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一种氧化锌纳米线阵列紫外光电探测器的制备方法
本发明公开了一种基于氧化锌纳米线阵列的紫外光电探测器,属于光电子器件领域。本发明利用化学气相沉积技术,通过调节双温区管式炉装中真空压力等实验参数,在氮化镓衬底上实现氧化锌纳米线阵列的均匀可控生长,然后利用透明导电玻璃直接贴压法,得到对365nm 紫外光具有毫秒量级的快速响应和恢复时间的紫外光电探测器。本方法工艺简单,材料成本低廉,在快速紫外光电传感器和短长光电器件领域有广泛的运用前景。
华中科技大学 2021-04-14
硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器
本发明的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,其上有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有一个移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波导、非对称共面带线和电阻组成;间接式热电式功率传感器由共面波导、两个电阻以及热电堆所构成,热电
东南大学 2021-04-14
硅基缝隙耦合式的直接式毫米波信号检测器
本发明的硅基缝隙耦合式的直接式毫米波信号检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,该结构制作在高阻Si衬底上,其上有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有个移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波导、非对称共面带线和隔离电阻组成;直接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个热电偶和隔直电容所构成
东南大学 2021-04-14
新型硅基环栅纳米线MOS 器件
已有样品/n在主流硅基FinFET集成工艺基础上,通过高级刻蚀技术形成体硅绝缘硅Fin和高k金属栅取代栅工艺中选择腐蚀SiO2相结合,最终形成全隔离硅基环栅纳米线MOS器件的新方法。并在取代栅中绝缘硅Fin释放之后,采用氧化和氢气退火两种工艺分别将隔离的“多边形硅Fin”转化成“倒水滴形”和“圆形”两种纳米线结构。
中国科学院大学 2021-01-12
一种基于探测器温度的红外图像非均匀性校正方法及系统
本发明公开了一种基于探测器温度的红外图像非均匀性校正方 法,通过图像增益校正系数和采集的均匀背景图像,计算探测器在不 同探测器温度点下的偏置本底,进一步地,根据偏置本底和探测器当 前工作温度的对应变化趋势以插值方法估算探测器在当前工作温度下 的偏移校正参数,最后利用图像增益校正系数和偏移校正参数对红外 图像进行两点校正。相应地,本发明还提出了一种对应的校正系统。 本发明无需红外探测器温控系统及调零挡片,根据探测器在不同温度 点下的偏置本底和当前探测器的温度及时有效地计算校正参数,在保 证红外图像校正效果的同时,有效降低了算法复杂度,增加了实时性。
华中科技大学 2021-04-11
探锐科技:高灵敏度探测器技术研发与市场推广领航者
光电探测器在量子科技、三维成像、激光雷达、生物医学等方面有着广泛应用,被誉为是无人驾驶、无人机、智能机器人等关键设备的眼睛。目前我国在针对极微弱光的探测器主要依赖进口,北京探锐科技有限公司(创业团队拟注册)基于中央民族大学光电实验室和中科院半导体所的自主研发成果和知识产权开展成果转化,开展基于光通讯波段及可见光波段高灵敏度探测器的产业化,微光成像芯片的设计、加工及销售服务。目前已拥有三五族化合物探测器和微型硅基探测器等产品,从材料和器件结构上进行优化和创新,国内首创的高速、低噪APD单光子探测器件设计与制备已达到国际领先水平。团队拥有国家发明专利3项、在申专利10余项,荣获国家自然科学基金、科技部重点研究项目等20余项成果。 本团队属典型的师生共创,李传波教授为团队的技术带头人、国家特聘专家,“青年千人计划”的核心骨干,常年从事半导体光子材料与器件、能源光子器件开发与研制,目前也是中科院半导体研究所教授和中央民族大学教授。梁岩带领的学生核心创业团队包括理学院、经管学院的硕士和博士生。团队主创人员有多年的海外工作经历,也有中科院半导体所的工作经历,也有自主知识产权,可以设计并达到国际领先的参数,实现其进口替代。除了技术之外,最大的优势是成本优势。团队依托主创人员多年来半导体光电材料与芯片的研究工作,有多年海外知名高校及中科院半导体所研究经历,为项目提供强大的技术支撑。初创期间采用产学研相结合的方式,芯片的生产在实验室生产,公司是进行宣传包装、销售。未来规划拓展业务范围。专注于做高灵敏度探测器的技术研发和市场推广,助力“中国芯”走向世界!
中央民族大学 2021-02-25
面向物联网的硅基固支梁可重构SIW带通滤波器
本发明公开了一种面向物联网的硅基固支梁可重构SIW带通滤波器,包括SIW带通滤波器、转接结构(3)和MEMS固支梁结构。SIW带通滤波器包括相互级联的SIW谐振腔(9),相邻的SIW谐振腔之间存在耦合窗口(14),MEMS固支梁结构设置于耦合窗口中。在一些特定的需要控制无源滤波器通带中心频率频繁切换的电路中,本发明通过MEMS固支梁结构很好的避免了需要依靠增加滤波器数量去控制电路的问题,并且MEMS固支梁结构的闭合所需要的电压较小也基本不会影响电路的正常工作,能够有效地降低电路控制的功耗。MEMS固支梁(6)可以实现快速的DOWN态和UP态的转换,可以有效地实现微波电路中对滤波器滤波范围的控制。
东南大学 2021-04-11
硅基未知频率缝隙耦合式直接式毫米波相位检测器
本发明的硅基未知频率缝隙耦合式直接式毫米波相位检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一段移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波导、非对称共面带线和一个隔离电阻组成;直接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个热电
东南大学 2021-04-14
硅基已知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器
本发明的硅基已知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构连接着两个间接式热电式功率传感器,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波导、非对称共面带线和一个电阻组成;间接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个电阻以及
东南大学 2021-04-14
硅基未知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器
本发明的硅基未知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波导、非对称共面带线和电阻组成;间接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个电阻以及热电
东南大学 2021-04-14
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