直拉硅片的内吸杂工艺

本发明公开了一种直拉硅片的内吸杂工艺，包括：(1)在氮气氛下，将直拉硅片以50～100℃/秒的速率升温至1200～1250℃，维持30～150秒，然后以5～50℃/秒的速率冷却至800～1000℃，接着自然冷却；(2)将经步骤(1)处理后的直拉硅片在氩气氛下于800～900℃退火8～16小时。本发明仅包含两步热处理工艺，所需温度和时间比现有工艺的要低，热预算显著降低；另外体微缺陷的浓度和洁净区宽度可以很方便地通过第一步快速热处理的温度、时间和冷却速率得到控制。

浙江大学 2021-04-11

太阳能硅片丝网印刷机

1.本外观设计产品的名称：太阳能硅片丝网印刷机。2.本外观设计产品的用途：用于对太阳能硅片执行丝网印刷的装置。3.本外观设计的设计要点：印刷机的整体形状和图案，及其操控键的形状和分布。4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。

华中科技大学 2021-04-11

一种光伏太阳能硅片输送设备

本实用新型公开了一种光伏太阳能硅片输送设备，包括：机架、安装在机架上的硅片输入机构、缓冲机构、缓存机构和硅片输出机构，以及电气控制系统，其中硅片输入机构用于将硅片水平输送至缓冲机构；缓冲机构用于对光伏太阳能硅片执行输送缓冲和位置定位然后将其输入至缓存机构；缓存机构包括由左右侧板和设置在左右侧板之间的多层搁架共同构成的缓存料塔，所述缓存料塔在静止时与硅片输送路径保持水平以便缓冲机构输送过来的硅片插入且存放到搁架上，并在完成存放后上升以便存放下一硅片；硅片输出机构用于将存放在缓存料塔中的硅片逐一输出。通过本实用新型，能够通过简单、紧凑的结构实现硅片的缓冲和暂存功能，同时保证硅片输送过程中的精确定位。

华中科技大学 2021-04-11

一种光伏太阳能硅片翻转设备

本实用新型公开了一种光伏太阳能硅片翻转设备，包括：机架；安装在机架上用于将硅片水平输送至待翻转位置的硅片输入机构；安装在机架上并包括两个对称设置在硅片输送路径上的翻转翼的硅片翻转机构，各个翻转翼呈圆盘状且由六个 60 度的扇形结构共同组成，各个相邻的扇形结构之间具有接纳槽，所述接纳槽在翻转翼静止时与硅片输送路径保持水平以使输送过来的硅片插入到槽中并保持定位，然后通过翻转翼的旋转而执行对硅片的翻转；安装在机架上用于将执行翻转后的光伏太阳能硅片水平输出的硅片输出机构；以及用于对设备的整体工况提供相应操作的电气控制系统。按照本实用新型，具备输送平稳、轻柔快速、碎片率低且工作效率高等方面的优点。

华中科技大学 2021-04-11

太阳能硅片电磨削多线切割技术及装备

太阳能硅片多线切割机是一种大型、复杂、精密的核心光伏制造装备，长期依赖进口。目前，国外已能采用多线切割的方法生产出面积较大而又较薄的硅片(300mm×300mm)，但由于仍属于非刚性切割，在切割过程中切割线必然产生变形从而不断产生瞬间的冲击作用，要使目前的大尺寸硅片厚度和切割损耗进一步降低，实现低成本高效切割，技术难度相当大。因此，针对现阶段国内外晶硅太阳能电池的制造技术瓶颈，寻求解决降低成本和提高光电转换效率的有效方法和途径，2009年，南京航空大学基于硅片磨削/电解多线切割原理，发明一种低宏观

南京航空航天大学 2021-04-14

一种短波长光辅助硅片直接键合方法

本发明属于晶圆键合技术，为一种短波长光辅助硅片直接键合方法，其步骤包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③将硅片用短波长光继续辅助活化，活化后取出；短波长光的波长范围为 100～400nm，短波长光照射光强为 5～30mW/cm²，活化时间为 0.5～30分钟；④预键合；⑤退火。经过短波长光辅助活化处理后的键合硅片对结合紧密，无需外压力作用就能实现硅硅直接键合。本发明所需设备简单，键合速度快，键合周期短，键合面积大，键合温度低，且在键合强度及键合可靠性上具有

华中科技大学 2021-04-14

一种光伏太阳能硅片上料设备及其系统

本实用新型公开了一种光伏太阳能硅片上料设备，包括：机架；安装在机架上用于将硅片沿着 X 轴方向输送路径可调换方向地输送至下位机的硅片输送机构；分别设置在输送路径的两侧用于贮存硅片的料盒；处于输送路径的上方，通过 Y 轴和 Z 轴方向的移动拾取硅片并将其释放至输送路径上执行输送的机械手，该机械手还具备硅片分离装置，由此在拾取硅片的过程中使得相邻硅片予以分离以便逐一拾取；用于对整体工况提供控制指令的电气控制系统；以及根据电气控制系统的控制指令对相应功能元件执行驱动的气动模块。本实用新型还公开了相应的上料系统。通过本实用新型，能够取得上料效率高、降低硅片破损率以及灵活设定传送方向等方面的优点。

华中科技大学 2021-04-11

一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法

本发明公开了一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近 SiO2 层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的 Si 层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的 Si 以及固定结构与其它结构之间的区域底部的 Si，使得固定结构与窄槽下方的 Si 层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广

华中科技大学 2021-04-14

一种用于光伏太阳能硅片的丝网印刷定位设备及定位方法

本发明公开了一种用于光伏太阳能硅片的丝网印刷定位设备及方法，该方法包括：在对应硅片及丝网两个对角位置处分别设置摄像装置，并执行摄像装置的预标定步骤；使用摄像装置来摄取硅片和丝网的对角位置图像；采集所摄取的位置图像并获取硅片和丝网各自的包括几何中心和角度在内的位置特征参数，相应计算出两者之间的位置偏差，另外根据目标位置引入补偿偏差，最后得到综合偏差；最后根据所计算出的综合偏差来调整丝网相对于硅片的位置和角度，由此完成光伏太阳能硅片的丝网印刷定位过程。按照本发明，可以通过简单紧凑的结构来测定丝网与硅片之间的位置偏差，并保证测定和印刷定位的较高精度，同时具备便于操作，抗干扰性强、稳定可靠的优点。

华中科技大学 2021-04-11

一种用于晶硅片加工的新型水基减摩抗磨添加剂的研制与应用

悬赏金额：10万元 发榜企业：德旭新材料（广州）股份有限公司 产业集群：先进材料产业集群 需求领域：特种功能材料;精细化工;电子材料;半导体材料;表面改性材料 技术关键词：抗磨;超滑;切割;抛光

德旭新材料（广州）股份有限公司 2021-11-05