一种新型片上微型电子源
真空电子器件(如X射线管、微波管、阴极射线管等)广泛应用于航空航天、医疗健康和科学研究等重要领域,但面临体积大、功耗高和难集成等问题,解决这些问题的一个方案是实现微型化的片上真空电子器件。电子源是所有真空电子器件必不可少的关键元件,当前,电子源的微型化和片上化是限制真空电子器件微型化和片上化的主要瓶颈之一,因此高性能的片上微型电子源是真空电子学领域急需的一种电子元器件。 片上微型电子源的研究始于1960年,目前已有多种片上微型电子源。然而,现有的片上微型电子源的整体发射电流较小,很难满足较多的应用需求。 本项目研发出一种新型的片上微型电子源,具有优良的综合性能,有望在片上微真空系统和微小型真空电子设备领域取得突破。
北京大学
2021-02-01