一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS

本项目采用真空熔铸方法，解决了 Cu-Cr 合金铸造产生的成分偏析及组织不 均匀问题，得到的显微组织细化、成分均匀化，尤其是合金中 Cr 粒子的细化问 题，大幅度提高耐电压强度，同时又能保持铜的高导电性，触头的小型化才有实 现的可能。本方法还能回收利用生产废料，因此生产工艺更为环保。而且生产成 本大大降低，性能还有所提高。本项目制备的触头材料,性能与国内外同类产品 相比,在导电性,均匀性,组织细化等多方面全面领先。

实验原理   金属中存在大量的自由电子，但电子在金属内部所具有的能量低于在外部所具有的能量，因而电子逸出金属时需要给电子提供一定的能量，这份能量称为电子逸出功。研究电子逸出是一项很有意义的工作，很多电子器件都与电子发射有关，因此研究这种材料的物理性质，对提高材料的性能是十分重要的。另外本实验还可以利用磁控法测量电子荷质比，研究真空中电子能量遵从费米-狄拉克分布。   仪器概述 本实验装置的核心部件是一只理想（真空）二极管和套在理想二极管外的通电螺线管线圈。本实验通过测量金属钨的电子逸出功，将钨丝作为“理想”二极管阴极材料，阳极做成与阴极共轴的圆柱，把阴极发射面限制在温度均匀的一定长度内而又可以近似的把电极看成是无限长的无边缘效应的理想状态。金属电子逸出功(功函数)的测定实验，综合性地应用了里查逊直线测定法、外延测量法、补偿测量法和磁控法等基本方法。在数据处理方面有比较好的技巧性训练。因此，这是一个比较有意义的实验。   仪器特点 独立的理想真空二极管座：理想真空二极管插在独立的管座之上，并且配有透明的亚克力保护罩，既可以直观的观察真空二极管的工作状态，还可以有效地保护玻璃器件。独立的管座上刻有清晰的实验原理图，可以使得学生更好的理解整个实验原理。   精确的阳极电流测量模块：阳极电流测量模块采用微安级电流放大器，采用四位半数显表，测量范围可达0.1uA~20mA，可以准确、精细、稳定地测量到微弱的阳极电流。 稳定的阳极电压输出模块：阳极电压输出采用线性电源，输出幅度达到0~160.0V，可以稳定、高效地提供真空二极管的阳极电压。 便捷的数据采集接口：每个实验电源都配置模拟数据采集接口，可以连接电压传感器和PASCO数据采集软件，可以实时地采集大量的数据来分析测试结果，方便、快捷、高效地完成实验内容。   实验内容及典型数据 实验一：金属电子逸出功的测定 表1：在不同阳极电压和灯丝温度下的阳极电流及其对数值，作　lgIa～√Ua 图，得到不同温度下的截距　lgI 填入表2。     表2: 在不同温度T时所算得的　lg( I / T2) 和　1/T　的值 根据表2作 lg( I / T2) ～1/T 图，求直线斜率 m 直线斜率：m = -22802 逸出电势: φ = 4.53 (V) 逸出功（功函数）eφ = 4.53 eV 与逸出功（功函数）公认值　eφ=4.54eV　相比的相对误差：Er = 0.33%   实验二：电子在径向电场和轴向磁场中的运动（磁控法测量电子荷质比）   实验三：费米-狄拉克分布的研究     实验四：理想真空二极管的伏安特性   部件清单 金属电子逸出功实验仪   BEM-5715    可调直流 (恒压恒流) 电源I，12V/1A   BEM-5055    理想真空二极管盒   BEM-5716    螺线管线圈   BC-105236    连接导线，2mm护套香蕉插头，红   BC-105238   【2】 连接导线，2mm护套香蕉插头，黑   BC-105239   【2】 连接导线，4mm香蕉插头，红   BC-105084    连接导线，4mm香蕉插头，黑   BC-105083    连接导线,4mm护套香蕉插头1m, 红   BC-105074    连接导线,4mm护套香蕉插头1m, 黑   BC-105073    电源线   BC-105075    用户手册   CD-M-BEX-8510B  

产品详细介绍深圳经济型恒温恒湿箱大型生产厂家参数规格：1.产品名称:可程式恒温恒湿试验箱2.产品型号:WHTH-80L（150L/225L/408L/800L/1000L）-0（-20-40-70）-880     3.试样限制:试验设备禁止:a.易燃、易爆、易挥发性物质试样的试验或储存b.腐蚀性物质试样的试验或储存c.生物试样的试验或储存d.强电磁发射源试样的试验或储存e.放射性物质试样的试验或储存f.剧毒物质试样的试验或储存g.试验或储存过程中可能产生易燃、爆炸、挥发、剧毒、腐蚀及放射性物质的试样的试验或储存4. 深圳经济型恒温恒湿箱大型生产厂家容积、尺寸和重量:4.1.标称内容积:80L/150L/225L/408L/800L/1000L         4.2.内箱尺寸W×H×D(cm):80L:40×50×40/150L:50×60×50/225L:50×75×60/408L:60×85×80/800L:100×100×80/1000L:100×100×1004.3.外箱尺寸W×H×D(cm):80L:92×136×97/150L:102×145×107/225L:102×161×118/408L:112×171×128/800L:155×184×129/1000L:155×184×1474.4.重量:约450KG以内     5. 深圳经济型恒温恒湿箱大型生产厂家性能：5.1.测试环境条件：环境温度为+5~+28℃、相对湿度≤85%、试验箱内无试样条件下5.2.测试方法：GB/T 5170.2-2008 温度试验设备、GB/T 5170.5-2008 湿热试验设备5.3.温度范围：0℃/-20℃/-40℃/-70℃～+150℃5.4.控制精度：a.温度：±0.2℃（控制器设定值和控制器实测值之差）b.湿度：±2.5%（控制器设定值和控制器实测值之差）5.5.温度波动度：≤0.5℃（温度波动度为中心点实测最高温度和最低温度之差的一半）5.6.温度误差：≤±1℃（工作室温度控制器显示值的平均温度减去中心点实测的平均温度）5.7.温度均匀度：≤2.0℃（温度均匀度为每次测试中实测最高温度和最低温度之差的算术平均值）5.8.升温速率：3℃/min可调（非线性空载）从-40℃升温至100℃时间＜46MIN5.9.降温速率：1℃/min可调（非线性空载）从20℃降温至-40℃时间＜60MIN5.10.湿度范围（仅湿热型）：（20～98）%RH（参照温湿度可控制范围图，无有源湿、热负载）温湿度可控制范围图：（联系伟煌黄生，手机：15907698723） 5.11.相对湿度误差（仅湿热型）:±2.0%RH5.12.工作噪音:A声级≤65dB(A) (在环温25℃，回声少的隔音室内测得；采用A计权，测试8个点的平均值；各测试点水平离噪音源1米、高度离地面1米)5.13.满足试验方法:GB/T2423.1-2008(IEC60068-2-1:2007) 低温试验方法 AbGB/T2423.2-2008(IEC60068-2-2:2007) 高温试验方法BbGJB150.4-1986低温试验 GJB150.3-1986高温试验GB/T2423.3-2006(IEC60068-2-78:2007)恒定湿热试验方法CabGB/T2423.4-2008(IEC60068-2-30:2005) 交变湿热试验方法DbGJB150.9-1986湿热试验（图1、图2）（每立方米负载不大于35kg/m3钢的热容量，湿热试验时无有源湿、热负载）适用范围：深圳经济型恒温恒湿箱大型生产厂家主要为航天、航空、石油、化工、军事、汽车（摩托车）、船舶、电子、通讯、塑胶、光电LED照明等科研及生产单位提供温湿度变化环境，供用户对整机（或部件）、电器、仪器、材料等作温湿度试验，以便考核试品的适应性或对试品的行为作出评价。是新产品研制、样机试验、产品合格鉴定试验全过程必不可少的重要试验手段。

产品详细介绍深圳小型恒温恒湿试验箱大型生产厂家产品特点：1、试验系统结构设计先进合理，制造工艺规范，外观美观、大方。2、该试验箱主要功能元器件均采用世界名牌配置（含金量高）、技术原理先进可靠、噪音与节能得到最佳控制——其性能可替代国外同类产品。3、零部件的配套与组装匹配性好，主要功能元器件均采用具有国际先进水平的原装进口件，提高了产品的安全性和可靠性，能保证用户长时间、高频率的使用要求。4、设备具有良好的操作性、维护性、良好的温度稳定性及持久性、良好的安全性能、不污染环境及危害人身健康。5、控制柜内所有电线均有专用设备打印制作的序号和编号，线路清楚，一目了然。深圳小型恒温恒湿试验箱大型生产厂家参数规格：1.产品名称:可程式恒温恒湿试验箱2.产品型号:WHTH-80L（150L/225L/408L/800L/1000L）-0（-20-40-70）-880     3.试样限制:试验设备禁止:a.易燃、易爆、易挥发性物质试样的试验或储存b.腐蚀性物质试样的试验或储存c.生物试样的试验或储存d.强电磁发射源试样的试验或储存e.放射性物质试样的试验或储存f.剧毒物质试样的试验或储存g.试验或储存过程中可能产生易燃、爆炸、挥发、剧毒、腐蚀及放射性物质的试样的试验或储存4.容积、尺寸和重量:4.1.标称内容积:80L/150L/225L/408L/800L/1000L         4.2.内箱尺寸W×H×D(cm):80L:40×50×40/150L:50×60×50/225L:50×75×60/408L:60×85×80/800L:100×100×80/1000L:100×100×1004.3.外箱尺寸W×H×D(cm):80L:92×136×97/150L:102×145×107/225L:102×161×118/408L:112×171×128/800L:155×184×129/1000L:155×184×1474.4.重量:约450KG以内     5.性能：5.1.测试环境条件：环境温度为+5~+28℃、相对湿度≤85%、试验箱内无试样条件下5.2.测试方法：GB/T 5170.2-2008 温度试验设备、GB/T 5170.5-2008 湿热试验设备5.3.温度范围：0℃/-20℃/-40℃/-70℃～+150℃5.4.控制精度：a.温度：±0.2℃（控制器设定值和控制器实测值之差）b.湿度：±2.5%（控制器设定值和控制器实测值之差）5.5.温度波动度：≤0.5℃（温度波动度为中心点实测最高温度和最低温度之差的一半）5.6.温度误差：≤±1℃（工作室温度控制器显示值的平均温度减去中心点实测的平均温度）5.7.温度均匀度：≤2.0℃（温度均匀度为每次测试中实测最高温度和最低温度之差的算术平均值）5.8.升温速率：3℃/min可调（非线性空载）从-40℃升温至100℃时间＜46MIN5.9.降温速率：1℃/min可调（非线性空载）从20℃降温至-40℃时间＜60MIN5.10.湿度范围（仅湿热型）：（20～98）%RH（参照温湿度可控制范围图，无有源湿、热负载）深圳小型恒温恒湿试验箱大型生产厂家温湿度可控制范围图：（手机：15907698723黄先生） 5.11.相对湿度误差（仅湿热型）:±2.0%RH5.12.工作噪音:A声级≤65dB(A) (在环温25℃，回声少的隔音室内测得；采用A计权，测试8个点的平均值；各测试点水平离噪音源1米、高度离地面1米)5.13. 深圳小型恒温恒湿试验箱大型生产厂家满足试验方法:GB/T2423.1-2008(IEC60068-2-1:2007) 低温试验方法 AbGB/T2423.2-2008(IEC60068-2-2:2007) 高温试验方法BbGJB150.4-1986低温试验 GJB150.3-1986高温试验GB/T2423.3-2006(IEC60068-2-78:2007)恒定湿热试验方法CabGB/T2423.4-2008(IEC60068-2-30:2005) 交变湿热试验方法DbGJB150.9-1986湿热试验（图1、图2）（每立方米负载不大于35kg/m3钢的热容量，湿热试验时无有源湿、热负载）

       B13-3智能恒温数显定时磁力搅拌器采用直流三相无刷电机驱动。控温采用智能Pid方式自动控温，台面温度、液体温度均可设定、控制、显示。电子定时，精度高。定时时间长达9999分钟。具有温度、转速、双数显功能。

        HW18-2红外智能磁力搅拌器是取代电热套、油浴锅等老式加热方式。控温采用Pid自动控温，加热采用红外线辐射，有微晶玻璃隔联，使用更加安全，控温更精确，温冲小，使用寿命更长，搅拌转速能恒速，低速50r/min也很恒定，以10r/min一级递增，转速显示很正确。定时时间长达9999分钟，具有温度、转速双显示。

已有样品/n一种冰核蛋白-超声波协同提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度的方法。　　成果简介：一种冰核蛋白-超声波协同提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度的方法，属于食品工程技术领域。本发明具体涉及在-15-20℃下通过冷冻浓缩法来制备柑橘浓缩汁，将10-50μg/mL冰核蛋白溶解于柑橘汁中，同时施加频极电流为0.2-0.5A的超声波，超声波频率为25MHz，超声波处理时间为0.5-2min，通过适当的搅拌使柑橘汁受到均匀的超声波作用，能够提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度5-8℃，并且快速形成冰晶。本发明方法节能

该装置克服现有太阳能集热装置不能实现与建筑物的真正集成和一体化，既无法做到有效的防风、防雷，容易造成安全隐患，更难以提高建筑围护结构的保温、隔热水平。使该装置不但使其在外观上实现与建筑一体化，而且在功能上也实现与建筑的一体化，在高效集热的同时，对建筑具有保温隔热作用。所适用的建筑围护  结构类型可以是外墙面或者屋顶，集热装置既可为单个的太阳能集热模块，也可为多个太阳能集热模块组成的集热器阵列。 本装置的优点是： 1.现了集热器与建筑集成，不但实现了外观上的一体化，而且实现了功能上的一体化。 2.高建筑围护结构的冬季保温水平和夏季的隔热水平。 3.护建筑表面，建筑围护结构不与外界环境直接接触，减少太阳能辐射对墙体的照射以及风雨的侵蚀，建筑外表面的温度和湿度变化大大减小，可大幅提高建筑构件的使用寿命。 4.高太阳能集热效率，腔室内空气温度在冬季高于环境温度，集热装置热损失将有所减少，效率有所提高。 本装置所适用的建筑围护结构类型既可以是外墙，包括直立或者倾斜墙面、阳台护栏墙，也可以是屋顶，包括平屋顶或者坡屋顶等；既可以应用于新建建筑中，也可直接应用于既有建筑的墙体或者屋顶节能改造，在添加太阳能热水系统的同时，完成节能改造。

一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封