已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求，微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关，致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术，成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产，最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺，并顺利交付首款三轴加速度计产品。

该项目的支撑课题为哈尔滨工业大学与日本东洋电机制造株式会社合作的国际合作项目。电机类型：三相混合式步进电动机 步距角：；额定电流：6A；最大静转矩：0.7kg·m；空载启动频率：500pps 中空轴三相混合式步进电动机与日本东洋电机株式会社原来使用的五相反应式步进电动机的性能对比如表1所示：

成果简介利用 Visual Basic 开发的零件 CAD/CAE/CAM 系统， 对于简单形状零件可以直接进行零件的设计校核， 对于复杂形状零件如叉头利用 PRO/E 软件参数化设计出零件的三维结构和零件图， 并通过 ANSYS 有限元分析进行强度和刚度的校核，对所有零件进行总装以检查干涉， 对采用数控加工的零件根据三维模型自动生成数控加工程序， 所有三维零件均能 CAD 零件图， 装配图及符合使用和制造工艺要求。通过计算机的辅助设计系统的开发， 联轴器的开发效率得到显

本实用新型公开了一种新型轴径向磁通的调磁电机。包括同轴安装在机壳内的绕组定子、两个永磁定子和调磁转子；绕组定子和调磁转子置于机壳内，分别位于外圈和内圈，两个永磁定子分别位于调磁转子两端并对称安装，绕组定子和永磁定子均固定在机壳上，调磁转子固定在转轴上，绕组定子与调磁转子之间存在径向气隙，两个永磁定子与调磁转子之间分别存在轴向气隙。本实用新型具有自动过载保护功能，与传统调磁电机相比，具有更大的气隙磁密、转矩密度和功率密度，机械可靠性更高，在风力发电、新能源汽车、电动舰船、多电飞机等低速大扭矩应用场合具有广阔的应用前景。

本发明公开了一种铁磁性细长构件轴力检测方法及装置,其方法 包括以下步骤：1)在标样上施加轴力 T0；2)将磁化器吸附在标样上；3)测量标样上的磁感应强度的法向分量和轴向分量；4)计算并得到表征 标样轴力的特征量 1/k0；5)重复测量并计算得到不同轴力下表征标样 轴力的一组特征量，绘制 1/k-T 标定曲线；6)在与标样同类型的被测铁 磁性细长构件上测量轴力特征量 1/k，通过 1/k-T 标定曲线获得被测铁 磁性细长构件的轴力 T。其装置包括磁化器、霍尔元件、磁感应强度 测量装置和数据计算装置。本发明采用磁化器来磁化铁磁性细长构件 以进行轴力检测，因此，现场安装检测操作方便，可方便地实现铁磁 性细长构件轴力的检测。 

本发明属于船舶电力推进领域，并公开了一种多轴电力推进半实物模拟试验平台。该模拟实验平台包括依此连接的开发主机、实时仿真机、电机驱动器和电机组，开发主机用于开发船‑机‑桨模型；实时仿真机用于收集系统状态信息，完成对电机组的控制；电机驱动器分为主动电机和负载电机，电机组分为主动电机和负载电机，电机驱动器和电机组是组成电力推进半实物实验平台硬件在回路模拟的主体。通过本发明，实现船舶或海洋平台电力推进的半实物模拟试验，为研究人员对实际大型船舶和海洋平台多轴电力推进系统的设计、论证和验证提供指导，适用范围广，鲁棒性强，且方便快捷。

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研究领域 以企业的生产需要为出发点，以研发新产品、新设备、新工艺为目标，进行光机电一体化成套设备及新技术的研究与开发，解决企业发展过程中的瓶颈问题。围绕创新制造工艺、机电控制及自动化，开展绿色化、系统化智能机电一体化技术及其在生产过程中的应用研究。主要研究方向有：（1）绿色新能源生产技术及设备（2）特种加工机械（3）新型包装机械（4）根据企业实际需求定制光机电一体化成套设备（生产线）的研发。科研成果及简介 所承担主要项目： 锌空燃料电池极片干嵌法成形过程控制的理论与技术(国家自然基金) ·高速水墨柔性印刷模切机CL1224 （国家科技部） ·机械软起动控制系统的开发（天津市教委） ·柔性传动行星轮差速机构的研究 （河北省教育厅） ·机械液压自动控制软启动系统（石家庄科技局） ·自动分页装订机的开发研究（河北省教委） 横向课题： 纸管机开发（天津巨业衣架制造有限公司） 盘料螺纹钢滚丝机（天津市天鹏建筑器材有限公司） 五金平台自动机械手的研制（庆辉五金制品有限公司） 乒乓胶皮海绵上料系统的研发（天津七二九体育器材开发有限公司） 电池极片卷绕设备（海裕百特锂能设备有限公司） 锂电池极片轧制卷绕线 ； 流延膜挤压收卷装置及控制系统的合作研发； 瓦棱机生产线控制系统的研制； KSQ-500电池极片卷绕设备开发 木工挖船机（威卢克斯有限公司） WS-260卫生巾生产线获奖与专利一种布料机                  发明专利           专利号：200910068754.x一种双向水泥土搅拌桩机      发明专利           专利号：200910069172.3一种双向水泥土搅拌桩机      发明专利           专利号：200910069171.9一种双向水泥土搅拌桩钻杆    发明专利           专利号：200910069170.4一种收获机                  发明专利           专利号：200910069269.4可转让项目 可承担（合作开发）科研项目与技术合作光机电一体化成套设备（生产线）的研发