|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起，硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材，其需求日趋增加。同时，基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极，然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染，导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂，严重影响了多晶硅电极的使用性能。
传统制备技术下，设备热场结构单一，熔体流动性差，导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出，难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质（P、 O、N）；利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固，进而分离硅中的金属杂质；基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒，并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系；基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺，可应用于刻蚀等半导体制造等领域。
本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持，具有很好的生产示范性，实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗，是一种低成本、环境友好的生产方法，属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广，可大幅增加就业岗位，提高企业的市场竞争力，保护环境。
大连理工大学
2021-05-10
单畴超导块材Gd-Ba-Cu-O 的制备与其超导性能的研究
直径为25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)单畴超导块材在温度为77K时，捕捉磁场高达4 T；而在29 K时，捕捉磁场甚至达17 T，优越的性能促进了该类超导材料在电机、发电机、工业污水处理、医学核磁共振等方面的应用研究。
本课题以通过熔融织构方法生长高性能的单畴超导块材作为研究对象，选择合适的单相氧化物作为第二相生长GdBa2Cu3O7-δ超导块材。在制备的高质量系列样品的基础上，通过低温磁性测量分析临界电流密度随温度及掺杂量的变化曲线；分析微观结构，揭示第二相、缺陷等对超导性能影响的原因。以期找出提高超导块材性能的合理生长方法，对其微观机制给出尽量圆满的解释。这也为澄清与当前超导材料前沿课题紧密相关的一些基本问题的理解提供基础研究资料。
该项目已获国家自然基金项目立项支持。
上海电力大学
2021-04-29
一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法
本发明涉及金属材料加工技术领域，具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤：将超高纯铝板材于５０℃～３００℃下热轧，道次压下量控制在４０％～５０％；将热轧后的超高纯铝板材在１００～３００℃温度下保温０～１小时；然后进行冷轧，道次压下量控制在４０％～５０％，通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升，抑制板材的
东南大学
2021-04-14
紧固件用 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为 BT16，中国牌号为 TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金，该合金属于高强度钛合金，其塑性非常好，并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小，因此特别适应于冷镦法制造紧固件，如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等，是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性，主要的产品是棒丝材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学
2021-04-14
紧固件用Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为BT16，中国牌号为TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金，该合金属于高强度钛合金，其塑性非常好，并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小，因此特别适应于冷镦法制造紧固件，如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等，是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性，主要的产品是棒丝材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学
2021-04-14
一种大幅面零部件的增减材复合制造设备
发明公开了一种大幅面零部件的增减材复合制造设备，包括床身，床身上安装有多个用于增材制造的六自由度倒挂机器人和五轴·825·联动龙门铣床，多个倒挂机器人分布在龙门铣床的铣削头周围；倒挂机器人上设有增材制造设备，所使用的热源可以是高功率激光束或者电弧；增材制造设备在工作平台上进行单层或多层毛坯体制造，龙门铣床铣削头对单层或多层的毛坯体进行精加工和修整。本发明克服了大幅面复杂零部件铣削加工的困难和增材制造技术
华中科技大学
2021-04-14
一种用于制造片材与柔性薄膜复合叠层的系统及方法
本发明公开了一种用于制造片材与柔性薄膜复合叠层的系统及其方法，所述系统沿着薄膜输送方向依次包括开卷装置、第一检测装置、上料装置、压合装置、第二检测装置、裁切装置、第三检测装置、下料装置以及收卷装置。其中开卷和收卷装置分别用于将薄膜展开和缠绕收卷，上料和压合装置分别用于真空吸附片材和将片材在薄膜上叠合，裁切装置用于对复合叠层执行断点切断，第一、第二和第三检测装置用于检测柔性薄膜的输送、叠合对位和裁切效果予以检测和反馈，下料装置用于对复合叠层执行下料及分类处理。通过本发明，能够保证薄膜的稳定输送及其与片材之间的精确定位，防止片材出现弯曲和脆裂现象，而且便于对复合叠层进行裁切和分类处理。
华中科技大学
2021-04-11
药物中间体丁香乙酮与香草乙酮绿色合成技术
丁香乙酮与香草乙酮属高附加值药物中间体，售价高达1千元/公斤以上。目前工业上采用 酰化-转位法生产这二种中间体，存在原料价格昂贵、副产物分离困难、环境污染大等缺点， 造成生产成本高、产品价格居高不下。这条路线的优点在于： 1. 原料制备方便，自备生产原料，可形成技术的垄断性，并增加产品数目； 2. 使用本课题组开发的高效绿色氧化技术，安全、高产、分离简便，仅有少量中和废水； 3. 氧化技术通用，可以制备同类各种对羟基芳酮、醛，和各种对羟基一二级苄醇化合物。
华东理工大学
2021-04-11
白光LED用含氮硅酸盐绿色发光材料及制备方法
本发明涉及一种白光LED用含氮硅酸盐绿色发光材料及制备方法。该发光材料的化学组成可表示为：Ca2-xSi(O4-yNy) : xEu2+，0.003≤x≤0.06，0.1≤y≤0.8。其制备过程为：（1）以硝酸钙（CaN2O6·4H2O）、硝酸铕（EuN3O9·6H2O）正硅酸乙酯（C8H20O4Si）、氮化硅（Si3N4）为原料，采用溶胶凝胶法，获得前驱体，（2）将所得前驱体与氮化硅粉体混合均匀，在非还原性气氛下于1000~1200℃焙烧2~4小时，获得Ca2-xSi(O4-yNy) : xEu2+荧光粉。所得发光材料，发光性能显著，在近紫外到紫光波长范围（300~400nm）有宽带吸收，发射出强度高的绿色光（500~504nm）。通过氮化硅与前驱体的混合焙烧，在不需要任何还原气氛下，将Eu3+还原为Eu2+，制备方法简单、安全。
四川大学
2021-04-11
工信部：将组织编制汽车产业绿色发展路线图
我国新能源汽车产业发展已进入规模化快速发展的新阶段，预计今年仍将保持高速增长态势。
人民网
2022-03-09