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高频辉光放电等离子体化学气相沉积(PECVD)装置
PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)—等离子体化学气相沉积,在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子,提供化学气相沉积过程所需的激活能,相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1)自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号;2)可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境,且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3)专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构,可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构,可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4)该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计,符合产品要求。
北京交通大学 2021-04-13
一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
本发明公开了一种原子层沉积装置,包括原子层沉积单元喷头,所述单元喷头包括高压气流入口,惰性隔离气体入口通道,出气口通道,和两种前驱体入口通道,其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置,该装置是微型开放式且可移动可扩展,能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积,并可直接经过简单多块组合,增加沉积效率。
华中科技大学 2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置,所 述方法,即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动,依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统,基片通过每个原子层沉 积系统时:调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置, 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置;原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统;基片承载台,设置 在原子层沉积反应腔下方;运动平台,与基片承载台连接,带动基片 承载台运动;温度控制装置,设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜,所述装置,能方便的通过现有 原子层沉积系统组装,兼容性强,功耗低,沉积效率高。 
华中科技大学 2021-04-11
结构件(螺纹钢、紧固件等)热镀Galfan合金技术
一、 项目简介本项技术是将结构件热镀锌变成热镀Galfan合金。结果获得高性能的表面镀层。其特点:具有高于热镀锌3倍的耐腐蚀性,更好的后加工性能。因此在保证相同质量的前提下,可以节约三分之二的锌,由此一项每年全国可以节约500亿。对于企业而言可以大幅度降低成本,提高环保的水平,彻底改变目前结构件热镀锌的落后面貌。二、 项目技术成熟程度已完成实验,中试阶段的工作,需要工业应用。三、 技术指标镀层厚度20-50微米,耐蚀性能:热镀锌的2-3倍;获得实用新型专利1项,获得发明专利1项,申报发明专利3项)。四、 市场前景是结构件热镀锌的升级换代产品,广泛应用于城市建设、桥梁、电力、建筑等方面。传统工业的改造,具有固定的市场,一旦投入,利国、利民、利己,前景无限。五、 规模与投资需求最好在原有业务基础上利用现成的市场投资。投资规模1000 万元,厂房3000平米,电力2500千瓦,天车,机加工备设。六、 生产设备结构件热镀Galfan合金生产线七、 效益分析按每年生产3万吨吨计算,产值4500万元,可获利约1310万,较热镀锌增加利润860万元。八、 合作方式面谈。九、 项目具体联系人及联系方式项目负责人:曹晓明 ,电话:13902060727  ,联系人:杜安 ,电话:60204527  邮箱:caoxiaoming@hebut.edu.cn 。十、 附件:成果图片热镀锌与热镀Galfan耐腐蚀性能的对比曲线热镀Galfan合金样板热镀Galfan合金螺纹钢Galfan镀层的附着力的测试
河北工业大学 2021-04-11
阴极离子镀超硬涂层在硬质合金刀具上应用
本项目系统地研究了阴极离子镀第一代涂层(TiN,TiC和CrN)、第二代涂层(TiCN和TiAlN)、第三代涂层(TiN/TiCN)、第四代涂层(金刚石和DLC)、第五代涂层(TiAlSiN)和第六代涂层(AlCrN)的制备方法及其摩擦-磨损性能,适应了数字化制造时代的需求,满足了干切削的要求,具有高热稳定性、高抗氧化性和良好的红硬性的优点。本项目制备的高性能涂层,如TiAlN、AlCrN和TiAlSiN等在国内有巨大的应用市场,目前国内的刀具和模具的涂层市场超过200亿元。与国外同类涂层相比,性
常州大学 2021-04-14
电沉积低温烧结制备氧化物薄膜和微叠层技术
本技术可以获取各种单一氧化物和多元氧化物纳米薄膜,以及叠层氧化物纳米薄膜。可用于提高金属的抗腐蚀性能以及获得多种特殊功能,如铁电性能、磁性能、电致变色、化学催化、超导、光电转换等。 本技术可以获得Mg、Ca、Sr、Ba、Y、La、Ce、Yb、Ti、Zr、Hf、Ta、Cr、W、Mo、Mn、Fe、Co、Ni、Ir、Pd、Cu、Zn、Cd、Al、In、Si、Sn、Pb等元素的单一氧化物或它们的多元氧化物纳米薄膜,厚度<0.2um。氧化物薄膜质量优于溶胶凝胶法,厚度均匀,根据需要可以控制厚度膜。先后沉积不同的氧化物薄膜可以获得叠层氧化物纳米薄膜。制备过程简单,重现性好是本技术的优势。
北京科技大学 2021-04-11
一种喷射沉积成形制备大块非晶合金的方法
雾化喷射沉积成形技术近年来被广泛用于研究和发展高性能的快速凝固材料。该技术最突出的创新点在于,将液态金属的雾化和雾化熔滴的沉积自然地结合在一起,是一种短流程快速凝固体材料制备新技术。喷射沉积成形块体致密件的形成,是在特定条件下的凝固过程。其基本特点是在沉积表面形成一层极薄的液膜,块体致密件的形成则是这一液膜不断凝固、推进的过程。在多年研究喷射成形技术的基础上,杨滨教授及其课题组成员近年利用喷射沉积成形技术成功地制备出了最大直径为380mm、最大厚度12~13mm的La62Al15.7(Cu, Ni)22.3大块非晶合金,这是国际上迄今报导的最大尺寸的镧基非晶合金样品。DSC测试结果表明,沉积态La62Al15.7(Cu, Ni)22.3非晶合金的过冷液相区宽度DTx和约化玻璃转变温度Trg均高于单辊旋转熔体快淬或铜模铸造法制备的同成分非晶合金。 已获得中国发明专利,杨滨,刘宗峰,张勇,张济山,陈国良,一种喷射沉积成形制备镧基大块非晶合金的方法,专利号:ZL200510086239.6。“高熔点高合金化材料快速凝固气雾化制备技术”,获中国有色金属工业科学技术奖一等奖(2003.12)。
北京科技大学 2021-04-11
一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置
本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置,该方法的特征在于,在前驱体的吸附过程中引入了流化气,利用流化气吹散粉体,实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体,供应系统,真空系统,加热系统,监测系统和控制系统,其特征在于,供应系统包括流化气源,流化气通过流化气输送支路进入反应腔体,用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性,并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能,提高了粉体包覆的效率。
华中科技大学 2021-04-14
金属有机化学气相沉积工艺和反应器设计
项目简介 本成果基于金属有机化学气相沉积(MOCVD)GaN 生长的化学反应动力学原理和传热 传质原理,设计了一种新的 GaN 生长的 MOCVD 工艺,以及相应的新的 MOCVD 反应器。新 工艺可以大大减少气相寄生反应、提高衬底上方的温度和浓度均匀性,加大生长窗口。 改进了传统的 MOCVD 工艺窗口窄,对温度和浓度过于敏感等缺点,属国际首创。围绕该 成果已申请多项发明专利。 性能指标
江苏大学 2021-04-14
一种环保型高掺量尾矿免烧免蒸砖及其制作方法
本发明属于建筑材料技术领域,具体涉及一种环保型高掺量尾矿免烧免蒸砖及其制作方法。包括无害化处理剂、水泥、尾矿砂和水,经筛选、搅拌、陈化、再搅拌、干压成型、自然养护,按其工艺制得环保型高掺量尾矿免烧免蒸砖;所述的无害化处理剂采用细度为400目的氯化镁、生石灰、石膏粉、氯化钙、硫酸铝、硅酸盐和硅灰等的复合料,所述的水泥采用PO42.5号,其特征在于:所述的各原料所占重量百分比为无害化处理剂2~6%、水泥5~10%、尾矿砂80~85%、水5~8%。本发明长期使用后不会产生墙面产生鼓包、隆起或墙面粉刷层脱落
安徽建筑大学 2021-01-12
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