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柔性薄膜组装集成芯片传感器
硅芯片是当代信息技术的核心,当前正向“深度摩尔”(More Moore)和“超越摩尔”(More than Moore)两个方向发展。物联网(IoT)应用是“超越摩尔”技术路线中相当重要的一环,需要数量巨大的集成电路芯片来分析处理来自外部传感器件的海量信号。目前,大多数传感信号采集器件和信号处理单元均为分离设计,将在整体上产生更大功耗并占据更大的空间。由此,复旦大学材料科学系教授梅永丰课题组提出了将信号检测和分析功能集成于同一个芯片器件中的全新概念。作为演示,研究团队将单晶硅薄膜柔性光电晶体管与智能薄膜材料相结合和组装,构造了对不同环境变量进行检测和分析的柔性硅芯片传感器及其系统。这一思路不仅具有优异的可扩展性,还可与当前集成电路先进制造工艺相兼容。5月2日,相关研究结果以《面向智能数字灰尘的硅纳米薄膜光电晶体管多功能集成传感器研究》(“Silicon Nanomembrane Phototransistor Flipped with Multifunctional Sensors towards Smart Digital Dust”)为题发表在《科学进展》(Science Advances)上。研究团队从器件的传感机理入手,利用柔性薄膜组装集成芯片传感器,实现了多种环境参数探测功能的集成。图1:(A) 器件主要功能层示意图;(B) 贴附于曲面上的柔性传感器件阵列;(C) 智能传感器件功能区的光学显微照片;(D)用于湿度传感的集成系统构造图;(E) 氢气通入前后参比器件与检测器件的电流变化,红色为参比电流,蓝色为检测电流。智能材料在环境刺激中可以发生折射率、颜色、晶体结构等方面的光学性质变化,但一般需要光谱设备或比色卡才能进行比对。而翻转的硅薄膜光电晶体管由于没有栅极金属阻挡功能区域的光信号吸收,可以更容易获得高灵敏的传感特性。利用这一点,研究团队将多种智能薄膜材料贴合在器件功能区,智能材料内部物理性质变化引起了微小光学性能改变,从而表现在输出的光电流上,因此可以在同一个芯片上实现对多种不同信号的同时检测。图1A展示了传感器件典型的功能层结构,顶层的智能薄膜材料对环境刺激发生响应,进而改变下方硅单晶薄膜光电晶体管的输出信号。具有2微米厚的热氧化二氧化硅层则作为光电晶体管的封装,对下方器件进行保护。硅薄膜光电晶体管完全由晶圆级先进集成电路工艺方法制备而成,结合了传统硅基光电子器件的高性能和硅纳米薄膜超薄厚度下的优良柔性。图1B是贴附于半径仅为2毫米直径玻璃管上的柔性器件阵列,表现出良好的弯曲性能。图1C是单个器件功能区域的特写,在蓝色虚框部分集成不同智能材料即可实现对不同环境信号的检测。图1D是具有完备传感与数据处理功能的柔性系统合成图,包括传感与参比器件、逻辑与存储单元、信号放大器和电源。研究团队利用该系统实现了对环境中湿度的实时、快速检测,演示的信号为依次减小的三个湿度脉冲。整个过程中直接对环境变化做出响应的信号,即参比器件与传感器件输出电流随时间的变化如图1E中所示。当环境发生变化(如图所示通入氢气),传感器件的输出电流大幅增加,而参比电流保持平稳,再利用差分电路处理,即可给出所检测的环境参数的值。研究团队开发了将智能材料与光电传感结合的新颖传感机制,并将传感模块与后续信号处理等模块集成在一起,展示了其在气体浓度、湿度、温度等多种环境参数检测方面的能力,已经初步具备了未来的“智能数字灰尘”的雏形。该策略也可以应用于其他的数字传感系统,在后摩尔时代中将具有巨大的应用潜力。论文主要由李恭谨博士,博士研究生马喆和尤淳瑜合作完成,并获得韩国延世大学Taeyoon Lee教授和中科院微系统所狄增峰研究员的合作支持。该工作得到国家自然科学基金委、上海市科委、复旦大学和专用集成电路与系统国家重点实验室等大力支持。
复旦大学 2021-04-11
一种薄膜制备装置(未授权)
西南大学 2021-04-13
氮化铝薄膜和高频滤波器
高效率制备高品质氮化铝薄膜,并研究应用于 4G、5G 通信(智能手机和基站)的高频滤波器。制备薄膜质量高于现有工艺,制备效率提高十倍以上。作为制备滤波器的关键薄膜性能指标,薄膜的取向性良好(XRD摇摆曲线半高宽2度左右), 薄膜表面起伏小于 1 纳米;薄膜制备效率比传统工艺提高 10 倍以上 
中国科学技术大学 2021-04-14
新型薄膜太阳能电池技术
CZTS薄膜太阳电池:虽然CIGS 是目前薄膜太阳能电池中光电转换效率最高的太阳能电池,但是由于In和Ga元素是稀有金属,在面向大规模生产时受到元素稀缺的制约。有机-无机杂化钙钛矿太阳电池:将无机材料电子迁移率高、机械性能良好、稳定性高和有机材料光吸收率较高、易加工的优点加以整合,发挥协同效应,提高光伏电池的整体性能,是未来太阳能电池最重要的研究方向。
常州大学 2021-04-14
氮化镓陶瓷薄膜电路的激光直写
LPKF ProtoLaser R4可针对敏感基材实现高精度加工
乐普科(天津)光电有限公司 2022-06-22
安徽中航纳米技术发展有限公司
安徽中航纳米技术发展有限公司 2025-06-20
纳米铜粉
浸没循环撞击流反应器(SCISR)(中国专利申请号 Chinese Patent App No 02138720.6)能强化液相体系微观混合的特性,其适用于快速反应沉淀过程的规律,在超细粉体研究制备领域具有其独特的优势。且从反应器尺寸上来说,浸没循环撞击流反应器比一般实验室反应器要大得多,工业化的放大问题容易解决。 在浸没循环撞击流反应器中,以CuCl2作原料、KBH4作为还原剂、氨水作络合剂、聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作分散剂,反应—沉淀法制取纳米铜粉。最优工艺条件下制得粒径5.1~10 nm左右、粒径分布比较窄的纳米铜粉。制备工艺比较温和,反应温度为常温,实验制备产品粒径重复性好,实验室制备成本为3600元/公斤。产品经武汉大学检测中心X-射线衍射和透射电镜检测,分析得到产品单质铜含量较高,产物均为球形颗粒,无针状结晶。与已有的同类方法但采用不同反应技术制得的纳米铜粉数据相比,本产品更细、粒径分布更窄,是所见报道中粒径最小的。 纳米铜粉是一种新型的纳米金属材料,广泛应用于生产生活的各个方面,具有广阔的应用前景。本产品可通过包覆银膜制备铜银双金属粉替代贵金属银、钯粉末应用在电学领域的如导电胶、导电涂料和电极材料的制造等,包覆量仅为30%就可以具有常温抗氧化性能;同时制得的纳米铜粉可以作为润滑油添加剂,直接分散在高级润滑油中可提高润滑性能达到40%-50%,它的研发成功将为我国汽车发动机高级润滑油等产品的升级换代提供一种新型抗磨添加剂产品,因而具有广阔的应用前景。
武汉工程大学 2021-04-11
纳米药物开发
设计了一种基于非编码RNA靶向递送的多模态可视化纳米药物,初步实现了对体内肝癌细胞模型中肿瘤干细胞和侵袭转移的抑制。郭若汨博士、吴志强博士和王晶医生为该论文的并列第一作者,附属第一医院郭宇副主任医师为通讯作者。       该研究首先通过对临床标本进行分析,发现肝癌的非编码RNA治疗靶标。进而利用前期开发的肝细胞癌特异性“诊断-治疗一体化”纳米载体技术,实现对体内肝癌细胞的基因治疗和疗程中MRI实时显影。研究中发现,开发的纳米药物通过调控上皮间质转化/干性,抑制肝癌细胞的侵袭、转移和增殖。同时,负载治疗基因的纳米药物也具有磁共振成像等多模态分子显像功能。
中山大学 2021-04-13
医用纳米探针
通过大规模筛选,鉴定出PBOV1等一系列肝癌相关基因,并证实PBOV1确实是肝癌患者的不良预后因素。在进一步的体外功能实验中发现,PBOV1可通过调控β-catenin信号通路增强肝癌干细胞的功能,进而促进肝癌进展和转移,具有作为肝癌特异性基因治疗位点的可能性。但是,目前肝癌治疗基因的体内载体问题仍未得到完全解决。所以,该团队利用帅心涛教授长期研究开发的肝癌细胞靶向化纳米载体平台,将治疗基团导入肝癌模型,实现对肝癌细胞的精准体内抑制。更为巧妙的是,该纳米载体在进行肝癌体内基因治疗的同时,可以作为高灵敏度的分子影像探针,方便地进行MRI-近红外荧光多模态活体成像,实现治疗过程和治疗效果的实时显像,动态展示纳米药物的体内实时分布和病灶在治疗过程的变化,便于后期个体化治疗技术的开发。
中山大学 2021-04-13
纳米能源材料
通过“二维限制效应(two-dimensional confinement, 2DC)”能够使无催化活性的非晶态材料转变成为高性能的光催化分解水制氢材料即二维非晶光催化剂。他们采用自己发展的“金属氧化物纳米晶LAL(laser ablation in liquids, LAL)非晶化”技术,在纯水中将Ni纳米晶转化为二维非晶NiO纳米片,并且证实了其在不添加任何贵金属助催化剂的情况下可以实现高效光
中山大学 2021-04-14
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