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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
一种水下作业平台压载水舱进排水控制系统及控制方法
本发明公开了一种水下作业平台压载水舱进排水控制系统,用于控制压载水舱的自动进排水,压载水舱由多个对称分布的子水舱构成,每个子水舱底部安装有一个该通海阀、其舱内布置有至少一个高压气阀、其顶部安装有若干透气阀、压载水舱艏艉的侧壁上还对称安装有深度计,还包括安装在控制舱中驱动阀箱,驱动阀箱与高压气阀、通海阀以及透气阀分别通过信号线连接,在控制舱中还安装有进排水PLC控制器,其对驱动阀箱发出指令,使驱动阀箱控制高压气阀、通海阀以及透气阀以实现压载水舱进排水。本发明还公开了基于状态反馈的多变量模糊解耦控制方法实现对压载水舱进排水的自动控制。本发明系统自动化程度高,控制准确,操作方便,可靠性高。
华中科技大学 2021-04-14
大颗粒状速溶食品(菊花晶和金银花晶)的开发及产业化
菊花晶和金银花晶具有清热去火的功效,目前市售的菊花晶和金银花晶主要 以粉末状的形态存在,外观形状较差,且溶解时所需的时间较长。本项目开发的 菊花晶和金银花晶颗粒较大,溶解性较好。 溶解时间:热水中 3 s 以内全部溶解,不使用食品添加剂。 效益分析:菊花和金银花中的有效成分具有清热去火等诸多功效,将其从菊花和金银花 中提取出来制备成菊花晶和金银花晶可以提高食用的方便。此外,将菊花晶和金 银花晶与奶粉同时食用,可以有效降低婴儿食用奶粉时引起的上火等问题。因此, 开发具有良好外观形态和溶解性的菊花晶和金银花晶具有较强的市场竞争力。
江南大学 2021-04-11
百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术研发及产业化
1、主要技术内容、获奖情况 通过本项目的实施,掌握了百万等级超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术、大型疏水槽空心叶片自动化焊接及变形控制技术、末级动叶片多阶静频测量及调频控制技术、末级动叶片进汽边防水蚀控制技术(硬化层深度可控的激光硬化技术和激光熔覆技术)、大型末级动叶精密机械加工控制技术、叶片产业化数字制造技术等关键技术,开发了满足重大工程需求的百万千瓦等级汽轮机系列长叶片,打破了国外大公司在该领域长期技术垄断,掌握了核心技术,提升高端长叶片品质,降低了百万等级机组制造成本,优化了产品工艺,加快实现百万千瓦等级机组的自主化和国际化进程,为推动我国电站装备制造行业及电力能源产业结构调整奠定了坚实的基础。 获奖情况:2015 年中国机械工业科技技术奖一等奖 2、成果的技术指标、创新性与先进性 (1)在国内采用超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术,首次实现了世界最长的百万等级核电汽轮机 75 英寸(1905mm)叶片和百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片研制。 (2)在国内采用激光硬化和激光熔覆技术,分别首次实现了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)末级动叶片和百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片进汽边防水蚀处理。 (3)在国内采用多阶静频测量及调频控制技术,使静频一次合格率提高到了 90%,首次实现了百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)叶片 1~6 阶静频测量及调频(柔性自由叶片)。 (4)在国内首次对 1 米以上超大空心叶片采用自动化焊接技术,研制成功了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 41 英寸(1050mm)末级空心静叶片和百万千瓦核电汽轮机 51 英寸(1292mm)末级空心静叶片。 (5)通过采用信息化与工艺技术的集成,加快了在产业化中产品开发效率和质量,首次实现了产品开发过程中的锻造工艺的自动化设计、叶片型面数据的自动化测量分析、产品质量数据的自动化收集与分析。 3、技术成熟度 百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术已成熟应用于百万等级核电汽轮机 57 英寸(1448mm)末级动叶片、CAP1000 核电汽轮机 67 英寸(1710mm)末级动叶片、CAP1400 核电 71(1800mm)、72(1828mm)、75(1905mm)英寸末级动叶片、百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片、百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片、百万超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)柔性自由末级动叶片和 41 英寸(1050mm)末级空心静叶、CPR1000 核电汽轮机 51英寸(1292mm)空心静叶片等一系列具有国际先进水平的长叶片研制中,并实现了产业化。 4、应用情况 江南大学和无锡透平叶片有限公司联合研制生产的百万千瓦等级汽轮机长叶片已批量经交付给东方汽轮机厂、上海汽轮机厂、哈尔滨汽轮机厂、日本三菱日立、德国西门子等公司,百万等级核电叶片已通过用户和中广核的共同鉴定,无锡透平叶片有限公司因此列入中广核国内唯一的核电叶片供货商名单。目前产品已经分别成功运用在国内岭澳核电站二期、红沿河一期、北仓港电厂、华能玉环电厂等,经用户使用后反映良好。
江南大学 2021-04-13
东南大学仪器科学与工程学院信号源发生器采购公开招标公告
东南大学仪器科学与工程学院信号源发生器采购 招标项目的潜在投标人应在东南大学采购中心网(https://dnzb.seu.edu.cn/)获取招标文件,并于2022年06月24日 09点00分(北京时间)前递交投标文件。
东南大学 2022-06-01
一种测定甲胎蛋白的电化学免疫传感器及其制备方法与应用
本发明公开了一种测定甲胎蛋白的电化学免疫传感器及其制备方法与应用,基底电极由MWNTs?CS溶液修饰,甲胎蛋白第一抗体溶液共价结合到修饰后的基底电极上,甲胎蛋白抗原溶液特异性结合到甲胎蛋白第一抗体上,CdTe@SiO2?GO?甲胎蛋白第二抗体溶液特异性结合到甲胎蛋白抗原上,所述基底电极为玻碳电极。本发明还提供了一种基于CdTe QDs信号放大的电化学免疫传感器的人血清中甲胎蛋白的检测方法,所述检测方法灵敏度高、特异性好、具有很宽的线性范围和较低的检测限且成本低廉。
东南大学 2021-04-11
斜日字单元正三角形布管螺旋折流板电加热器
工业大中型电加热器通常采用多圈环形分层布置U型电加热管,并以弓形折流板支撑管束,其U型电加热管管间距各不相同,使流场分布不均匀,而且存在着有流动死区、传热系数较低、流动阻力较大,易诱导振动和结垢、电加热管表面温度不均匀、易形成局部热点,缩短使用寿命等缺点。斜日字单元正三角形布管螺旋折流板电加热器按正三角形网格布管,流动方向基本不变,具有高效低阻的优点。
东南大学 2021-04-10
一种双螺旋弹簧组合式的移动机器人悬架减震器
简介:本发明提供一种双螺旋弹簧组合式的移动机器人悬架减震器,属于减震技术领域,主要用于移动机器人的悬架与轮腿机构间的减震。该减震器包括安装支架、减震器壳体、连接套、连接轴、上螺旋弹簧、下螺旋弹簧以及轮腿支架。其减震分为两个阶段:第一阶段为垂直向上减震过程,来自轮腿支架的振动能量使得连接套上移并压缩上螺旋弹簧,借助弹簧阻尼作用减小振幅,同时下螺旋弹簧被拉伸;第二阶段为垂直向下减震过程,在上螺旋弹簧和下螺旋弹簧的弹力作用下,连接套下移使得下螺旋弹簧被压缩,借助弹簧阻尼作用减小振幅,同时上螺旋弹簧被拉伸;该减震器能够缓冲并衰减来自轮腿支架的振动能量,从而避免把较大的振动能量通过安装支架传递给移动机器人的悬架。
安徽工业大学 2021-04-11
一种适用于并网逆变器的无电流传感器型进网电流控制方法
本发明涉及一种适用于并网逆变器的无电流传感器型进网电流控制方法,涉及由并网逆变器主电路和并网逆变器控制电路组成的系统,并网逆变器控制电路包括进网电流开环控制模块和PWM产生模块,进网电流开环控制模块包括第一比例调节器、第二比例调节器、延时器和加法器,第一比例调节器和第二比例调节器的输入端均引出作为进网电流参考信号输入端,第一比例调节器的输出端连接加法器的输入端,第二比例调节器的输出端连接延时器的输入端,延时器的输出端连接加法器的输入端,加法器的输出端连接PWM产生模块。本系统采用的开环电流控制方法能够实现进网交流电流无静差跟踪进网电流参考信号,能够适应电网谐波、不平衡和故障等恶劣运行情景。
东南大学 2021-04-11
东南大学化学化工学院变频磁热加热器采购公开招标公告
东南大学化学化工学院变频磁热加热器采购招标项目的潜在投标人应在东南大学采购中心网(https://dnzb.seu.edu.cn/)获取招标文件,并于2022年07月13日09点30分(北京时间)前递交投标文件。
东南大学 2022-06-21
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