本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

技术成熟度：技术突破 本成套设备，以电供暖的各个电暖气为控制对象，以建筑内不同房间不同区域的取暖温度为控制参数，自下而上，组成了由单片机现场控制器（控制室单独使用PLC控制器）、PLC中间层算法控制器、工控机为上位机构成监控界面的DCS控制系统，从而实现分散控制集中管理的控制系统。此系统的目的在于替换传统水暖系统，利用合理科学的软件算法，实现节能、环保、减排的效果。设备兼具教学、实验、科研及实用的功能。 成果技术特点：本套装置由四个单片机组成现场控制器，一个PLC组成的控制室控制器，与中间层面的S7-300PLC控制系统，以及顶层监控层的工控机装置，统一安装到了一个整体的平台上。此平台便于实地集中实验、研究，也有利于集中编程与项目演示。 图1 设备实物图 图2 为智能控制系统电脑操作界面

本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，包括下阀体 （1）、依次压叠在下阀体（1）上的基片（3）、上阀体（4）和平面螺旋线圈（6），下阀 体的底部沿径向方向分别设有进液流道（2）和出液流道（11），下阀体的上部设有液体腔 （13），进液流道（2）设有垂直向上的与液体腔连通的流道口，出液流道（11）与所述液 体腔连通；基片（3）上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜（7），下表面镀有具有正磁致伸 缩效应薄膜（9）；平面螺旋线圈（6）通电后，磁致伸缩薄膜驱动器在激励磁场的作用下发 生形变向上弯曲，使得工作流体通道打开，实现液压系统回路的通断。本发明具有体积小、 易于微型化、响应速度快、可控性强等特点。

项目简介： 作为新一代机器人的核心部件，串联弹性驱动单元通过模拟生物 运动特性，进而能够实现精确的力控制，因而被广泛使用于机器人与环境、人类等频繁交互的场景。本成果从串联弹性单元的特性出发， 将串联弹性驱动单元替换传统稳定平台驱动单元，利用弹性元件将载 体扰动的瞬变力通过弹性单元转化为渐变力，有效降低平台受到的外 界扰动 。

其他成果/n本发明提供一种防泥水的轮辋驱动装置及汽车，所述防泥水的轮辋驱动装置包括电机、轮系支座和轮毂。所述电机具有机壳和动力输出轴。所述轮系支座安装于所述机壳外侧，所述轮系支座设有安装腔，所述安装腔内安装有二级行星齿轮减速器，所述电机的动力输出轴连接于所述二级行星齿轮减速器。所述轮毂凹设形成有容纳腔，所述电机的一端、所述轮系支座、以及所述二级行星齿轮减速器伸入所述容纳腔设置，所述二级行星齿轮减速器连接于所述容纳腔的底壁，所述容纳腔形成有脱泥段，所述脱泥段沿朝向所述电机的方向呈扩大设置。本发明能避免泥水进入二级行星齿轮减速器内而导致二级行星齿轮减速器发生损坏。

其他成果/n一种高性能的轮辋驱动装置和汽车，所述高性能的轮辋驱动装置包括电机、轮系支座、轮毂和多个连接轴承。所述电机具有机壳和动力输出轴。所述轮系支座安装于所述机壳外侧，所述轮系支座设有安装腔，所述安装腔内安装有二级行星齿轮减速器，所述动力输出轴连接于所述二级行星齿轮减速器。所述轮毂凹设形成有容纳腔，所述机壳、所述轮系支座、以及所述二级行星齿轮减速器均伸入所述容纳腔设置。所述多个连接轴承均连接于所述轮毂的内侧壁和所述轮系支座的外侧壁之间，所述多个连接轴承的其中之一用以沿该所述连接轴承的径向正对轮辋的中心孔的内侧面设置。本发明能降低二级行星齿轮减速器承受的弯矩。

本实用新型公开了热泵驱动的新型溶液除湿空调系统，压缩机通过制冷剂管路分别连接第一冷凝器、第二冷凝器、蒸发器，第一冷凝器和第二冷凝器通过制冷剂管路连接蒸发器，蒸发器通过冷冻水管路与干式风机盘管连接构成冷冻水循环，蒸发器通过冷冻水管路与换热器连接构成冷冻水循环；第一冷凝器通过溶液管路分别连接再生器、和浓溶液罐，再生器通过溶液管路连接稀溶液罐，稀溶液罐通过溶液管路连接除湿器，除湿器通过溶液管路连接换热器

利用全基因组芯片对52对驱动基因阴性肺腺癌肿瘤组织和相邻正常组织进行候选基因的筛选，通过KEGG信号通路富集分析发现Wnt/β-catenin信号通路在驱动基因阴性肺腺癌中高度激活，并得到41个Wnt/β-catenin信号通路相关的差异表达基因。在实验阶段，课题组运用组织芯片技术(TMAs)和LASSO Cox回归分析进一步对41个候选基因进行筛选，最终构建了一个由CTNNB1、SOX9、DVL3和Wnt2b组成的预后相关classifier（CSDW）。依据CSDW classifier,驱动基因阴性肺腺癌患者可被分为高风险组和低风险组，并且高风险患者的总生存率显著差于低风险患者（[HR]10.42,6.46-16.79;p<0.001）。在验证阶段，课题组收集了内部验证组样本和两个独立的外部验证组样本。经过验证分析，CSDW classifier被证实可作为预测驱动基因阴性肺腺癌患者预后的可靠工具，同时为驱动基因阴性肺腺癌的治疗提供新的靶点。

压电材料是一种智能机电耦合材料，利用压电材料的压电效应可以实现机械能和电能的互相转换，目前压电材料广泛用于压电滤波器、微位移器、驱动器和传感器等电子器件中。压电陶瓷和压电纤维做为一种常用的压电驱动元件通常需要较高的驱动电压和驱动功率，本项目针对不同的压电材料应用需求研发了一系列压电材料线性高电压驱动器。