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Φ1500 大尺寸超精密非球面车复合加工机床及应用工艺
激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜等国家重大工程及国防尖端技术对高精度大口径光学非球面元件（Φ400mm以上）有极大的需求。该类元件属于硬脆性难加工材料，对非球面表面加工精度的要求也相当高，当前国内精密超精密加工技术及装备与国外相比仍然存在阶段性差距，技术整体水平落后于发达工业国家。 针对国家对高精度大口径非球面光学元件的重大需求，西安交通大学联合国内超精密加工领域的优势单位秦川机床、哈尔滨工业大学、北京空间机电研究所、厦门大学和苏州大学，首次采用阶梯梁结构成功研制出了国内首台1500mm非球面超精密车磨复合加工机床，实现了典型加工件（Φ400mm以上）的面型精度优于5μm（PV），粗糙度小于10nm（RMS），同时研制出了1500mm大尺寸工件等应力支撑夹具和高精度工作转台（轴跳和径跳均为0.3μm），开发了测量范围可达1000mm的大尺寸非球面测量装置，重复测量精度1μm。
西安交通大学
2021-04-11
高档超精密磨床及LED划片装备
为满足光电通讯、光学、信息等产业中小口径非球面光学玻璃透镜模具产业化的需求，研制了小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床,具备纳米级精度斜轴镜面纳米磨削、斜轴磁流变研抛、在线测量补偿加工等功能，为小口径非球面光学透镜模具的产业化制造提供可靠的装备支撑。分辨率10nm，主轴回转精度50nm；加工对象为微小非球面透镜及模具；加工口径10mm以下；加工面形状精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。应用领域包括集成电路（IC）、发光二极管（LED）、光学光电、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、电子陶瓷、通讯、医疗器械等，能切割硅晶圆、砷化镓、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、铌酸锂、氧化铝、蓝宝石等。GUI交互界面。具备接触式测高及非接触式测高，刀痕检测，具有切割深度自动补偿，刀片破损补偿功能，能保证切割质量。
湖南大学
2021-04-11
一种超精密工作台
本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿 X 向、Y 向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。
华中科技大学
2021-01-12
超精密电涡流位移传感器
成果创新点 1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平； 2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑 制技术等是主要创新点。 技术成熟度 小试中试阶段 市场前景 可用在大型天文望远镜中作为边缘传感器；可以用在 精密车床、电子显微镜、原子力显微镜、共焦显微镜等中。 转化计划 预期转化方式：自主转化寻求投资，已于天使基金接 触。
中国科学技术大学
2021-04-14
超精密电涡流位移传感器
1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平；
2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑制技术等是主要创新点。
中国科学技术大学
2023-05-16
强力高效多功能超精密抛光技术
1、项目简介
本项目由江南大学留美博士后赵永武教授独创.彻底地解决了高硬度零件和表面带氧化皮或锈斑零件抛光时间过长或需要多步才能完成的技术难题，填补了国内空白。
2、创新要点
（1）抛光速度快,效率高,时间短。是国内现有抛光剂抛光速度的数倍至数十倍以上。
（2）表面加工质量优异。经本抛光剂加工后的工件表面组织非常细腻，表面粗糙度可达 Ra0.02,零件光亮照人,形状精度进一步的提高,有可能省去超精研工序。
（3）多功能化。具有去氧化皮,去锈,去油,防锈和抛光等多种功能,一步抛光,同时完成。而国内现有的抛光剂大多需要去氧化皮和除油等多道前处理工序，耗时费力。
（4）加工批量大。对于小零件一次可以加工成千上万件。
（5）零件的使用性能和寿命得到明显提高。采用本抛光剂抛光后的零件在运转时的振动和噪音显著降低，而使用寿命大幅度提高。
（6）加工成本低.仅为磨削和精研成本的几分之一。
（7）无毒无害，对环境友好,且操作方便,易于掌握。
（8）本抛光剂既适用于螺旋振动和离心式光饰机,也适宜于滚筒和旋转涡流式等抛光机。
3、效益分析
对具备 10 台机床的小型车间而言，每年净提高产值 150 万元以上。
4、推广情况
轴承、纺织、汽车、摩托车，缝纫机、日用五金、建筑五金、金属工艺品，五金工具、模具，液压气动和精密机械等企业。
江南大学
2021-04-11
强力高效多功能超精密抛光技术
1、项目简介
本项目由江南大学留美博士后赵永武教授独创.彻底地解决了高硬度零件和表面带氧化皮或锈斑零件抛光时间过长或需要多步才能完成的技术难题，填补了国内空白。
2、创新要点
（1）抛光速度快,效率高,时间短。是国内现有抛光剂抛光速度的数倍至数十倍以上。
（2）表面加工质量优异。经本抛光剂加工后的工件表面组织非常细腻，表面粗糙度可达 Ra0.02,零件光亮照人,形状精度进一步的提高,有可能省去超精研工序。
（3）多功能化。具有去氧化皮,去锈,去油,防锈和抛光等多种功能,一步抛光,同时完成。而国内现有的抛光剂大多需要去氧化皮和除油等多道前处理工序，耗时费力。
（4）加工批量大。对于小零件一次可以加工成千上万件。
（5）零件的使用性能和寿命得到明显提高。采用本抛光剂抛光后的零件在运转时的振动和噪音显著降低，而使用寿命大幅度提高。
（6）加工成本低.仅为磨削和精研成本的几分之一。
（7）无毒无害，对环境友好,且操作方便,易于掌握。
（8）本抛光剂既适用于螺旋振动和离心式光饰机,也适宜于滚筒和旋转涡流式等抛光机。
3、效益分析
对具备 10 台机床的小型车间而言，每年净提高产值 150 万元以上。
4、推广情况
轴承、纺织、汽车、摩托车，缝纫机、日用五金、建筑五金、金属工艺品，五金工具、模具，液压气动和精密机械等企业
江南大学
2021-04-13
高性能激光精密微加工装备
团队正积极布局研发工业级超短脉冲激光器，并已经突破了一系列关键技术，自主研发的全波段超短脉冲生成技术已处于国际领先水平，可提供覆盖“可见光-近红外-中红外”的超快激光器，多款产品已获得ISO9000质量体系认证以及欧盟CE安全资质认证。主要创新成果为掌握从锁模光开光、超快种子源、光纤放大、谐波产生（倍频）到最后组装工艺一整套完整的超快激光技术方案。目前，商业上的光开关器件大多采用基于半导
南京大学
2021-04-14
精密外圆磨削加工效率优化
上海理工大学
2021-01-12
混粉电火花精密加工技术
电火花加工技术已在模具制造、复杂零件加工中得到广泛应用。但普通电火花加工方法在大面积加工时存在加工表面粗糙度差、加工表层有缺陷等技术问题。因此为提高其加工表面质量，人们不得不对电火花加工后的表面进行抛光处理，耗时费力，成为产品制造中的“瓶颈”。改善电火花加工表面粗糙度，消除加工表层缺陷，对扩大电火花加工范围，缩短产品制造周期具有重要意义。混粉电火花镜面加工技术正是基于上述目的而开发出来的一门新技术，它通过在工作液中添加硅、铝等导电性微粉末，改变火花放电状态，最终改善加工表面粗糙度，并消除加工表层中
哈尔滨工业大学
2021-04-14