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一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法,步骤为:①在基板上刻蚀盲孔;②在基板上沉积一层图案化介电质层;③刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁的介电材料,在基板上形成介电质孔;④在介电质孔上沉积一层导电材料,形成导电孔;⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层,填充导电孔;⑥刻蚀板背面,暴露出导电层,在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;使用二层图案化介电质层,降低了寄生电容,提升了互连电性能,适用于高速和
华中科技大学 2021-04-14
高档数控机床与基础制造装备—精密立、卧式加工中心
、
北京工业大学 2021-04-14
多源约束类复杂曲面零件精密加工预处理方法
本发明多源约束类复杂曲面零件精密加工预处理方法属于复杂曲面零件精密加工领域,特别涉及多源约束类复杂曲面零件精密加工预处理方法。本发明对复杂曲面零件进行约束源分析,先确定零件类型,根据目标曲面最终面形的约束源类型,分析约束间的耦合作用机理,建立约束源之间的耦合关联模型,以满足性能指标为目标,找出对目标曲面的面形起决定作用的以性能指标为驱动的性能相伴曲面,确定通过调整几何约束以满足性能要求的修磨补偿方法,求得目标曲面各点区域的加工余量分布,最终确定满足性能指标的目标曲面精确面形。本发明提高了该类复杂曲面零件精密加工的效率和精度,使零件同时满足几何要求和性能要求。
大连理工大学 2021-02-01
铝合金壳体类零件精密锻造成形加工技术
项目概况 军事工业中的弹药部件、微波通讯器材中的壳体、汽车中的安全气囊、压缩机中的涡旋壳体等都属于铝合金壳体类零件。这些铝合金壳体都是具有异型型腔的盲孔类零件,其尺寸精度要求高、内孔型腔复杂和光洁度要求相当高,而且内孔侧壁与底面相交部分的圆角半径极小,内孔侧壁相交部分的圆角较小。 对于形状复杂、型腔深度较浅的盘状类铝合金壳体以及型腔深度较深的筒形类铝合金壳体,采用精密锻造成形工艺及模具等成套加工技术在硬铝合金如2A12、锻铝合金如6063和6061、超硬铝合金如7A04等铝合金壳体的大批量工业生产上获得了应用,达到了高效、经济、精密制造加工的目的。主要特点 采用精密锻造成形加工技术为军事工业、通信器材和汽车等装备上使用的量大、面广的铝合金壳体类零件的精密制造提供坯件,是提高生产效率、降低制造成本的关键技术。它解决了我国国内在汽车、通用机械、微波通信、军事工业等生产企业中普遍采用的数控加工方法加工这类铝合金壳体中存在的材料消耗大、生产效率低、能源消耗大、生产周期长和制造成本高等一系列问题,为铝合金壳体零件的生产提供一种实用、可靠、高效、经济的制造工艺。技术指标 对于铝合金壳体类零件,目前国内普遍采用数控车床、数控加工中心来加工这类壳体,这种加工方法可以得到合格的铝合金壳体;但该加工方法的材料利用率极低、生产效率低(只能采用小直径的铣刀,因此每次机加工量较小,需要很长的加工时间)、能源消耗大、生产周期长以及制造成本很高,因此国内企业的生产规模不大、产量不高,难于同国际相关行业竟争。 国内有些企业曾采用精密压铸技术来生产这类铝合金壳体,但由于压铸的铝合金壳体的内孔型腔光洁度差、壳体内始终存在着气孔和夹杂等铸造缺陷,使铝合金壳体的机械性能大大降低;难以达到铝合金壳体类零件的使用性能要求。 采用精密锻造成形工艺进行铝合金壳体类零件的生产,具有如下技术优势:(1) 壳体组织致密、表面光洁;(2) 材料利用率高,可达到70%~90%;(3) 生产效率高,可班产1000件~1500件。(4) 尺寸一致性好;(5) 设备投资少。市场前景 该项目的推广应用,既可节约贵重的铝合金材料,又能大大提高生产效率、减少加工工序,能显著降低制造成本;因此,具有显著的社会效益和经济效益。
南京工程学院 2021-04-13
群缝(槽)、群孔(坑)结构零件电解加工方法及设备
电解加工利用电化学过程的阳极溶解原理并借助预先成型的阴极将工件按照一定的形状和尺寸加工成型的工艺方法,具有工具无损耗、加工效率高、不受金属材料力学性能限制、成本低等优势特点。由于电解加工过程中材料去除过程是以尺寸极其微小的金属离子形式进行的,因此电解加工不仅用于常规尺寸零件的加工,而且在微纳制造领域具有很大发展潜力。 本成果针对群缝、群孔等结构零件的传统加工中存在的加工效率低、成本高、表面质量不理想等问题,提出了零部件群缝(槽)、群孔(坑)复杂结构的整体电解加工方法,并研制出相应的电
南京航空航天大学 2021-04-14
Φ1500 大尺寸超精密非球面车复合加工机床及应用工艺
激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜等国家重大工程及国防尖端技术对高精度大口径光学非球面元件(Φ400mm以上)有极大的需求。该类元件属于硬脆性难加工材料,对非球面表面加工精度的要求也相当高,当前国内精密超精密加工技术及装备与国外相比仍然存在阶段性差距,技术整体水平落后于发达工业国家。 针对国家对高精度大口径非球面光学元件的重大需求,西安交通大学联合国内超精密加工领域的优势单位秦川机床、哈尔滨工业大学、北京空间机电研究所、厦门大学和苏州大学,首次采用阶梯梁结构成功研制出了国内首台1500mm非球面超精密车磨复合加工机床,实现了典型加工件(Φ400mm以上)的面型精度优于5μm(PV),粗糙度小于10nm(RMS),同时研制出了1500mm大尺寸工件等应力支撑夹具和高精度工作转台(轴跳和径跳均为0.3μm),开发了测量范围可达1000mm的大尺寸非球面测量装置,重复测量精度1μm。
西安交通大学 2021-04-11
计算机控制中大口径光学非球面精密加工中心
Ø  成果简介:7轴5联动,最大加工范围1500mm,加工面形精度优于10nmRMS。国家863计划支持,获得部级奖1项、中国发明专利2项。Ø  技术领域:装备制造Ø  现状特点:多自由度工具装置,工艺数据库, 预期前五年平均年销售额达3000万~5000万。Ø  应用范围:新型光学元件先进制造领域中,大口径光学非球面元件的高质量制造,即可服务于国防、航空航天等国家战略
北京理工大学 2021-04-14
计算机控制中大口径光学非球面精密加工中心(产品)
成果简介:JRCODE-CCOS1200 精密数控研抛机是中心自主研发的 7 轴 5 联动 大型光学非球面精密数控研磨抛光机床。机床主体为龙门式结构,运动部件 采用精密导轨结合高精度光栅反馈,运用 8 轴控制器实现任意轴组合插补, 集成在线轮廓测量系统。工艺系统开放,具有多轨迹选择、多格式数据兼容、变参量操控与优化功能。 技术领域:先进光学加工制造 现状特点:
北京理工大学 2021-04-14
一种套筒类零件内表面微凸起的电解加工方法
(专利号:ZL 201310414136.2) 简介:本发明提供了一种套筒类零件内表面微凸起电解加工方法,属于电解加工领域。该方法利用微小群孔结构的弹性绝缘薄板,其面向零件一面进行导电化处理,并将其导电层与弹性绝缘薄板组成工具阴极,套筒类零件作为工件阳极,阴、阳极之间充满电解液,阳、阴极分别与电源的正、负极连接,进行电解加工,在套筒类零件内表面制造出微凸起结构。采用本发明的电解加工方法,能够在套筒类零件的内表面形成微
安徽工业大学 2021-01-12
精密烤箱
产品详细介绍精密烤箱 名称:烤箱(精密烤箱) 型号:KB-TL-137 精密烤箱的主要用途: 主要用于工业生产中对产品的干燥、烘焙、热处理等。 精密烤箱的产品特点: KBT系列精密烘箱测试空间共分8种标准规格,可满足各种不同需要(另可根据生产或测试需要订造非标尺寸)。 特殊设计之强制循环送风系统,可靠保证工作温度分布均匀度。 采用高效压缩玻璃棉,保温效果易显著。 另有其它工业烤箱,100级无尘烤箱等供选择。 精密烤箱的主要规格和技术参数: 内箱尺寸:500X500X550 MM 精密烤箱温度范围 室温-200℃(300℃), 温度稳定度 ±0. 5℃, 温度分布均匀度 ±2℃, 升温时间 200℃约需50min, 内/外箱材质 SUS 304#不锈钢外箱:钢板烤漆A:内胆为镜面不锈钢 保温材质 高效压缩玻璃棉, 保温装置 无熔丝开关,超温保护开关,瓷质保险丝 精密烤箱的一些配件 可调隔层板2-6件 电源1ф220VAC±10% 20A 温度表 日本名厂“SHTIMADEN”PID配SSR输出,风机延时断电功能(可另购配程式控制) 时间计 999小时跳字显示 保险装置 第一次超温报警,第二次超温切电功能,MCCB过载保护,温度自整定 电热 鳍片式散热管形电热管 运风系统 强制送风循环系统及特别设计出风口,温度分布均匀度特佳 排气烟道 叶片式设计可调出风量 控制形成 温度到达设定温度后自动打开时间计,时间到达后切断发热电源,蜂鸣提示 科宝试验设备有限公司 手机:常莉13538543665 电话:0769-82755898 0769-82755886 Q Q: 345123921 1106700866 传真:0769-82755887 邮箱:kb77777@126.com http://www.kb0769.com
广东科宝试验设备有限公司 2021-08-23
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