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MEMS压力传感器
自然频率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 灵敏度 50-80Hz/kPa 一个大气压下（101.3kPa）的谐振频率 63 kHz-75 kHz 受温度的影响 15V 1.5V 驱动电压 50-80Hz/kPa
电子科技大学
2021-04-10
MEMS 压力传感器
已有样品/n已完成针对低、中、高压（10kPa-40MPa）MEMS 压力芯片的原型器件开发；能 够针对不同应用领域的 MEMS 压力芯片进行优化设计，解决提高灵敏度和降低非线 性、芯片长期工作稳定性的关键技术难题；原型芯片的研发技术符合工程量产化技 术要求，易于快速转化和量产；与国外知名公司产品相比，技术指标相当，部分指 标如灵敏度温漂系数相比优异。 MEMS压力传感器可应用于工业类仪器仪表、油井勘探、工业自动化控制中压力 监测、可穿戴、智慧医疗领域压力测量、汽车电子等领域。年需求量可达数千万只。
中国科学院大学
2021-01-12
MEMS压力传感器
成果简介： 自然频率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 灵敏度 50-80Hz/kPa 一个大气压下（101.3kPa）的谐振频率 63 kHz-75 kHz 受温度的影响 15V±1.5V 驱动电压 50-80Hz/kPa
电子科技大学
2017-10-23
光纤光栅压力传感器
光纤光栅压力传感器通过承压端头将压力传递到敏感元件光纤光栅， 检测光纤光栅的反射光信号波长的移动来获得压力值。传感器内部压力 敏感元件和传输线路全部为单模光纤，不带电，不受电磁干扰和射线的 影响，可以长期稳定工作于强电磁干扰及易燃易爆危险环境。光纤光栅压 力传感器釆用单端双出纤方式，内置有测温光纤光栅，可同时进行温度监 测和温度漂移补偿，并且在0. 5MPa~4MPa之间具有多种量程规格可供选 择，能够广泛应用于各种油气罐、油气井压力、水位的实时监
西北工业大学
2021-04-14
自供电式压力传感器
一、项目分类
关键核心技术突破
二、成果简介
作为信息监测的窗口，压力传感器在我们生活中的应用越来越广泛。通过压力传感器我们可以实现人体活动状态和电池内部健康状况的实时监测，以及潮汐洋流的经过、水位的涨落等，从而对危险情况作出判断。根据传感机理压力传感器可分为摩擦电型、压电型、电容型及压阻型四大类，其中电容型和压阻型传感器的探测范围限制于低压探测，严重制约其在高压范围中的应用，且需外接电源不适用于长期监测。摩擦电型和压电型传感器具有自供电功能，但这两类传感器不适用于静压探测。并且，目前以上四类传感器均不能直接应用于电解液环境中，器件封装导致传感器灵敏度受限是目前的痛点难题之一。
华中科技大学
2022-07-27
可自组网的压力传感器
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。 本传感器由压力传感器，输出显示，2路输出信号以及zigbee通信几个部分构成，区别于其他传感器的最大特点是可以支持zigbee自组网，可以将一个厂房里面散落在不同位置的传感器的压力信息通过自组网汇总到办公室的电脑上，实现对多个待测点的监控。具体的功能如下：l 压力传感器检测系统压力l 在本仪器上可以显示当前系统压力l 可设置阈值并配置2个输出信号（及时根据阈值输出信号）l 多个传感器之间可以通过zigbee自动组网，在办公室电脑就可同时观察多个待测点 应用范围： 1.应用于液压系统 2.应用于安全控制系统 3.应用于注塑模具 4.应用于压缩机，空调冷设备 市场前景： 工业生产中机器换人的发展十分迅速，而在不锈钢拉升工艺中很难解决的一个问题就是次品检测，目前可以用人工肉眼方式观察，但是一旦实现自动化生产，次品的检测问题就会变成非常严重。本传感器通过对液压系统的监控，可以很好的实现次品检测，一旦发现次品可以及时发送信号停止整条生产线，确保设备的安全。 基本上一台液压机就得配备一个传感器，因此市场的需求量还是比较可观。
北京交通大学
2021-04-13
硅微谐振式压力传感器
本硅微谐振式压力传感器采用自主设计的膜片——谐振梁式复合敏感结构、自主探索的工艺流程和自主研发的信号处理技术，具有优良的稳定性和灵敏度，且敏感结构比国外同类产品简单，适合国内工艺水平现状。 该传感器用于大气压力测量或液体压力测量，在气象、航空、石油、化工、电力等领域应用前景广阔。目前，该技术已达到小批量样机生产的实用要求。
北京航空航天大学
2021-04-13
MEMS 耐高温压力传感器及技术
该项目应用先进的MEMS技术，研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。该成果获得2006年度国家技术发明二等奖、2005年度教育部技术发明一等奖、2004年度陕西省科技进步一等奖和2004年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利20余项。
西安交通大学
2021-04-11
基于石墨烯的 MEMS 压力传感器
基于石墨烯的 MEMS 压力传感器，属于微机电系统（MEMS）的压力检测器件，解决现有 MEMS 压力传感器尺寸较大，灵敏度有限的问题。本实用新型包括基底、绝缘层，所述基底表面氧化形成绝缘层，绝缘层内刻蚀出空腔，绝缘层上表面覆盖石墨烯薄膜，将所述空腔封闭，石墨烯薄膜为 1~5 层；所述石墨烯薄膜边缘沉积两个金属电极，两个金属电极上分别焊接有导线。本实用新型采用石墨烯薄膜构成 MEMS 压阻式压力传感器，制备方法简单，可靠性好，压力传感器体积更小，从微米尺度变为纳米尺度，灵敏度更高，在 1~5 层内增
华中科技大学
2021-04-14
耐高温微型压力传感器实用化开发
研究基于SIMOX技术的耐高温压力传感器，达到目标为工作温度200℃-400℃，抗1000℃高温冲击，量程从1MPa～100MPa。非线性±0.5%Fs。固有频率20Hz-150Hz。主要研究内容：带有导电通道的选择性氧离子注入SIMOX技术的SOI硅片制作，抗瞬时超高温和长期高温冲击的总体结构设计与优化；长期工作稳定性研究等。产品达到同类产品的先进水平。
西安交通大学
2021-01-12