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一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法
本发明公开了一种在SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计,其中,固定结构的槽宽明显大于悬空结构,宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近SiO2层,再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的Si层分离,将窄槽间的梁释放,形成具有平整底面的悬空结构,同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的Si以及固定结构与其它结构之间的区域底部的Si,使得固定结构与窄槽下方的Si层及其它结构隔离,从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效,能广泛应用于MEMS悬空结构的加工。
华中科技大学 2021-04-14
一种基于旋转光谱仪的极地海冰多层位光谱辐射测量系统
本实用新型公开了一种基于旋转光谱仪的极地海冰多层位光谱辐射测量系统,测量系统包括均设在密封舱内的辐射信号耦合装置、光谱仪、电源、主控子系统、光电编码器、机械传动装置、伺服电机、光谱仪固定块、光纤接口/固定装置;电源与主控子系统相连,为其提供工作电压;辐射信号耦合装置和光谱仪通过光纤相连,光谱仪和辐射信号耦合装置通过光谱仪固定块安装在机械传动装置的旋转主轴上,光电编码器设在机械传动装置的旋转主轴上,伺服电机与机械传动装置相连,光谱仪、光电编码器和伺服电机均与主控子系统相连。本实用新型采用旋转光谱仪的方式,进行极地海冰多层位光谱辐射测量,提高了此类型系统在极地环境下长期、连续、稳定工作的能力。
浙江大学 2021-04-13
一种用于超级电容器电极材料的纳米氧化镍的制备方法及其制备的纳米氧化镍
本发明公开了一种用于超级电容器电极材料的纳米氧化镍的制备方法及其制备的纳米氧化镍,首先将NiCl2·6H2O与氯化胆碱基深共熔溶剂混合,得到质量浓度为10~30g/L的溶液Ⅰ;加热至120~150℃,将100~300份的去离子水与1000份溶液Ⅰ混合,反应0.5~2h,经离心分离得到沉淀物,再经洗涤、干燥、煅烧后,得到所述的纳米氧化镍。本制备方法条件温和、耗时短,适合大规模工业化生产;制备得到的花状纳米NiO的晶粒粒径小于10nm,粒径分布均匀且比表面积大,以其作为电极材料制备的超级电容器,具有较高的可逆容量和循环性能,3000次充放电循环后比容量仍稳定在460F/g附近。
浙江大学 2021-04-11
基于超声振动理论的金刚石线切割技术与装备
这项新技术的研究与应用涉及到声学、机械学、电子技术和超硬磨料工具制造、精密加工和加工过程控制等工艺技术,是多学科交叉的研究课题。本项目已经获得国家发明专利,研究结果表明:金刚石线锯上的磨粒周期性直线往复运动和超声波振动的合成运动去除工件材料。由于在加工中其切割速度的大小和方向产生周期性的变化,使磨粒在去除材料时切削刃与工件之间在微观上有瞬间接触和脱离过程,加工过程总的平均力仅为一般线锯的1/3-1/5,切削温度一般不超过40℃,同时切削刃与工件之间的脱离过程使其瞬间产生的应力有足够的时间释放,冷却液又可以直接进入到加工区域。因此材料在高频振动下发生疲劳破坏,加速材料的去除。该切割技术不同于传统的加工技术,具有切割效率高,表面质量好、出材率高、经济性好等特点。
沈阳理工大学 2021-05-04
高超声速转捩边界层气动加热机理研究
高超音速飞行器是本世纪正在研发的前沿科技新项目,它又被称作“近空间高超音速飞行器(NSHV)”。从科技的角度分析,高超音速飞行器同时融合了航天和航空的诸多前沿技术,这些前沿技术与传统飞行器技术比较,主要有以下几方面特点:复杂的气动特性;使用超燃冲压发动机;飞行器机体与发动机一体化;飞行器机体与推进系统和飞行器结构动态之间耦合强;飞行器模型非线性度高;飞行器飞行高度、速度跨度大;飞行环境复杂,瞬息万变;气动特性和气热特性变化剧烈;控制精度高,末制导难度大。
北京大学 2021-02-01
带阶梯型谐振腔的 Hartmann 低频超声雾化喷嘴项目
项目简介 “带阶梯型谐振腔的 Hartmann 低频超声雾化喷嘴项目”由江苏大学现代农业装备与 技术教育部重点实验室开展。设计出了结构参数可调节的带阶梯型谐振腔的 Hartmann 低 频超声雾化喷嘴,包括拉瓦尔管、可旋涡流叶轮、阶梯腔深度比可调的阶梯型谐振管、 锥型整流罩。对带阶梯型谐振腔的哈特曼低频超声雾化喷嘴阶梯型谐振腔的谐振特性进 行数值模拟;对喷雾特性:索太尔粒径、雾化角、喷雾距离、喷嘴声场特性进行分析试 验。 通过 CFD 数值模拟的方法
江苏大学 2021-04-14
一种用于轮辋超声相控阵探伤的自动扫查装置
本实用新型涉及一种用于轮辋超声相控阵探伤的自动扫查装置,包括传动装置、控制器、机架、超声相控阵探头架组件。传动装置通过步进电机带动丝杆传动;控制器用于控制步进电机转动及机架中的电磁铁吸附;机架用于固定传动装置,并通过电磁吸铁吸附在车轮两端;在超声相控阵探头架组件中,连杆铰链一端通过滑块连接丝杆,另一端通过活动铰链连接超声相控阵探头架组件,相控阵探头组件中设计可伸缩机械结构实现与轮辋表面的耦合。本实用新型可用于对轮辋的自动超声相控阵检测,能自适应轮辋的曲率,具有装卸简便、适应性强、自动化程度高等优点
长沙理工大学 2021-01-12
超声颗粒浆料和结晶晶粒大小和浓度测量装置
采用先进超声检测技术,专门用于脱硫浆液不溶物(石灰石)及结晶颗粒物(石膏)的固含量检测,利用固含量与密度之间的对应关系,通过采用密度测量的方法间接实现了工艺过程控制,其独特的测量原理和结构工艺,克服了传统测量方案中磨损及堵塞等诸多问题,属国内首创,为设计部门和使用单位提供了一个崭新的测量方案。
上海理工大学 2023-05-09
微波超声波能量高效协同技术开发与应用
高效且节能环保的微波、超声波技术近年来备受关注。微波加热具有高选择性、升温速率快、温度分布均匀、易自动控制等优点。鉴于传统工艺条件下许多反应无法进行或效率低下的现状,研发一种微波超声波高效协同技术,将两种能量波无干扰地结合,从而可解决功能材料制备、固体废弃物再利用、食品加工等领域内传统工艺存在的难题。该技术能实现快速、高效、靶向合成指定单一组分及目标混合物,处理过程具有化学选择性高、有效成分损失率低、产物结晶度高等特点,而
南京大学 2021-04-14
一种铁路车轴相控阵超声探伤自适应扫查装置
本新技术成果提供了一种铁路车轴相控阵超声探伤自适应扫查装置。采用空气压缩力驱动超声波探头夹具,气体流量和压力可调节,浮动定位压力,避免压力过大损坏夹具和探头,保护检测设备安全;在探头定位过程中,根据检测车轴直径,自适应调节探头单轴旋转角度,满足不同直径的火车车轴探伤需求;在探伤检测过程中,探头可沿伸缩导柱运动,压簧伸缩调节探头和车轴表面贴合压力,随动滚轮转动,减小探头和车轴表面的摩擦力,保证探头耦合的稳定性。本装置操作方便、适用性强、保证探头定位安全性和稳定性,提高了超声波车轴探伤的检测效率。
西南交通大学 2016-06-27
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