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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
无铅压电陶瓷与聚乙烯醇压电复合材料及其制备方法
本发明涉及一种铌酸钠钾基无铅压电陶瓷-聚乙烯醇(PVA)压电复合材料及其制备 方法。该方法按通式(1-x)(LiaNabK1-a-b)(Nb1-cSbc)O3-xABO3-yM组分配料,以分析纯无水 碳酸盐或氧化物为原料,用传统陶瓷制备工艺制得陶瓷粉末;将陶瓷粉末与聚乙烯醇按 体积比5/90~95/5的比例配成混合粉料后加入去离子水,再加热使PVA溶解;然后超声分 散,将混合粉料烘干后经压片机冷压成型,再用马弗炉加温处理,最后在其表面溅射金 属电极,经硅油浴极化,即制得铌酸钠钾基无铅压电陶瓷-聚乙烯醇压电复合材料。该 压电复合材料为纯钙钛矿晶相,无杂相;且具有良好的压电性能与介电性能。
四川大学 2021-04-11
粘结型钐铁氮、钕铁氮、铁氧体永磁粉复合永磁材料及其制备方法
一种粘结型钐铁氮、钕铁氮和铁氧体永磁粉末的复合永磁材料,由重量百分数为83%~98.9%钐铁氮永磁粉、钕铁氮永磁粉和铁氧体永磁粉末的混合磁粉、1%~15%的高分子粘结剂及0.1-2%的助剂组成。混合磁粉的配方(按重量百分数计)为:钐铁氮永磁粉2%~96%,钕铁氮永磁粉2%~96%,铁氧体永磁粉2%~96%。复合永磁材料制备方法包括:模压成型、注射成型、挤出成型以及压延成型。该产品具有内禀性能优异,价格低廉,耐高温,抗腐蚀和氧化性能良好,特别是通过调整混合磁粉的配比,可实现性能与价格可调的特点。
四川大学 2021-04-11
一种高导热低粘度环氧树脂复合材料及其制备方法和应用
本发明公开了一种高导热低粘度环氧树脂复合材料及其制备方 法。所述环氧树脂复合材料包括体积份数为 25~60 份的第一球形导热 填料、体积份数为 5~30 份的第二球形导热填料以及体积分数为 30~ 70 份的环氧树脂,第一球形导热填料的中位粒径不小于 30μm,第二 球形导热填料的中位粒径不大于 20μm。其制备方法为:(1)将球形导 热填料真空干燥,然后依次将环氧树脂、固化剂和球形导热填料加入 行星离心式搅拌机中混
华中科技大学 2021-01-12
一种低密度高阻燃性复合多孔材料及其制备方法和应用
本发明公开的一种低密度高阻燃性复合多孔材料是由以下组分复合而成:无机粒子0.1~5份,聚乙烯醇0.5~10份,阻燃性可交联聚合物0~5份,阻燃剂0.1~2份,该材料的密度为12~145Kg/m3,极限氧指数为34.5~47.5%,垂直燃烧均为V-0级,峰值热释放速率为50.5~135.8kW/m2,总热释放为5.6~13.3MJ/m2。本发明还公开了其制备方法。由于本发明提供的多孔材料采用了有一定阻燃效果的无机粒子和交联聚合物和少量添加适用于基体聚合物聚乙烯醇的高效阻燃剂,因而使得这种多孔材料不仅密度低,导热系数也低,隔音效果好,机械强度好,可用作隔热、保温和隔声材料,有利于节能降耗,可以达到高的阻燃防火等级,整个制备过程无废液、废气产生,安全环保。
四川大学 2016-09-12
喜树碱衍生物磷脂复合物脂质纳米粒制剂及其制备方法
羟喜树碱 (10-Hydroxycamptothecin, HCPT) 是中国特有珙桐科旱莲属落叶植物喜树( Camptotheca acuminata) 中含有的一种生物碱,在同类抗肿瘤单体中抗癌作用最强。HCPT 可以选择抑制 DNA 拓扑异构酶 I 的活性,干扰拓扑异构酶催化的 DNA 切断链接反应,使酶与 DNA 断链复合物稳定,并抑制切口处的重新接合,因此具有导致 DNA 断链、干扰 DNA 复制的作用,即具有抗肿瘤的作用。临床主要用于肝癌、头颈部肿瘤、胃癌、膀胱癌及白血病。 但由于羟基喜树碱特殊的理化性质:水不溶,脂难溶,内酯环结构不稳定等因素,使得目前临床应用 HCPT 的半衰期短,疗效不够理想。已上市使用的 HCPT 水针剂及粉针剂,均是将其在碱性 pH 下水解开环制备成盐来增加其在水溶液中的溶解度。然而,喜树碱类药物的内酯结构是它们作用于靶酶的必要结构,所以 HCPT 羧酸盐型与内酯型相比,活性显著降低,毒性增大。另一方面,生物药剂学研究表明,HCPT 半衰期短,作用维持时间较短,而增加剂量势必会增加与剂量成正比的毒性反应。此外,与其他抗癌药物相似,HCPT 对肿瘤细胞与正常细胞的杀伤力均很大,因此研制高效低毒的HCPT新型给药系统具有重要的意义。 脂质纳米粒(Lipid nanoparticles ,LN)系指以天然或合成类脂如三酰甘油等为载体材料, 将药物包裹或内嵌于类脂核中, 制成粒径约为50—1000nm 的胶粒给药系统。除一般微粒载体的靶向特性外,LN还有其它特点:一是采用生理相容性好、毒性低的类脂材料为载体,其对人体的毒副作用很低;二是可采用已有成熟工艺的高压均质法进行工业化生产。LN 的水分散系统可以进行高压灭菌,具有长期的物理化学稳定性。因此,LN很适合作为抗癌药物的靶向给药载体。 本项目利用磷脂与羟喜树碱有较好亲和性、可形成复合物的性质,以适量磷脂和大豆油为载体材料,制备载药量高、稳定性好的羟喜树碱脂质纳米粒,希望通过纳米粒的被动靶向性聚集于肝脏,提高对肝肿瘤的治疗效果。目前已经完成制备工艺、质量标准、稳定性研究、药效学研究、非临床药代动力学和体内分布研究和安全性评价,整理撰写好申报资料,即将申报。 通过多批样品放大试验结果表明,羟喜树碱脂质纳米粒的制备工艺简便易行,在现有的脂肪乳生产线上再增加部分设备就完全可以生产出来。其生产成本远远低于脂质体的制备。 动物药效学实验表明:注射用羟喜树碱脂质纳米粒(0.3~3.0 mg/kg)具有剂量依赖性的抗肿瘤作用。在3.0 mg/kg相同剂量下,注射用羟喜树碱脂质纳米粒的抗肿瘤作用明显强于羟喜树碱注射液(P < 0.01);而1.0 mg/kg注射用羟喜树碱脂质纳米粒组的抑瘤率与3.0 mg/kg羟喜树碱注射液组没有统计学差异(P >0.05)。同时,病理组织学检查显示,羟喜树碱纳米脂质体组的肿瘤组织以中度坏死为主,其坏死率显著大于羟喜树碱注射液组。其结果提示,羟喜树碱纳米脂质体的抗肿瘤活性较羟喜树碱注射液有显著提高。 靶向性试验结果表明,与羟喜树碱注射液比较,注射用羟喜树碱脂质纳米粒对肝原位荷瘤裸鼠具有良好的肝靶向性和肝原位肿瘤靶向性。
四川大学 2016-04-15
一种碱式碳酸铜载镓复合氧化物及其制备方法与应用
本发明公开了一种碱式碳酸铜载镓复合氧化物及其制备方法与应用,将含硝酸铜、硝酸镓和尿素的混合溶液进行水热反应,得到碱式碳酸铜载镓复合氧化物。本发明所提供的方法具有制备工艺简单,重复性好,方便批量合成复合氧化物催化剂的优点,且所述催化剂在电还原制备合成气过程中,具有超宽的稳定电位范围,稳定电位范围宽至‑0.6~‑1.8V,且能稳定地调节CO/H&lt;subgt;2&lt;/subgt;比。本发明制备出碱式碳酸铜载镓复合氧化物,CO&lt;subgt;2&lt;/subgt;电还原制备合成气,合成气效率在90%以上,该催化剂有望在电催化领域获得广泛的应用。
南京工业大学 2021-01-12
泡沫铝规模化连续制备技术
东南大学开发的泡沫铝材料已用于载人航天、卫星平台等高技术项目,研究成果获国家技术发明二等奖。现有技术可制备泡沫铝锭再切割成板,也可利用二次泡沫化技术直接制备获得泡沫铝板,省略切割过程,提供材料出品率,较现有方法的成本更低。
东南大学 2021-04-11
海藻寡糖制备产业化示范工程
项目背景:本项目旨在开展海藻寡糖制备产业化示范。寡糖 具有抗炎症、免疫调节等多种活性。近年海藻寡糖的认可度不断 提高,即将迈入高速发展的黄金期。目前,研究比较成熟的海藻 寡糖主要包括褐藻寡糖、卡拉胶寡糖、琼胶寡糖等。前两者在国 内皆处于中试生产阶段,但随着相关产品的开发和近几年病毒性 疫情频发,市场逐渐认识到了这三种海藻寡糖的潜在功能,因此 极具市场发展潜力。然而,高品质寡糖生产线的建设、生产资质 的申报以及国外市场的进一步开拓等系列卡脖子问题仍亟待解 决。海藻寡糖生产方法主要有酸水解法、氧化还原法、酶解法等 方法,但前两种化学法生产存在条件难控制、产物聚合度不统一, 纯度也不高,产物分析和回收困难等难题,酶解法能够克服上述 问题,但还无法产业化生产。现在需要一种能够综合上述方法优 点,避免缺点的生产工艺,实现快速生产高纯度、均一聚合度的 海藻寡糖产业化。 所需技术需求简要描述:1.褐藻寡糖产品:类白色至黄褐色 粉末,糖醛酸含量(以干基计)≥90.0%,平均相对分子量≤ 5000Da。2.卡拉胶寡糖产品:类白色至淡黄色粉末,半乳糖含量 (以干基计)55.0%~75.0%,硫酸酯(SO42-计)20.0%~40.0%, 平均相对分子量≤5000Da。3.琼胶寡糖产品:类白色至淡黄色粉末,半乳糖含量(以干基计)90.0%,平均相对分子量≤5000Da。 通过产学研联合,集中力量攻关,解决海藻寡糖产业发展的技术 瓶颈问题;有利于联合相关寡糖生产和销售企业,形成联盟,带 动整个海藻寡糖大产业的发展。  对技术提供方的要求:对海藻寡糖有较深入的研究和成熟成 果,能够提供提取高纯度、均一聚合度的海藻寡糖产品产业化技 术,并开发出 1~3 种具有保健功能的大健康新产品 
青岛聚大洋藻业集团有限公司 2021-09-02
超重力场下制备复合陶瓷涂层技术
一种在超重力场中制备纳米和纳米复合陶瓷涂层的方法,涉及纳米复合陶瓷材料的制备。将制备好的复合陶瓷涂层的溶液注入离心装置,离心桶的转速逐渐调到1000~20000转/分钟,保持1~100分钟,之后在稳定的转速下,逐渐分级提高加热炉的温度到200~1000℃,保温10~600分钟,接着冷却到室温。通过在离心装置中产生的超重力场,使溶液中的胶粒、化学沉淀物,以及陶瓷粉、陶瓷纤维、金属粉、金属纤维受到一个与基体表面垂直的力,挤压到样品表面,并通过温度逐渐上升,使溶剂挥发掉,沉积物发生热解、氧化、烧结等过程,从而形成结构、成分和厚度可控,且结构致密的纳米陶瓷涂层,以及纳米陶瓷与微米的陶瓷粉、陶瓷纤维等复合的各种陶瓷涂层。金属管内制备出Al2O3-SiO2纳米-微米复合陶瓷涂层、Al2O3纤维-SiO2复合陶瓷涂层,在平面材料表面制备出多种纳米-微米复合、陶瓷纤维复合的各种厚度可控的陶瓷涂层。
北京科技大学 2021-04-11
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