一种六自由度磁浮微动台
本发明涉及一种六自由度磁浮微动台,包括布置在微动台动子基板的两自由度电磁力驱动单元,驱动微动台实现 X、Y、Z、θ<sub>x</sub>、θ<sub>y</sub>、θ<sub>z</sub>6 个自由度的运动。每个两自由度电磁力驱动单元包括粘接永磁体、竖直向、水平环绕线圈,粘接永磁体由三块磁化方向不同的永磁体粘接而成,固定在正方形托盘底部;竖直向线圈提供垂向力,水平环绕线圈提供水平力,二者都固定在定子上。本发明线圈部分磁通密度大,磁感线方向、电流方向、目标推力方向相互正交,使其在单位电流下获得较大推力,由电磁力直接驱动,不存在机械摩擦,具有较高的位移分辨率,而且结构简单、紧凑,易于安装调试,可用于在微米行程实现纳米级定位的超精密加工和半导体制造中。
华中科技大学
2021-04-11