一种具有纳米异质复合结构的紫外光探测器及其制备方法
本发明公开了一种基于 TiO<sub>2</sub>/ZnO 纳米异质复合结构的紫外光探测器结构,其最底层为基底材料,其上为叉指电极,并覆盖一层 ZnO 薄膜,薄膜之上为 ZnO 纳米棒,纳米棒表面为TiO<sub>2</sub>纳米结构。本发明还公开了所述紫外光探测器的制备方法:(1)在基底薄片上镀上金属电极形成叉指电极;(2)镀上 ZnO薄膜;(3)合成 ZnO 纳米棒阵列;(5)在 ZnO 纳米棒表面形成TiO<sub>
华中科技大学
2021-04-14