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一种可调薄膜体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种可调薄膜体声波谐振器及其制备方法,该制 备方法包括步骤 S1:在洁净的 Si 衬底上制备阻挡层;S2:在阻挡层上 制备布拉格反射栅,布拉格反射栅由不同声波阻抗薄膜构成;S3:在 布拉格反射栅上依次制备粘附层和底电极;S4:在底电极上制备多层 异质结构,并作为体声波谐振器的压电层;多层异质结构由 BST 薄膜、 BZT 薄膜或 BZN 薄膜构成;S5:将多层异质结构进行退火处理后形成 晶化薄膜;S6:在
华中科技大学 2021-04-14
一种多层薄膜微结构自对准制备方法及装置
本发明公开一种多层薄膜微结构自对准制备方法,通过分隔板将喷头内腔体纵向分为至少两个腔室,在各腔室内注入不相溶的高分子溶液,并汇聚于喷头的喷嘴处;施加高压静电场,同时驱使接收板做平面直线运动,在高压静电场作用下喷嘴处的溶液变形成泰勒锥,从泰勒锥尖端拉出射流,射流中的多种高分子材料先后沿着接收板运动的方向进行静电纺丝,形成多层薄膜微结构。本发明还公开一种实现上述方法的装置,分隔板纵向设于喷嘴内,将喷嘴内腔体分隔为至少左右两个腔室;在喷嘴端部设有端部盖板,端部盖板与喷嘴端部之间设有密封片;喷嘴的侧面开有溶
华中科技大学 2021-04-14
一种基于激光加热固膜的驻极体薄膜制备方法
本发明公开了一种基于激光加热固膜的驻极体薄膜制备方法, 包括:将导电基材层固定于旋涂、喷涂或者刮涂设备上,并配置适当 的驻极体纳米颗粒悬浮液;通过调整旋涂速度、喷涂速度或者刮涂厚 度参数使得驻极体悬浮液均匀覆盖,然后对驻极体悬浮液的溶剂执行 蒸发处理,由此在导电基材层上形成具备一定厚度的驻极体材料层; 采用激光加热设备将激光照射到驻极体材料层表面上,由此利用激光 照射产生的热量使得驻极体纳米颗粒融化并相互连接,由此制
华中科技大学 2021-04-14
一种钙钛矿薄膜光伏电池及其制备方法
本发明涉及一种钙钛矿薄膜光伏电池及其制备方法。所述的钙钛矿薄膜光伏电池是由导电透明衬底、 钙钛矿吸光层、空穴传输层和金属电极组成的。本发明的优点是:该钙钛矿薄膜光伏电池器件结构极其 简单,省去了传统的需要高温烧结的电子传输层,也不需要多孔层,钙钛矿材料本身既做吸光层也起电 子传输作用,所以不需要电子传输层。这里的钙钛矿材料对光具有非常强的吸收,整个电池也是低温制 备,不需要高温烧结等复杂过程,这有效地降低了电池的制作成本。对电池的柔性化和大面积
武汉大学 2021-04-14
用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 现有物理气相沉积(PVD)制备多元薄膜材料采用合金靶材作为靶源,生产过程中,薄膜成分的调控范围受安装的合金靶材的成分比例的限制。如果预期获得纳微复杂结构的复合薄膜,按照常规技术路线需要上百块成分连续变化的合金靶材,这显然是无法实现的。同时,采用合金靶材制备某些多元薄膜时,需要特高纯度的或极端成分比例的靶材作为靶源,这类特殊靶材以现有技术难以制造。 为此,本发明研发出一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法,利用本发明技术有助于新材料的研发和促进半导体器件、切削刀具涂层等高新技术的发展。
武汉理工大学 2022-08-12
一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法
本发明公开了一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法,其包 括的成分及该成分的原子百分比含量分别为:14.0~22.0at.%Cr,6.0~ 16.0at.%Mo,4.0~7.0at.%B,4.0~20.0at.%C,0.0~3.0at.%W 以及余 量的 Fe。其制备方法包含 S1 制备单一合金靶材;S2 选择衬底材料, 将衬底表面进行平整化,然后清洗并吹干待用;S3 进行磁控溅射,其 中,背景真空度值不高于 5x10<sup
华中科技大学 2021-04-14
一种多层薄膜微结构自对准制备方法及装置
本发明公开一种多层薄膜微结构自对准制备方法,通过分隔板 将喷头内腔体纵向分为至少两个腔室,在各腔室内注入不相溶的高分 子溶液,并汇聚于喷头的喷嘴处;施加高压静电场,同时驱使接收板 做平面直线运动,在高压静电场作用下喷嘴处的溶液变形成泰勒锥, 从泰勒锥尖端拉出射流,射流中的多种高分子材料先后沿着接收板运 动的方向进行静电纺丝,形成多层薄膜微结构。本发明还公开一种实 现上述方法的装置,分隔板纵向设于喷嘴内,将喷嘴内腔体分隔为至 少左右两个腔室;在喷嘴端部设有端部盖板,端部盖板与喷嘴端部之 间设有密封片;
华中科技大学 2021-04-14
一种双波段薄膜光探测器及其制备方法
本发明属于微纳制造与光电子器件领域,并公开了一种双波段 薄膜光探测器,包括基底薄片、第一电极层、第一 WSe2 层、石墨烯 层、第一 MoS2 层、第二电极层、介质层、第二 WSe2 层、第三电极 层、第二 MoS2 层和第四电极层,第一电极层设置在基底薄片上;第一 WSe2 层铺设在基底薄片和第一电极层上;石墨烯层设置在第一 WSe2 层上;
华中科技大学 2021-04-14
适用于致密油储层的压裂排驱液及其制备方法
本发明涉及适用于致密油储层的压裂排驱液及其制备方法,该体系的动力学过程与压裂、排驱过程具有高度协同性,可为致密油储层大幅度提高采收率提供技术支持,属于油气田开发工程. 背景技术:我国致密油资源丰富,预计可采资源量约14~20亿吨,开采潜力巨大,鄂尔多斯长7和准噶尔吉木萨尔两大致密油区成功开发,预示着致密油将会成为我国原油供应的新生力量。但由于我国致密油孔隙度一般小于10%、渗透率一般小于0.1×10-3μm2,具有低孔低渗的典型特征。储集层喉道具有突出的微-纳米级孔喉系统特征,以鄂尔多斯盆地长7段致密油为例,储集层喉道半径主要分布于0.10~0.75μm。因此采用人工压裂措施,利用压裂液携砂在储层中形成人工缝网系统进行衰竭开采,由于基质致密难以将其中的原油驱至缝网,另外储层压力的降低,将导致缝网的闭合,阻塞油流。这是致密油衰竭开采产量递减快、采收率低、后续补充能量困难的主要原因,通常致密油的年产量递减>40%,甚至达到90%;致密油平均一次采收率仅为5%~10%。为了进一步提高致密油采收率,通过注入驱替流体,注气、注水等增产措施补充地层能量。注水可提高采收率,但注不进去,致密油储层岩石表面极性易形成水化膜,地层粘土矿物遇水膨胀,孔隙趋于闭合,导致注水压力迅速上升,注入量大幅度减小,地层能量未有效补充。注气的气源问题限制了其规模化应用。针对以上致密油开发手段遇到的难题,本发明创新地提出一种用于致密油储层兼具压裂和排驱双重作用的压驱体系及其使用方法,将压裂和增产两次措施缩减为一次措施即可大幅度提高致密油采收率。
中国地质大学(北京) 2021-02-01
一种氢化铝锂基复合储氢材料及其制备方法
简介:本发明公开了一种氢化铝锂基复合储氢材料及其制备方法,属于储氢材料技术领域。该复合储氢材料是由氢化铝锂(或氢化铝锂与硼氢化锂的混合物)和20~30wt.%的工业固体废弃物(如粉煤灰或高炉矿渣粉)组成;其通过机械球磨氢化铝锂(或氢化铝锂与硼氢化锂的混合物)和工业固体废弃物混合粉末而获得。本发明利用工业固体废弃物来改善材料的储氢性能,原料来源广、成本低廉;所提供的氢化铝锂基复合储氢材料制备工艺简单,安全可靠,具有低的放氢温度和高的放氢量。
安徽工业大学 2021-04-11
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