高稳定性固体催化剂的筛选:侧链带有铵盐、胺基等功 能基团的聚苯乙烯树脂能高效、高选择性地催化环氧化物与二氧化碳 反应制备环状碳酸酯。 催化剂的种类:苯乙烯系极性大孔吸附树脂、强碱性苯乙烯系阴 离子交换树脂、大孔弱碱性苯乙烯系阴离子交换树脂、大孔苯乙烯系 螯合性树脂、大孔弱酸丙烯酸系阳离子交换树脂、大孔强酸丙烯酸系 阳离子交换树脂。 上述高活性固体催化剂的回收、再利用。
南开大学 2021-04-11
禾本科杂草除草剂—拿捕净
项目简介: 拿捕净的化学名称为 2-[(1-乙氧基亚氨基)丁基]-5-[2-(乙硫基) 丙基]-3-羟基-2-环己烯-1-酮,是一种具有内吸传导性的茎叶处理除草 剂,对禾本科杂草的杀伤力很强。可用于大豆、棉花、花生、甜菜、 亚麻、油菜、苜蓿、蔬菜、水果及许多其它双子叶作物,防除一年生 及多年生禾本科杂草。敏感的杂草有鼠尾看麦娘、野燕麦、雀麦草、 马唐、稗、蟋蟀草、黑麦草、藜、狗尾草、葡萄冰草、狗牙根、白茅、 石茅等;具有抗性的杂草有紫羊矛及早熟禾;对阔叶作物极为安全, 是阔叶作物田中难得的苗后应用除草剂。 拿捕净由禾本科杂草的叶面迅速吸收,并转移到分生组织中,在 土壤中的残留期短;鉴于这类除草剂具有选择性高、防效高、不用芳 烃原料等特点,近年来世界各国对这类环己二酮类除草剂的研制仍十 分活跃。 我国具有拿捕净所需原料的生产能力,有条件实现拿捕净的国产化以满足农业的大量需求。 南开大学拿捕净小试合成技术已通过省级技术鉴定
南开大学 2021-04-11
复配食品添加剂系列生产制备
复合食品添加剂是指由两种以上单一品种的食品添加剂经物理混匀的食品添加剂。其产品 以物理状态划分主要包括粉剂产品与水剂产品两大类,各类产品生产工艺流程基本相似。不同 的物质,由于其化学组成和结构的不同而具有不同的性质,而当不同物质同时存在时,往往因 为它们相互之间的作用和影响而使其性质发生不同程度的改变。食品添加剂的复合,正是利用 物质的这一性质,改良食品添加剂的性质和功能,使之可以更经济、更有效地应用于更广泛的 范围。复合食品添加剂由于其十分显著的优势已成为食品添加剂发展的方向之一。我国食品添 加剂产业的形成,至今仅有二十几年的时间。改革开放前,我国食品工业落后,食品匮乏,食 品添加剂的市场份额极低,人们对食品添加剂认识也较为模糊。二十多年改革开放和市场经济 的发展,使我国食品工业迅速崛起,成为国民经济的重要支柱产业。我国食品工业以年平均约 13%的速度高速发展,食品工业的繁荣也成了食品添加剂发展的动力源泉,我国的食品添加剂 行业是随着食品工业的发展而迅速发展起来的。与食品紧密相关的食品添加剂也获得了广泛的 开发、生产和应用,食品添加剂工业驶入了快车道。更为可喜的是复配食品添加剂从无到有, 已经开始起步并逐步进入市场。纵观国外食品添加剂发展经历,食品工业和食品添加剂工业发 展到一定阶段,具有强大生命力的复配型食品添加剂会逐渐增加应用市场的份额。
华东理工大学 2021-04-11
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