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维意真空小型桌面热蒸发镀膜机支持定制
EV-246小型电阻蒸发镀膜机真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；基片台：可拆卸式，尺寸60✕60mm，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能）；蒸发源及电源：水冷铜电极3组，逆变式蒸发电源，功率2KW，配源间防污隔板；膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-25
一种激光触发真空开关及开关系统
本发明公开了一种激光触发真空开关及其触发系统装置。激光 触发真空开关包括密闭壳体、第一电极主件、第二电极主件。第一电 极主件包括燃弧电极、第一电极法兰、第一电极平台、聚焦镜。第二 电极主件包括燃弧电极、第二电极法兰、第二电极平台、靶电极。触 发系统装置主要包括计算机、转换器、开关电路板、激光器和激光触 发真空开关。激光触发真空开关的工作电压高达 30kV，工作电流高达 500kA，不存在以往电脉冲触发高压隔离困难、触发稳定性差、使用寿 命短等问题，能有效降低激光触发能量，改善开关器件的延时与抖动。触
华中科技大学
2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学
2021-04-14
杜甫仪器'SHB－95型真空泵'循环水真空泵
产品详细介绍杜甫仪器'SHB－95型真空泵'循环水真空泵'循环水式真空泵该泵是以循环水作为工作流体的喷射泵，是利用流体产生负压而设计的一种新型真空抽气泵，同时还能向反应装置中提供循环冷却水，特点是在于水压不足或缺水源的实验室更显之优越，此泵广泛用于蒸发，蒸馏，干燥，过滤减压，升华等，是大专院校，医药化工，食品加工等实验室的理想设备。(1)一机单表多管作业，设有五个抽气头。可单独或并联使用。(2)外壳采用不锈钢或防腐材质两种，噪音低，寿命长。(3)吸收有害气体机物质，利于环保。(4)节水，节能。杜甫仪器'SHB－95型真空泵'循环水真空泵'循环水式真空泵(1)一机单表多管作业，设有五个抽气头。可单独或并联使用。(2)外壳采用不锈钢或防腐材质两种，噪音低，寿命长。(3)吸收有害气体机物质，利于环保。(4)节水，节能。本机5抽头，可单独或并联使用，装有1个真空表,专配50L旋转蒸发器，双层玻璃反应釜，低温冷却液循环泵 ，可为用户配置五联通及优质专用真空管。因为专业，所以保证质量；因为专一，所以价格优惠。本产品经广大用户使用后，得到高度评价和认可。随时欢迎您的垂询与合作。
郑州杜甫仪器厂
2021-08-23
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学
2021-04-14
一种真空触发开关
本发明公开了一种真空触发开关，包括密闭壳体；密闭壳体的 两端分别设有阴极和阳极，阴极包括阴极导杆、阴极触头和阴极触头 片，阳极包括阳极导杆、阳极触头和阳极触头片；阴极导杆和阳极导 杆均为中空的圆筒形，其上有螺旋状开槽；阴极触头和阳极触头均为 杯状结构，杯壁为圆筒形，杯底中心开有圆孔，杯壁上有螺旋状开槽； 阴极导杆和阳极导杆分别与阴极触头和阳极触头的杯底同轴紧密连 接，阴极触头和阳极触头的杯口分别与阴极触头片和阳极触头片紧密 连接。该开关避免了由于电弧集聚所带来的电极烧蚀问题，能有效阻止电弧中的金属等
华中科技大学
2021-04-14
循环水式真空泵
产品详细介绍该泵是在循环水多用真空泵的基础上，根据实验室面积较小这一特点，参照日本台式泵，一次性成型外壳，缩小体积改进而成，具有体积小，重量轻，外型美观等特点，双表、双头抽气,四表四抽头，双面相同的多用真空泵，即便于教师直观演示，学生亦可在任意一面开机、关机。(1)本机采用双抽头，可单独或并联使用装有两个真空表。(2)新改进防腐四抽头，可单独或并联使用装有四个真空表。(3)主机采用不锈钢机芯和防腐材质机芯两种型号制造。(4)耐腐蚀、无污染、噪音低、移动方便，还可根据用户需要加装真空调节阀。（5）可同时有四名学生进行化学实验，缩小实验空间。
郑州市亚荣仪器有限公司
2021-08-23
维意真空手套箱金属有机蒸发镀膜机支持定制
SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积；
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0✕10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0✕10-6Pa；
真空抽速：大气～5✕10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距最大350mm；
蒸发源及电源：4～6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-27
用于制备各向异性热变形稀土永磁体的真空感应热压热变形装置
用于制备各向异性热变形稀土永磁体的真空感应热压热变形装置，包括支撑体、炉体、施压系统和加热系统，所述施压系统包括上压头、下压头和液压驱动组件，所述加热系统包括感应线圈及与感应线圈连接的感应加热电源，所述炉体为夹层水冷结构，炉体外壁设有冷却水进口和冷却水出口，炉门上设有观察窗。炉体安装在支撑体的底座上，下压头位于炉体内腔并固定在炉体底部用于放置模具，上压头位于炉体内腔，其上端与伸入炉体内腔的液压驱动组件中的压杆连接并位于下压头的上方，所述压杆、上压头和下压头的中心线重合，感应线圈位于炉体内腔并安装在与模具的放置位置相适应处。该装置能缩短磁体的冷却时间，保证大尺寸磁体的磁性能和提高生产效率。
四川大学
2021-04-11
真空密封造型铸造技术及设备
①基本工艺： 真空密封造型铸造是一种不用粘结剂、水和其它添加剂，而是应用塑料薄膜和抽真空进行造型的铸造技术。其工艺：烤塑料薄膜→模型覆膜→喷涂料→套砂箱→加干砂子→震动→砂箱覆膜→抽真空→起模→合箱→浇注→冷却→撤真空落砂→取出铸件。 ②工艺特点： 所生产的铸件表面光洁、轮廓清晰、尺寸精确、铸件内在质量好；金属利用率高；设备简单，一次性投资少；原料和动力消耗少；模型和砂箱使用寿命长；工作环境较好。 ③成熟程度：达到生产中成功应用程度。 ④获奖情况： “特种耐热钢铸件技术在窑尾预热分解系统的应用开发”，1998获国家建筑材料工业局，部级科技进步3等奖。⑤授权专利： 一种抽气和箱带一体的真空密封造型砂箱，专利号：ZL94211906.1 可调面积、功率和位置的模型薄模加热器，专利号：ZL96207246.X 一种轧辊真空密封造型工艺，专利号：ZL97100233.9⑥项目来源： 国家八五重大技术引进消化吸收一条龙项目：“日产4000吨水泥装置”的子项“新型耐热特种铸钢内筒开发”。 适合于铸造合金、各种铸件批量的生产。尤其适用于大、中型比较精密铸件和表面不需要或难于机加工铸件的生产。
北京科技大学
2021-04-11