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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置
本实用新型公开了一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置，包括贯穿有推杆的气缸，所述气缸缸头设置 有与推杆配合的伸缩爪，所述气缸内设置有第一活塞和第二活塞，第一活塞和第二活塞将气缸内腔分为 前腔室，中腔室，后腔室，其中前腔室位于气缸头部，所述前腔室和后腔室均与大气连通;所述推杆前 端沿轴线设置有多段上小下大的棱台状斜面，中部与第二活塞固定，尾端设置有与大气压连通的第二气 口，所述第二气口与中腔室连通;所述述
武汉大学
2021-04-14
一种单缸双活塞内孔用机械手
本发明提供一种单缸双活塞内孔用机械手，包括气缸、一级活塞(21)、二级活塞(22)和弹簧卡 爪(3)，所述的气缸包括缸体(11)、设置在气缸下端的端盖(12)和设置在缸体内壁的活塞导向套(13)， 所述的一级活塞(21)设置在缸体中部，所述的二级活塞(22)设置在缸体(11)下部，二级活塞(22) 上下端均设有活塞杆;本发明的气缸结构中，将传统的两级气缸结构简化为单缸双活塞结构，两个活塞 将气缸腔
武汉大学
2021-04-14
金属薄板海量群孔/群坑高效加工技术
成果简介在 21 世纪的航空航天、 电子、 仪器、 纺织、 印刷、 医疗器械和汽车等工业领域中， 以微小群孔/群坑为关键结构的零部件使用越来越广泛， 例如光纤连接器、 喷丝板、 电子显微光栅、 微喷嘴、 过滤网、 冷气导管、 印刷电路板、 摩擦副表面用于减磨的微细群坑结构等。 目前， 加工微小群孔的方法主要有： 机械加工、激光加工、 电火花加工、 掩膜电解加工和电子束加工。 但这些加工方式或多或少均存在着一些问题， 机械加工易产生内应力和毛刺； 激光加工效率高， 但其加工后的孔壁有再铸
安徽工业大学
2021-04-14
钢质深孔零件温 (热)挤压工艺及应用
技术原理及特点 ：本研究的应用领域为材料加工工程，特别是钢制件 的塑性加工。本研究针对凿岩机产品中同类零件最复杂的 “转动筒套体 ”， 从正、反挤压 2 方面开展了工艺试验与应用研究，成功开发了 “转动筒套 体”热挤压工艺。 本研究设计应用了一种 “分步脱模 ”机构，解决了经典的正挤压模具结 构存在的制件脱模难这一关键问题，正挤压分步脱模法为国内首创。 本研究在江西省内和凿岩机行业同类零件
南昌大学
2021-04-14
一种单楔式内孔抓紧机械手
本实用新型公开了一种单楔式内孔抓紧机械手，包括气缸和卡爪，气缸内设有第一活塞和第二活塞 将气缸内分为前腔室、中腔室和后腔室三个腔室，前腔室、中腔室和后腔室分别设有可通气的第一气口、 第二气口和第三气口，第一活塞和第二活塞之间的气缸内壁上设有限位块，第一活塞上设有可从气缸顶 部开口伸出的卡爪，第二活塞上设有可自由穿过第一活塞且从卡爪内伸出的活塞杆，活塞杆顶部设有棱 台，卡爪顶部设有弹性爪，弹性爪和棱
武汉大学
2021-04-14
不锈钢玻璃仪器气流烘干器30孔
产品详细介绍玻璃仪器气流烘干器是使用玻璃仪器的各类实验室、化验室干燥玻璃仪器的适用设备。填补了国内空白，它具有快速、节能、无水渍、使用方便、维修简单等优点.该烘干器分B、C型二种型号。B型为改进新型，有调温自动控制装置(可调温40-120℃)，C型为全不锈钢调温型。 规格： (1)12孔 20孔 30孔可依需要任意选择。 (2)标准管、异形管，粗细长度不等，还可根据需要另订制作。 序号 NO. 规格 型号 Type 实用范围 Range 风管尺寸 Air duct Dementions 调整范围 Adjustable range 机型尺寸 Machine Dimension (mm) 重量 Weight Kg 功率 Power 工作电源 Working Pressure 长度 Length 数量 温度 Temp. 精度 Precision W V/HZ (mm) Q ℃ ℃ 1 B 800 ～220/50 170/200 12 20 30 40/120 ±5 400×40 7 8 2 C
巩义市科华仪器有限公司
2021-08-23
超细硅酸铝生产技术
超细硅酸铝是一种新型的白色颜料，是一种可改善颜料的着色力，遮盖力和附着力等增效作用的功能性硅酸盐。明显地改进涂料白度，干膜遮盖力，储藏稳定性及耐候性，所制造的涂料用于公路标表线和斑马线，可增大使用寿命和清晰度，是在发达国家中此种用途的首选颜料。此外，超细硅酸铝还大量用于印染，皮革，油墨，造纸，塑料，橡胶等生产中。 将净化处理后的水玻璃和工业硫酸铝溶液分别稀释，并制成一定浓度，在搅拌反应槽中进行反应生成硅酸铝，经陈化处理后，过滤，洗涤，干燥，粉碎及表面处理即可制成超细硅酸铝产品。 年产5000吨的生产装置，建设总投资约为1500－2000万吨，产品远远满足不了广阔的市场需要。
武汉工程大学
2021-04-11
超快高储能柔性器件
本项目以制备超快高储能柔性器件为导向，建立基于界面纳米复合材料的新技术。通过水热法和电化学方法在柔性导电基底上构建纳米阵列/金掺杂二氧化锰的三维纳米复合电极，作为正极；通过水热法和热处理法在柔性导电基底上生长多孔氧化铁纳米复合材料，作为负极，组装全固态薄膜器件。利用纳米复合材料的多方面优势加速电子/离子在活性材料中的传递，进而达到超快高储能的目的。基于纳米复合材料的全固态薄膜器件可展现出超快充电能力（10 V/s），比常规电容器的充电时间快10-100倍。这是国际上基于金属氧化物赝电容薄膜型超级电容器研究领域的一个重大突破。此外，本项目以开发超快超柔储能器件为导向，开发了一种热力学诱导自发组装和原位掺杂结合碳热还原的方法来实现石墨烯纳米筛粉体和薄膜的宏观可控制备，解决了传统石墨烯材料纵向物质传输差的局限。通过控制碳热温度，可以调节石墨烯纳米筛表面的孔密度，即孔径大小可控（10~100 nm）。与传统石墨烯薄膜电极相比，石墨烯纳米筛表面丰富的孔结构使得其作为电极材料时拥有更大的比表面积，而且电解质离子可以在垂直于平面的轴向上传递，缩短了离子传输路径。
华中科技大学
2021-04-10
直喷超细水合CaO粉烟气脱硫
火电厂烟气脱硫技术目前国内外约有上百种工艺，但是有实际应用价值的仅十几个工艺。“炉内喷钙尾部活化” (LIFAC) 技术是芬兰在 20 世纪 80 年代发明的一项技术，其特点是初投资少，占地面积小，系统简单，运行费用低，在较低的 Ca/S 比的条件下可达中等脱硫效率 (70-80%) ，比较适合于我国现役火电机组脱硫改造。“直喷超细水合 CaO 粉烟气脱硫”技术是在 LIFAC 技术基础上进行改进，它的特点是用锅炉废水在高压下水合 CaO ，使之形成水合石灰［ Ca(OH)2 · CaO ］，并在特殊的雾化方式下使之形成 10 μ左右的超细水合石灰颗粒，直接将其喷入锅炉炉膛进行脱硫。该方法炉内脱硫在 Ca/S ≈ 1.6 条件下，脱硫率达到了 78% 。预计在配水膜、布袋除尘后可以达到 85% 左右的脱硫率。可以去掉 LIFAC 的尾部活化和烟气再热系统。大大地降低了初投资。按目前价格计算投资成本约为 250 元 / 千瓦，不大于电站投资 5% ， Ca/S 比＜ 1.6 ，达到脱硫率 70-80% 。
上海理工大学
2021-04-11