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一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法,步骤为:①在基板上刻蚀盲孔;②在基板上沉积一层图案化介电质层;③刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁的介电材料,在基板上形成介电质孔;④在介电质孔上沉积一层导电材料,形成导电孔;⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层,填充导电孔;⑥刻蚀板背面,暴露出导电层,在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;使用二层图案化介电质层,降低了寄生电容,提升了互连电性能,适用于高速和
华中科技大学 2021-04-14
锗硅纳米低维结构的可控制备方法及产品
本发明公开了一种锗硅纳米低维结构可控制备方法及产品,该 方法具体为:(a)清洗硅衬底;(b)在硅衬底上外延生长锗硅合金形成外 延衬底;(c)涂敷电子抗蚀剂,通过电子束光刻技术在电子抗蚀剂上曝 光所需的锗硅纳米低维结构图形;(d)采用干法刻蚀将锗硅纳米低维结 构图形转移到外延衬底上得到样品;(e)去除样品上的电子抗蚀剂;(f) 高温环境下进行氧化和退火,使得氧气优先与硅反应形成氧化硅而锗 被析出;(g)在氮氢混合气氛下
华中科技大学 2021-04-14
微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体
华中科技大学 2021-04-14
一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法
本发明公开了一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法,所述 偏振检测系统包括检偏器、光探测器、硅基液晶驱动模块、控制单元 和用于相位调制的硅基液晶,硅基液晶在硅基液晶驱动模块的驱动下 对待测光进行相位调节,获取一系列偏振光,通过对这一系列偏振光 的分析获取待测光的偏振信息,包括竖直方向与水平方向的振幅及相 位差。本发明的系统在精确可编程控制下,进行偏振态检测与控制, 不受类似于波片的波长敏感性制约;且本发明采用硅基液晶进
华中科技大学 2021-04-14
耐超低温有机硅密封胶生产技术
航空航天器、飞机、导弹、火箭、超低温冷冻机、极寒冷地区工程机械和高速列车等设备,在极低温度条件下运行时,对密封材料要求很高,一旦出现密封效果不佳或不可靠情况,会出现严重后果,极端情况会造成机毁人亡等重特大事故,形成严重的财产和人员损失。密封材料大多采用有机高分子材料,在低温条件下,密封材料中分子热运动减少,分子链段会变得僵硬甚至冻住,使之失去弹性,导致密封效果差甚至失去密封作用。因此密封材料应用于上述设备和地域时,必须采用特殊制备的耐低温硅橡胶才能保证安全及设备的稳定运行。这就要求密封材料必须具备
山东大学 2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学 2021-04-13
承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
产品详细介绍承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
广州市奥力生体育设施有限公司 2021-08-23
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北京锦正茂科技有限公司 2022-07-22
多结构光双目复合视觉焊缝跟踪装置
本实用新型涉及一种多结构光双目复合视觉焊缝跟踪装置,涉及自动焊接技术领域, 特别是焊接机器 人视觉传感技术领域。该装置包括用于向焊缝区域投射结构光条纹的多 线激光发生器(10)、装有窄带滤光 片(1)和中性减光片A(2)的用于采集焊缝特征 激光条纹图像的摄像机A(3)、装有带通滤光片(8)和中性减光 片B(9)的用于采集 激光条纹以外图像的摄像机B(7)、与摄像机A(3)、摄像机B(7)相连的控制器(11) 组成。 综合两摄像机的图像信息可以计算出焊枪当前理想位置,得到与实际位置的差值, 并由控制器转换成模拟信号或无线通信输出,控制焊枪纠偏电动机,实现焊缝自动跟踪 的目的。 
南京工程学院 2021-04-11
一种光控RNA标记新技术
研究开发了 “ 荧光团辅助的 RNA 邻近标记和测序技术 ” ,简称 “CAP-seq” 。   该方法通过可见光激发遗传靶向的光敏蛋白 miniSOG 产生活性氧, 介 导邻近 RNA 分子上的鸟嘌呤与具有生物正交功能把手的氨基探针进行共价交联,既而通过富集纯化与高通量测序检测,实现 miniSOG 定位的亚细胞区域内 转录 组的空间特异性标记与鉴定。 利用 CAP-seq ,他们系统研究了几个亚细胞区域的转录组,包括线粒体基质转录组 、 内质网表面 转录组 以及 线粒体外膜附近转录组。这些研究结果表明 CAP-seq 对 活细胞中开放区域的 RNA 标记具有良好的空间特异性和覆盖度 。 他们在线粒体外膜附近检测到 30 个编码氧化磷酸化途径相关蛋白的 RNA 和多达 55 个编码核糖体蛋白的 mRNA ,这一结果不仅支持了线粒体蛋白在线粒体外膜被翻译后直接转运进线粒体的模型,还暗示着线粒体功能可能与蛋白质的翻译调节有关。 CAP-seq 具有操作简单、空间选择性高、生物相容性好的特点,将成为一项适合于在多种生物系统中研究亚细胞 转录组 的新技术。
北京大学 2021-04-11
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