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一种自适应变阻尼超精密减振器
本发明公开了一种自适应变阻尼超精密减振器，其结构为：金属壳体外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体内部中空，且由隔板隔离为上下两个中空部分，其剖面呈 H 形；下部的中空部分形成下腔室，上部的中空部分与活塞机构通过膜结构密封连接形成上腔室；在下腔室底部开有进气口，下腔室与上腔室之间安装有带节流阀的连通管路；负载连接板与活塞机构上端面固定连接；负载连接板上装有绝对速度传感器，在金属壳体上端部装有非接触式的电涡流接近传感器，在金属壳体与负载连接板之间安装有主动作动器，负载连接板用于与负载固定连接。本发明能够实现
华中科技大学
2021-04-14
一种超低频精密主动减振器
本发明提供了一种结构紧凑的超低频精密主动减振器，属于超精密减振领域。该超低频精密主动减振器由负刚度机构与空气弹簧并联组成被动减振单元，由洛伦兹直线作动器构成主动减振单元。负刚度机构是由片弹簧、铰链和刚性杆等组成的压杆结构。负刚度机构安装在空气弹簧的腔室内部，使减振器结构更加紧凑。正负刚度并联使得减振器具有大的承载力的同时具有极低的刚度，大大地降低了其固有频率。洛伦兹直线作动器用于提供主动阻尼，实现主动控制。本发明所提供的超低频精密主动减振器具有极低的固有频率，不仅对高频振动干扰具有良好的隔振效果，还
华中科技大学
2021-01-12
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学
2021-04-14
一种重载精密减振器及其构成的减振系统
本发明属于精密减振技术领域，为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构；倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成，置于环形气腔内；主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力，通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递，通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置
华中科技大学
2021-04-14
金属材料超精密加工
抛光是一种常见的表面加工技术，主要目的是降低表面粗糙度、去除损伤层，最终获得光滑且无损伤的高质量表面。无论是日常生活中的消费用品还是制造技术高度集成的半导体芯片，抛光加工都是保证表面质量不可或缺的技术手段。近年来，在金属材料超精密加工领域，具有复杂外形和内腔的金属零件的抛光一直是工业界所面临的技术难题。传统的诸如化学机械抛光、激光抛光以及磁流变抛光
南方科技大学
2021-04-14
强力高效多功能超精密抛光技术
1、项目简介 本项目由江南大学留美博士后赵永武教授独创.彻底地解决了高硬度零件和 表面带氧化皮或锈斑零件抛光时间过长或需要多步才能完成的技术难题，填补了 国内空白。 2、创新要点 （1）抛光速度快,效率高,时间短。是国内现有抛光剂抛光速度的数倍至数 十倍以上。 （2）表面加工质量优异。经本抛光剂加工后的工件表面组织非常细腻，表 面粗糙度可达 Ra0.02,零件光亮照人,形状精度进一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去锈,去油,防锈和抛光等多种功能,一步抛 光,同时完成。而国内现有的抛光剂大多需要去氧化皮和除油等多道前处理工序， 耗时费力。 （4）加工批量大。对于小零件一次可以加工成千上万件。 （5）零件的使用性能和寿命得到明显提高。采用本抛光剂抛光后的零件在 运转时的振动和噪音显著降低，而使用寿命大幅度提高。 （6）加工成本低.仅为磨削和精研成本的几分之一。 （7）无毒无害，对环境友好,且操作方便,易于掌握。377 （8）本抛光剂既适用于螺旋振动和离心式光饰机,也适宜于滚筒和旋转涡流 式等抛光机。 3、效益分析 对具备 10 台机床的小型车间而言，每年净提高产值 150 万元以上。 4、推广情况 轴承、纺织、汽车、摩托车，缝纫机、日用五金、建筑五金、金属工艺品， 五金工具、模具，液压气动和精密机械等企业。
江南大学
2021-04-11
高档超精密磨床及LED划片装备
为满足光电通讯、光学、信息等产业中小口径非球面光学玻璃透镜模具产业化的需求，研制了小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床,具备纳米级精度斜轴镜面纳米磨削、斜轴磁流变研抛、在线测量补偿加工等功能，为小口径非球面光学透镜模具的产业化制造提供可靠的装备支撑。分辨率10nm，主轴回转精度50nm；加工对象为微小非球面透镜及模具；加工口径10mm以下；加工面形状精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。应用领域包括集成电路（IC）、发光二极管（LED）、光学光电、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、电子陶瓷、通讯、医疗器械等，能切割硅晶圆、砷化镓、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、铌酸锂、氧化铝、蓝宝石等。GUI交互界面。具备接触式测高及非接触式测高，刀痕检测，具有切割深度自动补偿，刀片破损补偿功能，能保证切割质量。
湖南大学
2021-04-11
一种超精密工作台
本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿 X 向、Y 向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。
华中科技大学
2021-01-12
强力高效多功能超精密抛光技术
1、项目简介 本项目由江南大学留美博士后赵永武教授独创.彻底地解决了高硬度零件和 表面带氧化皮或锈斑零件抛光时间过长或需要多步才能完成的技术难题，填补了 国内空白。 2、创新要点 （1）抛光速度快,效率高,时间短。是国内现有抛光剂抛光速度的数倍至数 十倍以上。 （2）表面加工质量优异。经本抛光剂加工后的工件表面组织非常细腻，表 面粗糙度可达 Ra0.02,零件光亮照人,形状精度进一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去锈,去油,防锈和抛光等多种功能,一步抛 光,同时完成。而国内现有的抛光剂大多需要去氧化皮和除油等多道前处理工序， 耗时费力。 （4）加工批量大。对于小零件一次可以加工成千上万件。 （5）零件的使用性能和寿命得到明显提高。采用本抛光剂抛光后的零件在 运转时的振动和噪音显著降低，而使用寿命大幅度提高。 （6）加工成本低.仅为磨削和精研成本的几分之一。 （7）无毒无害，对环境友好,且操作方便,易于掌握。（8）本抛光剂既适用于螺旋振动和离心式光饰机,也适宜于滚筒和旋转涡流 式等抛光机。 3、效益分析 对具备 10 台机床的小型车间而言，每年净提高产值 150 万元以上。 4、推广情况 轴承、纺织、汽车、摩托车，缝纫机、日用五金、建筑五金、金属工艺品， 五金工具、模具，液压气动和精密机械等企业
江南大学
2021-04-13
超精密电涡流位移传感器
成果创新点 1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平； 2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑 制技术等是主要创新点。 技术成熟度 小试中试阶段 市场前景 可用在大型天文望远镜中作为边缘传感器；可以用在 精密车床、电子显微镜、原子力显微镜、共焦显微镜等中。 转化计划 预期转化方式：自主转化寻求投资，已于天使基金接 触。
中国科学技术大学
2021-04-14