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一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置,该输出装置由 装载前驱体的钢瓶(101),缓存腔(103),连接所述钢瓶(101)与 缓存腔(103)的第一开关阀(102),位于所述缓存腔腔体内且与所 述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞(104),以及控制输出主管路的 第二开关阀(105)构成。本发明通过固定空间的气体体积变化,每次 稳定的排出等量前驱体,保证定量输出前驱体,能够更好的适应于前 驱体用量优化分析及在线监测系统分析。 
华中科技大学 2021-04-11
一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置,该输出装置由装载前驱体的钢瓶(101),缓存腔(103),连接所述钢瓶(101)与缓存腔(103)的第一开关阀(102),位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞(104),以及控制输出主管路的第二开关阀(105)构成。本发明通过固定空间的气体体积变化,每次稳定的排出等量前驱体,保证定量输出前驱体,能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。
华中科技大学 2021-04-14
铝表面保护胶
一、  项目简介: 利用环氧丙烯酸酯以及其他助剂经特殊工艺加工制得。二、主要功能及技术指标: 本胶在UV下5秒内固化,其膜在90℃~180℃下弯曲不断裂,膜硬度为3H-4H,比进口胶好。三、市场分析及预测:       本产品可用于空调、灯和手机等外壳上铝材与铝合金得保护,用量巨大。产品生产中无“三废”,应用时无有机溶剂放出,使用安全。四、经济效益:       项目投资15万元(不含检测设备),需较多流动资金。毛利润50%~60%,按年产量1000吨计,毛利4000万/年。
武汉工程大学 2021-04-11
超表面透镜成像
电流变液在具有广泛的应用前景,但是目前的巨电流变液采用极性分子包覆的方法,寿命很短,无实 数值孔径是光学透镜最重要的基本参量,衡量着光学系统的收集光子能力。对于显微物镜,数值孔径 用价值。本项目已制备出纳米碳镶嵌在二氧化钛表面的颗粒,与硅油混合后得到屈服强度高、漏电流低、 越大,成像光斑越小,成像细节越清晰。常规油浸物镜由于采用了特殊的高折射率匹配液,在高分辨率成 寿命长、温度稳定性好的电流变液,达到实用的水平。计划扩大生产量,并将电流变液应用在阻尼器上, 像和浸润式光刻中更被广泛应用。超构表面结构是一种具有横向亚波长尺度的微纳光学结构,可以在不 实现实用化。
中山大学 2021-04-10
等离子体增强化学气相沉积(PCVD)技术
等离子体增强化学气相沉积(PCVD)技术是在一定温度和气压的真空炉内通入工作气体,产生辉光放电,激活沉积反应,从而在基材表面形成耐磨损、抗氧化的陶瓷涂层。本项目为PCVD工业生产型设备及模具强化成套技术,1999年1月通过了国家教育部组织的技术鉴定,认为该项目在设备总体结构的优化设计、逆变式脉冲直流等离子体技术、脉冲直流PCVD法制备高性能TiN陶瓷涂层和
西安交通大学 2021-01-12
液相沉积法制备云母钛珠光颜料的合成技术
云母钛珠光颜料是20世纪80年代由日本,法国等国家的学者开发成功的高档颜料产品,颜料粒子是片状,粒径一般为10-6um,每个粒子都具有层状结构,即云母片夹在两层TiO2包覆层之间,它们之间没有任何粘附剂,TiO2的晶型为金红石型。云母钛珠光原料的外观为银白色粉末,折射率为2.4-2.6,相对密度为3.7。无毒,耐光,耐热,耐化学腐蚀,不易燃,不导电。颜料的珍珠光泽金额干涉色的差异与产品的粒度大小,粒度分布及TiO2的含量有关,粒子颗粒较粗时具有类似金属的闪烁效果,粒子较细小时,具有类似丝绸的柔和光泽。TiO2含量较低(约为10-20%),即色膜层较薄时,其发射色是白色,银白色或珍珠色;含量较高即色膜层较厚时,其发射色为各种颜色的干涉色,或为金色或为红色,蓝色或绿色。色泽鲜艳,幻彩缤纷,闪烁无穷,美观无限。云母钛珠光颜料主要用于塑料,橡胶,涂料,化妆品等高档商品的生产中,为产品提供柔和多变的色彩,使产品更具高贵华丽。在轿车面漆生产中加入本产品可增加汽车漆面的耐候性和洁亮的光泽,延长使用寿命;在高档化妆品中使用,使产品无毒,色彩稳定和洁肤润滑之功能;在橡胶,塑料中使用,还能使产品的热稳定性显著提高
武汉工程大学 2021-04-11
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置,所 述方法,即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动,依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统,基片通过每个原子层沉 积系统时:调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置, 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置;原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统;基片承载台,设置 在原子层沉积反应腔下方;运动平台,与基片承载台连接,带动基片 承载台运动;温度控制装置,设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜,所述装置,能方便的通过现有 原子层沉积系统组装,兼容性强,功耗低,沉积效率高。 
华中科技大学 2021-04-11
高频辉光放电等离子体化学气相沉积(PECVD)装置
PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)—等离子体化学气相沉积,在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子,提供化学气相沉积过程所需的激活能,相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1)自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号;2)可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境,且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3)专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构,可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构,可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4)该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计,符合产品要求。
北京交通大学 2021-04-13
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置,所述方法,即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动,依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统,基片通过每个原子层沉积系统时:调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置,包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置;原子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统;基片承载台,设置在原子层沉积反应腔下方;运动平台,与基片承载台连接,带动基片承载台运动;温度控制装置,设置在基片承载台下方。所述方法能高效快速的制备多元物质原子层沉
华中科技大学 2021-04-14
钢轨表面擦伤检测系统
本系统是在国家863计划资助下,由铁道科学研究院和北京交通大学联合研制的高速智能检测系统。该系统由高速采集子系统,卷宗存储子系统和智能识别子系统三部分组成。      1.高速采集子系统通过高速线阵扫描相机和光电编码器实现等距离、无遗漏和无叠加的钢轨表面图像获取;      2.卷宗存储子系统 实现检测线路海量多源信息(视频、里程和GPS等信息)的单一文件存储,并提供实时的视频检索功能;      3.智能识别子系统 应用先进的图像处理和模式识别技术实时检测钢轨表面擦伤。系统特点:       面向高速铁路的钢轨表面擦伤检测系统具有如下显着特点:      1.速度快,理论上检测列车运行速度在 260km/h条件下可以实现实时检测;      2.准确率高,在实验条件下,漏检率小于3%;      3.鲁棒性强,在不同天气条件下本系统能保持高性能稳定工作。
北京交通大学 2021-04-13
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