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基于石墨烯的 MEMS 压力传感器
基于石墨烯的 MEMS 压力传感器,属于微机电系统(MEMS)的压力检测器件,解决现有 MEMS 压力传感器尺寸较大,灵敏度有限的问题。本实用新型包括基底、绝缘层,所述基底表面氧化形成绝缘层,绝缘层内刻蚀出空腔,绝缘层上表面覆盖石墨烯薄膜,将所述空腔封闭,石墨烯薄膜为 1~5 层;所述石墨烯薄膜边缘沉积两个金属电极,两个金属电极上分别焊接有导线。本实用新型采用石墨烯薄膜构成 MEMS 压阻式压力传感器,制备方法简单,可靠性好,压力传感器体积更小,从微米尺度变为纳米尺度,灵敏度更高,在 1~5 层内增
华中科技大学 2021-04-14
一种石墨烯微型流量传感器
本实用新型公开了一种石墨烯微型流量传感器,属于 MEMS 器件,用于气流流量测量,解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本实用新型之石墨烯微型流量传感器,衬底上具有凹槽,凹槽上架有隔热层,隔热层上溅射有加热体,加热体的两端溅射有电极。本实用新型的另一种微型流量传感器,衬底上具有凹槽,凹槽上架有隔热层,隔热层上覆盖有绝缘层,绝缘层上溅射有加热体,加热体的两端溅射有金属电极。本实用新型体积小、重量轻而且性能稳定,能有效降低衬底传热导致的测量误差,通过测量通入气体前后加热体的电阻差值
华中科技大学 2021-04-14
一种石墨烯光阴极及其制备方法
本发明公开了一种石墨烯光阴极及其制备方法;该石墨烯光阴极由光阴极底座、衬底层、碘化铯薄膜、金膜组成;该石墨烯光阴极的制备方法具体包括如下步骤:S1:采用化学气相沉积法在一定厚度的镍片上生长石墨烯;S2:利用腐蚀液溶解制备石墨烯后的镍片,留下石墨烯;S3:将石墨烯平铺至光阴极底座;S4:利用真空蒸镀法向第 3 步得到的光阴极底座蒸镀一层碘化铯薄膜;S5:利用磁控溅射法向第 4 步得到的光阴极底座溅射一层金膜制得石墨烯光阴极。由于石墨烯具有优越的导电性、超高的透光率、良好的光电转换效应以及较强的机械强度
华中科技大学 2021-04-14
一种石墨烯图形化掺杂方法
本发明公开了一种石墨烯图形化掺杂方法,包括如下步骤:(1) 将氦气与掺杂气体混合作为工作气体导入等离子体发生装置中,施加 高压脉冲电压,在工作气体中放电产生室温常压等离子体,将形成的 等离子体由引导管的喷嘴导出,形成微等离子体射流;(2)将喷嘴对 准石墨烯薄膜的指定位置,用微等离子体射流对石墨烯薄膜进行辐照, 将工作气体的活性原子掺入到被辐照的区域,在二维平面内移动微等 离子体射流或石墨烯薄膜,实现对石墨烯的图形化掺杂。该方法可有 效地将杂质原子掺入到石墨烯的骨架位置上,且不会对石墨烯的原本 结构产生破坏,掺杂过程简单易行,设备成本低廉,可实现大规模生 产。
华中科技大学 2021-04-13
高效换热装备及其耐腐蚀石墨烯复合涂层
市场背景1:根据中国机械工业联合会统计,基于石油、化工、电力、冶金、船舶、机械、食品、制药等行业对换热器稳定的需求增长,我国换热器产业在未来一段时期内将保持稳定增长。预计 2010 年至 2020 年期间,我国换热器产业将保持年均 10-15%左右的增长速度,2015 年,我国换热器产业规模已突破 880 亿元,到 2020 年我国换热器产业规模有望达到1500亿元。 市场背景2:2016年国务院印发《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》,“突破石墨烯产业化应用技术”被写入规划。2017年1月《新材料产业发展指南》正式公布,石墨烯成为新材料产业发展的先导性产业。据前瞻研究院数据显示,2017年我国防腐涂料(常规防腐涂料和重防腐涂料)全年产量达到561万吨,占涂料总产量的27%左右。2013年以来,涂料产量年均增长率在5.5%左右,而我国防腐涂料达到12%左右,是增长最快的涂料品种之一;2018年防腐涂料总产量或达到600万吨以上,2020年总产量可突破700万吨。
同济大学 2021-02-01
高效换热装备及其耐腐蚀石墨烯复合涂层
项目成果/简介:市场背景1:根据中国机械工业联合会统计,基于石油、化工、电力、冶金、船舶、机械、食品、制药等行业对换热器稳定的需求增长,我国换热器产业在未来一段时期内将保持稳定增长。预计 2010 年至 2020 年期间,我国换热器产业将保持年均 10-15%左右的增长速度,2015 年,我国换热器产业规模已突破 880 亿元,到 2020 年我国换热器产业规模有望达到1500亿元。 市场背景2:2016年国务院印发《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》,“突破石墨烯产业化应用技术”被写入规划。2017年1月《新材料产业发展指南》正式公布,石墨烯成为新材料产业发展的先导性产业。据前瞻研究院数据显示,2017年我国防腐涂料(常规防腐涂料和重防腐涂料)全年产量达到561万吨,占涂料总产量的27%左右。2013年以来,涂料产量年均增长率在5.5%左右,而我国防腐涂料达到12%左右,是增长最快的涂料品种之一;2018年防腐涂料总产量或达到600万吨以上,2020年总产量可突破700万吨。应用范围:目前国内外水蒸气空气预热器基本都是翅片管式,节能效果有待提高; 目前国内外成熟的蒸发式冷凝器基本都是管状或椭圆状,紧凑度不高,单位面积热负荷有待提高,特别针对化工产品如甲醇汽冷凝,要求系统压降低和尾气回收等指标,难以达到; 目前国内外烟气空气预热器基本采用管式,或回转式,管式占地面积达,换热系数不高,回转式漏风严重并且维修成本较高; 目前国内外解决金属表面腐蚀问题,基本采用搪瓷涂层,但搪瓷涂层导热系数低,不到1 W/(m·k)左右,而且搪瓷由于应力及金属与搪瓷线膨胀系数不一致,易导致崩瓷现象。项目阶段:批量生产效益分析:1)新型板式水蒸气空气预热器。与翅片管相比,节约水蒸汽15-30%,该项目目前属产业化阶段; 2)新型中间排液板式蒸发式冷凝器。与普通蒸发式冷凝器相比,节电节水30%,系统压降降低约0.1MPa,该项目目前属产业化阶段; 3)新型板式空气预热器。燃煤、燃气及燃油锅炉空预器,节能减排效果明显,该项目目前属产业化阶段; 4)耐腐蚀耐磨超导热疏水性石墨烯复合涂层。解决各领域换热设备表面的腐蚀问题,导热问题及结垢问题,节能减排效果明显。该项目目前属产业化阶段。
同济大学 2021-04-10
一种离子增强石墨烯纤维及其制备方法
本发明公开了一种离子增强石墨烯纤维及其制备方法,石墨经过氧化得到氧化石墨烯,将氧化石墨烯分散于水或极性有机溶剂中,制成质量浓度为1-20%的纺丝液溶胶,将纺丝液从纺丝头毛细管中连续匀速挤出,进入含有配位离子的凝固液,凝固后的初级纤维用聚四氟乙烯滚轴收集,干燥后得到离子增强的氧化石墨烯纤维,经化学还原,得到离子增强的石墨烯纤维。纺丝工艺简单,室温操作,不用强腐蚀性试剂,过程绿色环保,所得离子增强石墨烯纤维力学性能优异,有较好的韧性,可编织成石墨烯纤维布,也可与其它纤维混编成各种具有广泛用途的织物。
浙江大学 2021-04-11
高质量石墨烯散热膜的制备及应用
信息技术快速发展使得芯片功耗显著增大,热量管理因而成为其中至关重要的核心环节。热量的快速导出对于芯片正常运行是决定性的。具有高导热能力的散热薄膜是这方面的关键材料,发展高性能、低成本散热薄膜材料已经成为关系未来消费电子、信息技术乃至人工智能等许多领域的关键。现有的散热薄膜主要采用的是聚酰亚胺薄膜经过高温碳化、石墨化后形成的人造石墨膜,其原材料聚酰亚胺的制备技术掌握在杜邦公司手中,成本昂贵,国内散热膜加工企业的利润率不断受到挤压。
复旦大学 2021-04-10
MC尼龙/石墨烯复合材料的制备及应用
一.项目简介本项目生产的铸型尼龙(MC尼龙)/石墨烯复合材料克服了普通MC尼龙低温韧性较差, 冲击强度偏低, 尺寸稳定性不好, 高负荷下耐磨性、自润滑性欠佳,磨损率较大等缺点。表现出优异的综合性能,可广泛应用于制备轴承、齿轮、滑轮等,尤其是制备一些不能由压塑或者挤塑法制备的大型器件。该产品制备过程极其简单。二.市场前景铸型尼龙(MC尼龙)是目前应用最广泛的工程塑料之一,高性能铸型尼龙(MC尼龙)取代铜、铝、钢和铁等金属材料是今后工程塑料的主要发展方向。三.规模与投资本项目特别适合现有MC尼龙的企业,基本不需要额外投资。对于新建企业,进口设备和国产设备差异较大,如果选用国产人工浇铸,投资很少。四.生产设备主要设备:反应釜,浇铸设备五.效益分析每吨产品利润约2000-3000元。六.合作方式技术转让
河北工业大学 2021-04-13
石墨烯和金属网孔复合膜柔性透明电极
1、主要功能及应用领域 透明电极在太阳能电池、有机发光二极管、触摸屏等光电器件中具有重要的应用价值,目前应用最多的用氧化铟锡(ITO)为制造的透明电极,但ITO存在脆性大,无法弯曲,近年来随着光电器件对透明电极需求的增加,铟的价格也大幅提高。由于石墨烯产业化后的预期成本低,成为柔性透明电极的主要材料之一,但在实际中由于大面积石墨烯总会存在一定的缺陷,影响了其导电率,本项目结合石墨烯和纳米金属网孔的优势制备出石墨烯和金属网孔复合膜柔性透明电极。 2、特色与先进性技术指标 特色:利用低成本、无污染的溶胶在透明基底形成网状模板,利用模板制作金属网格;通过转移石墨烯在金属网格上制作一种石墨烯/金属网格复合电极。其复合电极表现出优异的光电特性。通过结合单层石墨烯的高透光性和金属网格的导电性,有效地弥补了化学气相沉积法(CVD)-石墨烯多晶结构的缺陷和金属网格不利于制作依赖垂直电流传输器件的的缺点,从而提高透明复合电极的光电特性。 图1 制备的石墨烯及拉曼图,可以看到非常清楚的2D峰,右图为金属网孔的显微图。 3.技术指标 复合电极:面电阻为 21.2 、透光率为92%(在550nm波长测得),下图表明其宽带的透射光谱特性。 图2 复合电极的透过率 将复合电极制作在PET基底上,使其可以表现出优异的机械柔软性。在将透明电极从正向到反向弯曲,其弯曲角度从-150o达到150o时,其电导率也只下降3.4%,反复弯折100次,电导率几乎没有什么变化。 4、产业化的关键性问题 高性能的透明电极在许多光电器件是必不可少的,例如触摸屏、光伏电池、有机发光二极管等。目前商业上,由于氧化铟锡(ITO)薄膜的高光学透过率、低面电阻和成熟的制造工艺,在作为透明电极方面已广泛地应用在各种光电器件中。但铟是稀有金属,在地壳中的分布量比较小且分散,主要以微量存在于锡石和闪锌矿中,且随着液晶显示器和触摸屏等产品的普及,因此铟的价格在急剧上涨。此外,氧化铟锡透明电极缺乏柔韧性,不易弯曲,化学稳定性差,不适合应用于柔性透明电极。 传统上制备金属网采用光刻法及蚀刻工艺。但是,通过采用光刻法制备的金属网格不仅成本较大、工艺复杂、效率低,而且在制备的工艺条件、设备要求也较高。 本实验采用了低成本高效率的方法制备金属网格,再通过CVD法生长大面积石墨烯并转移在金属网格上。实验过程中工艺简单、成本低、效率高,并可制备大面积-高质量的透明电极。
电子科技大学 2021-04-10
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