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一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
华中科技大学
2021-04-11
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
华中科技大学
2021-04-11
高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
北京交通大学
2021-04-13
一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
华中科技大学
2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
华中科技大学
2021-04-14
电沉积低温烧结制备氧化物薄膜和微叠层技术
北京科技大学
2021-04-11
一种喷射沉积成形制备大块非晶合金的方法
北京科技大学
2021-04-11
一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置
华中科技大学
2021-04-14
金属有机化学气相沉积工艺和反应器设计
江苏大学
2021-04-14
微波等离子体化学气相沉积金刚石装备及产品
太原理工大学
2021-05-05