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14 纳米CMOS 量产工艺中光源掩模协同优化技术
已有样品/n微电子所先导中心韦亚一研究员团队与中芯国际研究团队围绕14 纳米CMOS 量产工艺中光源掩模协同优化技术开展联合攻关并取得显著进展，完成了后段制程中多层关键层的光源优化工作，包括Metal 1X、Metal 1.25X、Via 1X 等。优化后光源通过晶圆数据验证评估，较原有光源在各项关键指标上有显著提升，保证了先进节点中光刻工艺的稳定性。
中国科学院大学
2021-01-12
化工高浓污水催化降解与资源化集成工艺
为解决复杂农药、化工废水浓度高、毒性大，传统工艺难以有效处理这一技术难题，研究开发了多元协同催化氧化强化预处理技术，实现对溶解态、高浓度、难降解、多组分有机有毒废水的高效降解，大大降低废水的生物毒性，提高废水可生化性，保障了后续生化系统的稳定运行，实现大幅度节水减排；同时，面向许多园区和企业污水系统提标升级改造的迫切技术需求，研究开发了以高效低耗臭氧催化氧化为核心的深度处理技术，解决工业废水提标改造难题。
南京工业大学
2021-01-12
微弧离子镀设备研制及镀膜工艺开发
微弧离子镀（Micro-arc Ion Plating，MAIP）技术有机融合了多弧离子镀和磁控溅射离子镀的优点，主要面向于精密制造领域的高端薄膜制备。
南京工业大学
2021-01-12
改良分段进水工艺及优化调控关键技术
北京工业大学
2021-04-14
变极性等离子弧穿孔立焊工艺及装备
北京工业大学
2021-04-14
微弧电泳复合处理工艺开发及装备研制
开发的微弧电泳复合处理装置由微弧氧化电源和微弧电泳处理线组成，该装置结构简单，效果显著，使用的电解液环保无污染，电量消耗低，是在计算机控制下能够自动调节的表面处理设备。在国内外，此技术应用产品属于首创，具有很高的技术含量及先进性。 创 新 点 1、微弧/电泳工艺的运用，使其两种工艺的优势互补，开发的微弧电泳复合膜层的综合使用性能
南京工业大学
2021-04-14
一种电纺丝直写工艺闭环控制方法
本发明公开了一种电纺丝直写工艺闭环控制方法，根据实际喷射时流体的变化，将喷嘴处的液体分成泰勒锥和射流两部分进行控制，即采用高速相机进行形态检测，并将末端信息直接反馈给控制器，能够分别对影响射流和泰勒锥最关键的因素基板运动速度和喷射电压进行调控，从而对电纺丝直写工艺进行闭环控制，取得控制纤维形貌和直径、从而制备高精度阵列化图案的有益效果。
华中科技大学
2021-04-14
一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺，包括步骤：（1）在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ；（ 2 ） 镀 上 银 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 电 场 之 中 ， 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀；（4）去除光刻胶；（5）去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度，由此形成从数十纳米至数
华中科技大学
2021-04-14
聚乳酸类生态友好材料的全绿色合成工艺
利用可再生资源，经绿色化学反应（使用无毒原料、溶剂、催化剂、无污染物生成的定量化学反应）合成生态友好材料，是当今国际材料和环境化学家最重视的前沿研究领域之一，也是涉及到生态环境保护和发展循环经济的重要研究领域。石油基塑料（以石油为始源物生产的塑料如：聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、等）的大量生产及其在国民经济及人类生活中的广泛应用在推动人类文明进步和生活舒适便利的同时，也带来了严重的环境污染问题。因此研发生物可降解的生态友好聚合
南京大学
2021-04-14
一种高温超导线圈及其绕制工艺
本发明公开了一种高温超导磁体线圈及其绕制工艺。线圈包括 环氧筒和多层线圈单元，各线圈单元均由依次布置的低温胶层、聚酰 亚胺薄膜层和超导带材层组成。首先将超导线圈的骨架固定好并对绕 制位置做好标记，在骨架表面均匀涂抹低温胶并用聚酰亚胺薄膜缠绕， 然后等间距铺设聚酰亚胺带，拉紧固定；准备好带材绕线盘之后，将进线端固定于骨架表面，均匀密绕一层超导带材，完成后在带材表面 涂上一层低温胶，同时缠绕一层聚酰亚胺薄膜，并将聚酰亚胺带拉紧、 回铺，重复以上操作至完成整个线圈的绕制。本发明保证了对超导带 材施加了一定
华中科技大学
2021-04-14