|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
适用于具有功能梯度及拉胀属性的超材料的拓扑优化方法
本发明属于超材料设计相关技术领域，其公开了一种适用于具有功能梯度及拉胀属性的超材料的拓扑优化方法，其包括以下步骤：(1)采用加权法建立每层的、同时考虑微观结构拉胀属性及宏观结构刚度属性的多目标优化模型；(2)控制所述超材料结构整体在一个方向上的拉胀属性及刚度属性呈梯度形式分布；(3)计算每层设计域上的微观位移、宏观位移、以及每层微结构的等效弹性属性；(4)基于计算获得的敏度，采用优化准则法更新设计变量，进而判断所述目标函数是否收敛。上述拓扑优化方法采用加权法建立同时考虑微观结构拉胀属性及宏观结构刚度属性的多目标优化模型继而进行优化，使得优化后的超材料同时具备拉胀属性及足够的刚度。
华中科技大学
2021-04-14
嘉宾观点抢先看 | 李春明：让职业院校成为人才“蓄水池”和产业“助推器”
在第63届高等教育博览会 建设教育强国·高等教育改革发展论坛即将举办之际，中国高等教育学会联合人民网教育频道推出“建设教育强国”系列访谈栏目，重点邀请东北地区高校领导、专家学者，围绕活动主题：融合·创新·引领：服务高等教育强国建设，畅谈思考体会、凝聚发展共识。
人民网-教育频道
2025-05-16
超高频RFID四通道读写模块资产管理标签高性能多通道模块读写器
产品介绍
CK-M4L超高频RFID读写模块是小型化的UHF RFID 读写器 ，集成了模拟射频前端与基带数字信号处理模块等功能；用户只需要在模块的基础上作电源处理即可，可以很方便的通过API函数库控制模块工作适合各种应用场景用户开发。该模块支持固件升级，可满足协议扩展和功能扩展的应用需要。
产品特点
支持多种协议：ISO 18000-6C/EPC C1G2 、 ISO 18000-6B、国标GB/T29768-2013(可拓展支 持)。
密集读取：端口最大输出33dBm，可根据需要设置功率，可应对非常密集的使用环境，多标签识别算法，每秒可识别超过400张以上。
能够定频或跳频工作。
输出功率可调,调节步进:1dBm
支持标签数据过滤、支持防碰撞协议、支持多标签识别。
全频段、大功率、灵敏度高、功率准、零配置即可获得最佳性能。
规格参数
主要规格参数
产品型号
CK-M4L
性能参数
频率范围
840MHz～960MHz
空口协议
EPC C1G2、ISO18000-6B/C、GB/T29768-2013（可选配）
功能特点
支持密集读写、多标签识别、支持标签数据过滤、支持RSSI：可感知信号强度
通道数
4通道
RF输出功率（端口）
33dBm±1dBm（MAX）
输出功率调节
±1dbm
前向调制方式
DSB-ASK、PR-ASK
连续读标签距离（读EPC码）
0-10米，连续读100次，读取成功率大于95%（无干扰环境）（8dBi圆极化天线@H3）
连续写标签距离（写EPC码）
0〜4米(与标签芯片性能有关)，连续写100次，写成功率大于90%（8dBi圆极化天线@H3）
通讯口
TTL串口
物理接口
15PIN端子 1.25mm间距
读卡功耗
（33dBm）：8W
物理参数
外观尺寸
85*80*8mm
外壳材质
铝型材外壳
安装方式
通过四个螺丝孔固定
电源
工作电压
5V 4A
操作环境
工作温度
-20°C~+70°C
储存温度
-40°C~+85°C
工作湿度
<95% (+25°C)
深圳市斯科信息技术有限公司
2025-12-27
空气净化器.净化消毒器(壁挂式)空气净化消毒器
产品详细介绍空气净化消毒器又名（臭氧发生器）采用高频沿面放电技术,耗电少，臭氧产量稳定，操作简便，消毒杀菌，消毒杀菌效果显著且消毒无死角．主要功能：１．消毒杀菌，臭氧能够杀灭细菌，真菌繁殖体及病毒等一切病原体，避免呼吸道疾病的发生和传染，并能够分解空气中有毒气体，消除装修及家具散发出的甲醛，甲苯及一氧化碳等有害气体． ２．净化空气：能够有效去除室内的油漆味，烟味等异味，起到净化空气的作用，明显改善空气质量，保持室内空气自然清新．３．有益健康：臭氧分解后可以增加空气中的含氧量，能够促进血液循环和改善新陈代谢，预防疾病的发生． 技术参数：外型尺寸：620×120×220额定电压：220V工作频率：50HZ功率： 75W臭氧产量：4000 mg/h -7000mg/h适用面积：20-80平方 40-100平方特点：安装方便，节省空间，遥控控制，操作简单，定时运行，可调时间 应用场所：医院：手术室。门诊部，注射室，病房等。/制药厂：无菌车间，更衣室，实验室。/食品厂：生产车间，库房，更衣室等。/学校：教室，餐厅等。/公共场所：影剧院，宾馆餐厅，美容院等。/仓库保鲜：粮食，禽蛋，水果蔬菜，肉制品等。/图书馆：防霉，防蛀等。/养殖业：室内养鸡场，动物饲养场等。
济南杰康净化设备厂
2021-08-23
基于热（冷）喷涂和超高速激光熔覆的精细制造/再制
热喷涂是通过对传统激光熔覆的光学准直、聚焦和整形以及与之配合送粉头的重新设计从而实现均匀薄涂层的高速熔覆技术，目前受到广泛关注。由于兼具热喷涂快速沉积涂层特性以及激光熔覆冶金结合的特点,有望成为规则表面实现替代电镀硬铬的新方法。冷喷涂是利用超音速气流获得高速粒子使其通过固态塑性变形沉积而制备技术的方法。超高速激光熔覆相比于传统激光熔覆，激光能量主要作用粉末，能量分配：基材 20%，粉末 80%，粉末温度高于熔点，修复产品表面粗糙度可小于 20 微米，修复厚度可低至 30 微米。
西安交通大学
2021-04-10
一种基于激光冲击波技术耐磨涂层制备的方法及装置
（专利号：ZL 201510093093.1） 简介：本发明公开了一种基于激光冲击波技术耐磨涂层制备的方法及装置，涉及零件再制造技术领域。本发明方法首先将待喷涂工件表面清洗、去油、喷砂和预热处理后，利用等离子喷涂的方法在工件表面上得到厚度满足要求的热态的硬质材料涂层后，紧接着利用激光冲击波在已形成的热态的硬质材料涂层中连续多次嵌入软质材料的微粒，材料凝固和冷却后，硬质材料涂层中均匀分布着少量软质材料涂层。本发明装置包括激光发生器、导光分光系统、电弧制液系统、工件夹具系统以及控制系统。本发明方法所制备的涂层硬度高、摩擦系数小、磨损率低，本发明装置具有操作方便、成本低以及效率高的特点。
安徽工业大学
2021-04-11
基于激光冲击波技术的金属变径管成形的方法和装置
简介：本发明公开一种基于激光冲击波技术的金属变径管成形的方法和装置,属于激光加工技术领域。本发明采用激光能量吸收层涂覆在与管件分离的堵杆上端部,激光束沿待成形的管坯的轴线进入管坯的内部,辐照在堵杆上端部的吸收层上,吸收层吸收激光能量后气化、电离,形成高压等离子体,高压等离子体急速膨胀形成高幅冲击波,以此推动管坯的膨胀直至和模具的型面贴合,使管坯的变形形状和模具的型面一致。本发明采用参数受控的激光冲击波作为管坯内高压成形的力源,具有很好的安全性,不仅适合于材料屈服极限较低的管坯成形,也适合屈服强度很高的管坯成形,可进行连续多个脉冲激光辐照和实施不间断多次冲击,具有较高的生产效率。
安徽工业大学
2021-04-13
一种 GNSS 与激光测距相结合的测量系统及测量方法
当待定点无法用 GNSS 方法直接测定时，本发明提供一种 GNSS 与激光测距相结合的测量系统及测 量方法，其装置成本低廉、便于携带，方案简单易行。激光测距装置仅需提供距离观测值，摆脱了对于 方位、角度观测值的依赖，测程可达数百米，可实现多个已知点上快速作业，最少只需在两个点上进行 测量，通过最小二乘和合理定权，最终能获得待定点坐标的最优解。本发明有效弥补了现有技术的缺陷， 具有广阔的应用前景。
武汉大学
2021-04-13
一种基于车载激光扫描数据的单株树木点云自动提取方法
本发明提供了一种适用于复杂车载激光扫描数据的单株树木自动提取方法，主要分为两大步骤：基 于聚类特征的粗分类，从车载激光扫描数居中获取可能包含树木的点聚类，称之为候选树木聚类；基于 两级体素的区域生长，从每一个候选树木聚类中提取出所包含的单株树木点云。本本发明结合树木的整 体和局部几何特征，能够在复杂环境中自动识别出单株树木的种子，针对树干与树冠分别制定不同的生 长规则，分别进行生长，实现单株树木提取。同其他单株树木提取算法相比，该方法在树木数量的提取 完整度和正确率、单株树木点云的提取精度以及复杂环境下的提取等方面取得了较大提高，能够用于进 一步的树木信息提取。
武汉大学
2021-04-13