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全自动激光晶圆划片机系统
电路是以晶圆为载体，采用一定的工艺，把电路中的元器件和布线制作在晶圆片上，封装为 一个整体，使晶圆上每个晶粒成为具有所需电路功能的微型结构。晶圆切割的过程是将集成有 电路的整片晶圆通过划切分割成单个的晶粒，切割过程又是一种无法恢复的过程，因此，材料 和制造成本的积累以及工艺的不可重复性决定了切割工艺成为整个集成电路制造过程中最关键 和难度最大的工艺环节。 精密机械：可加工的晶圆最小直径可达50mm，在晶圆里面印刷有晶格，每个晶格的宽度 为200μm，晶格间距约为20μm，所以设备的切割精度要求控制在2μm以内，每小时切割15片。 运动平台采用高精度的直线电机平台，定位精度为2μm，重复定位精度为1μm；旋转平台的定 位精度为30″，重复定位精度为4″。 计算机自动控制：划片机系统将根据客户要求以及配合视觉检测系统传输的晶圆数据，自 动生成切割路径，在规定的工作时间内完成晶圆的切割。
华东理工大学
2021-04-11
基于视觉的绣布激光切割系统
成果介绍基于DST文件和视觉的激光切割系统，目前该系统已经获得国家发明专利授权。该技术通过全景视觉摄像机和算法一次性切割轨迹。技术创新点及参数一次性的获取整幅布料上所有绣片的图像信息，结合DST文件进行图像处理，获取出所有绣片切割轨迹，进行修正原来DST文件中的切割轨迹。市场前景服装加式
东南大学
2021-04-13
一种激光干涉位移测量系统
本发明公开了一种激光干涉位移测量系统。包括激光器、起偏 器、消偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、1/4 波片、角锥镜、平面反射镜 和光电探测器。测量光入射移动角锥镜，由角锥镜位移引起原路反射 回来的光的光程变化是角锥镜位移的四倍。该设计中通过偏振光学原 理使测量光沿相同方向总共两次进出移动角锥镜，实现测量光与参考 光光程差变化与角锥镜位移的八倍程关系，从而实现对位移的光学八 倍细分测量。该系统具有测量分辨率高、测量结果准确的优点，且结 构上安装方便、简单，价格低廉，适用范围广。
华中科技大学
2021-04-14
特大型齿轮激光跟踪在位测量系统
目前，国内外主要利用三坐标测量机和齿轮测量中心进行大齿轮的测量，这种仪器可测量的齿轮最大直径不超过 5m，且价格昂贵。本项目利用激光跟踪仪的大尺寸测量和三坐标测量机的高精度测量能力， 将两者结合起来，利用激光跟踪仪进行被测齿轮和三坐标测量平台定位，利用三坐标平台完成齿轮特征 线高精度测量，研制出可测量外径Ф3000 ~ 10000mm、最小模数 6mm、精度 6-7 级及以上，具备测量齿轮几何参数、齿廓、齿向（螺旋线）、接触线、齿厚及齿面拓扑误差等功能的特大型齿轮测量系统，填 补了直径达 10m 的大型齿轮测量空白。项目获国家发明专利 14 项，软件著作权 7 项，发表论文 20 篇。
北京工业大学
2021-04-13
多波段拉曼-荧光激光雷达系统
激光与大气颗粒物可同时发生多种物理相互作用，它们反映了颗粒物的浓度、成分、大小、形状等重要性质。该系统采用高功率激光器向大气同时发射三束紫外、可见和近红外激光，并利用大口径望远镜接收被大气污染物反射回来的信号，克服了微弱信号提取、多通道信号抗干扰、荧光光谱信号处理等核心技术，对这些微弱信号进行分光、提取，探测米散射、偏振、拉曼和宽谱荧光等 37 个通道的信号， 可遥感获知大气污染物的重要性质。
兰州大学
2021-01-12
特大型齿轮激光跟踪在位测量系统
北京工业大学
2021-04-14
隧道掘进施工导向系统的电子激光靶
隧道掘进施工导向系统的电子激光靶，属于定位测量装置，可用于矿井、水工隧道、地铁隧道、市政管道、共同沟等领域，本发明在筒状机箱内沿轴向依序装有棱镜、平凸透镜、位置敏感传感器、倾角计和处理电路；位置敏感传感器的光敏面位于平凸透镜的焦平面上·78·且与平凸透镜轴线垂直，该光敏面的中心在轴线上；位置敏感传感器与处理电路电信号连接。本发明将 ELS 与棱镜合二为一极大地减小ELS 的体积，简化操作，直接利用全站仪的红外线，经凸透镜聚焦，打在处于焦平面上的位置敏感传感器上，产生电流，经处理产生信号输出到外部计算
华中科技大学
2021-04-14
高温超导电动悬浮列车静悬试验台超导磁体的自由度控制与安全防护系统研究
技术成熟度：技术突破
1.原理：结合磁浮列车极端运行工况，充分考虑运行环境的强磁场，深入研究机-电-磁耦合机制，精确调节磁体悬浮姿态，以实现超导磁体在液氮温区（-196℃）自稳定悬浮。
2.创新点：
（1）研发国产化低功耗悬浮控制模块，能耗较进口设备降低35%；
（2）突破-196℃环境下多系统协同控制技术，填补国内工程化应用空白。
3.应用场景：
（1）高速磁浮列车静悬试验台
（2）精密仪器运输平台
（3）航空航天地面测试装备
4.应用案例：前期开发的自由度控制系统，已被合作团队应用且效果较好。
长春工业大学
2025-05-20
基于VCSEL的固态激光雷达探测系统
当前限制基于VCSEL的激光雷达系统发展的主要原因是大部分VCSEL的发射功率较低，导致系统可探测的距离较短。本项目提出开展基于垂直腔面发射半导体激光（VCSEL）光源模块的固态激光雷达研究的新思路。VCSEL的结构特点有利于并联形成二维面阵结构，一次性发射一整个面的激光光束，一次性获得的信息量远大于传统扫描式激光雷达。同时省去了机械扫描部分，结构更加自由紧凑，大幅度减小车载激光雷达的体积和成本。
复旦大学
2021-04-10
基于激光测风后向散射回波测试系统
北京工业大学
2021-04-14