|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
超衍射极限纳米光刻机技术
研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook，Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利，依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队，初步建成光学精密制造和检测平台。
华中科技大学
2021-01-12
精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温
华中科技大学
2021-04-14
一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置，其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面，再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝，由光电探测器接收光强信号，然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量，通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量，最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成，信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式，具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学
2021-04-14
一种光刻机投影物镜波像差的测量方法
本发明公开了一种用于投影式光刻机成像系统的波像差检测方法，包括光刻机成像系统的快速正向模型建立，泽尼克系数灵敏度矩阵的解析求解，检测用掩模图形优化求解，基于单次光强测量的波像差求解。本发明方法通过解析求解无像差时的空间像光强值和泽尼克系数灵敏度矩阵，实现了基于单次离焦空间像光强测量的波像差检测。
华中科技大学
2021-04-14
GJ-BS-II步进输出机
电动机通过蜗杆减速器和开式齿轮传动带连杆机构运动，通过连杆机构带动滑车往复运动。当滑车 向前运动时，其上的角形推块推动安放于滚轴上的工件移动，工件移动到一定位置后，滑车后退，角形推块翻转从工件底部滑过，开始下一个工件的推进，从而实现对工件的步进输出。
BS-I型步进输送装置获黑龙江省高等学校教学成果二等奖。
技术参数如下：
①电动机：功率P=180W，转速n=1400rpm；
②电源：380V，50Hz；
③蜗杆减速器：传动比i=50，中心距a=50；
④滑车往复速度：14次/min；
⑤工作台尺寸：长x 宽=900㎜x 155㎜；；
⑥外形尺寸：长x 宽x 高=1070㎜x 400㎜x 385㎜；
⑦重量：140kg；
⑧带工作案桌
哈尔滨工江机电科技有限公司
2023-01-16
东北师范大学物理学院无掩膜光刻机（进口）设备采购竞争性磋商公告
(东北师范大学物理学院无掩膜光刻机（进口）设备采购)的潜在供应商应在（长春市二道区东南湖大路3030号，中资国际工程咨询集团有限责任公司一楼）获取采购文件，并于2020年12月14日13点30分（北京时间）前提交响应文件。
东北师范大学
2021-08-25
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。
华中科技大学
2021-04-11
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，
华中科技大学
2021-04-14
双径向磁场反应式直线旋转步进电机
针对现有国内缺乏既能旋转又能直线运动，并且效率高、功率大的步进电机问题，提出了一种双径向磁场反应式直线旋转步进电机，它既能直线运动，又能旋转运动，甚至能螺旋运动，该电机在直线运动时，能准确地分步直线运动，也能以不同的速度连续直线运动；该电机在旋转运动时，能准确的转角分步旋转，也能以不同的转速连续旋转。比磁阻式直线步进电动机结构简单，由于没有永久磁体，加工工艺简单，在控制方面，只需要单极性驱动电源，因此控制电路也简单，总的成本低，可靠性高。
上海理工大学
2021-04-11
步进电机校准支架
步进电机校准支架，包括一底板，所述底板上安装有可位置调整的传感器安装板和电机安装板，所述传感器安装板上设有传感器安装孔，所述电机安装板上设有电机安装孔和穿设联轴器的通孔，传感器安装孔的轴线低于与电机安装孔的轴线且平行设置，电机安装孔与通孔同轴线设置。本实用新型的传感器安装板和电机安装板上安装好步进电机、传感器，并在步进电机上安装相应联轴器和半金属圆环后，即可进行步进电机的传感器法零位标定，本支架结构简单合理，便于位置调整安装。
浙江大学
2021-04-13