星皇亚太企业（博罗）化工有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的高端化妆品专业企业，坐落于风景秀丽的南国海滨城市——广东惠州，所处的工业区交通发达，环境优美，周边良好的生态环境有利于化妆品的研发和生产。 (主要产 品包括：美容护肤、洗护发、面膜、彩妆、香水等)。本企业作风严谨、正直，在原材料的选择上严格要求，坚决杜绝了防腐剂和添加剂等存在安全隐患的成分原料。 10万级GMP制药标准的无菌化妆品生产车间、全自动电加热真空乳化锅、多条现代化的生产包装和自动灌装线等先进硬件设置的配备，连同研发实验室严格按照美国CTFA和欧盟COLIPA标准进行检测和管理，使得企业在设备清洁、生产操作、现场品管、质量检测、卫生安全等各个方面均建立起一整套严格的标准操作流程及制度。为求产 品达到安全无害、品质优良、效果优异，企业保证每个单品在上市前均会进行一系列检验分析，最终带给消费者舒心的使用过程、靓丽的肌肤和愉快的心情。 星皇亚太企业（博罗）化工有限公司拥有强大的技术实力、先进的硬件设备、尽心的服务团队、优质的管理系统，秉持信任诚实和富有责任感的经营理念，必定能为消费者和客户提供最放心的优质产 品。 工厂前台 我们秉承“为合作伙伴创造价值”的核心价值观，并以“诚实、宽容、创新、服务”为企业精神，通过自主创新和真诚合作为电子商务及信息服务行业创造价值。   

上海网化化工科技有限公司成立于2008年，是一家专注于专用化学品免费撮合交易的互联网公司。成立初期，公司主要从事医药中间体研发、生产及进出口贸易。2010年，公司成功转型成为互联网公司，确立了专用化学品全品类免费撮合交易的商业模式。2015年，秉承着“大数据、开放、分享”的理念，上海网化化工科技有限公司正式对外发布其主营品牌——网化商城。网化商城专注于专用化学品全品类免费撮合交易的B2B平台，致力于提高化学品流通效率，助力企业研发成功。

蓬莱禄昊化工机械有限公司成立于1993年，公司注册资金1000万元，自2002以来先后取得一二三类压力容器设计、制造许可证及ISO90001企业管理体系认证，2007年取得企业自主进出口权许可证。是蓬莱市一家取得三类容器设计、制造许可证的厂家，公司占地100余亩，现有职工100余人，各类工程技术人员45人，其中具有中、高级职称的工程师20人。 公司主要产品分为反应釜、储存、换热、分离、塔器等设备、低温储罐、膜分离氢气回收装置、制氮机、膜分离水处理系统、溶剂回收装置和溶解乙炔生产装置，具备承接整套项目设备的能力，其中反应釜从试验室用的小至0.5升大至上百立方搅拌设备均有设计、制造经验，换热设备方面公司具备双管板换热器设计制造的成熟工艺，在塔器的设计制造方面公司为阳煤集团烟台巨力化肥设计制作的400立方脱硫塔直径4.2米，总高度35米，设备净重120吨，该设备整体制作整体运输，填补了烟台地区大型设备整体制作整体运输的空白。 公司自2003年从美国整体引进普里森膜分离整套技术，该技术主要用于气体分离提纯行业，先后承接了南京惠生甲醇合成氢回收项目、上海焦化甲醇合成氢回收项目，及天津碱厂甲醇合成氢氢回收项目，中国较大的一氧化碳纯化项目华鲁恒升一氧化碳纯化项目也是由我公司设计制作的，还有具有战略意义的神华包头煤制烯烃项目中氢回收装置等等，受到用户的高度评价。 公司2005年对传统的磁力密封搅拌器进行了研发和更新改制，经改制后的磁力密封反应釜操作更加简单，密封性能更加稳定，日常维护更加方便，一经投入使用，收到用户的高度评价；公司在2007年为烟台世缘橡胶化工厂改良橡胶项目设计制作20立方聚合釜，一次开车成功，为企业创造了良好的经济效益，同时为公司赢得了良好的声誉。 在精馏提纯方面，我们先后和天津大学精馏中心、北京化工大学、烟台大学、山东工业大学、燕山石化北京玉龙石化设计院、山东齐鲁石化设计院、山东省化工规划设计院、中石化洛阳设计院、中国航天六院等大中专院校及各大设计院保持良好的沟通，相互交流，取得了比较良好的成绩，先后为中国科工集团航天六院硝酸脂项目提供从小试到大生产的蒸馏提纯整套装置，运行稳定，指标超出预先设计3个百分点，受到航天六院的高度评价。 公司和美国AP公司建立起了良好的合作关系，自2005年起长期为其供货，设备远销到挪威、台湾、韩国、欧洲、东南亚、美国等国家和地区，公司和英国豪顿华工程公司自2008年起建立起良好的合作关系，为豪顿华工程公司配套供应的缓冲、储存设备远销到法国、英国、巴西等国家，成为豪顿集团全球合格供应商中的一员。 为了适应市场的需求,公司聘用了低温界的权威专家和相关的工程技术人员，对传统的低温储罐做了进一步的技术革新，新设备在静态蒸发率上的指标远远优于同行业相关指标，保证设备的长期使用，新产品已经成为美国AP公司预约供货商。 公司将继续秉承质量第一、信誉至上的方针，继续努力、开拓进取，在技术和质量上勇上新台阶，同时也正和越来越多的客户建立起良好的合作关系，热忱欢迎国内外有识之士、科研团体、各大院校与我们携手参与、合作共赢！

研究背景 芯片是人类最伟大的发明之一，也是现代电子信息产业的基础和核心。小到手机、电脑、数码相机，大到6G、物联网、云计算均基于芯片技术的不断突破。半导体光刻工艺水平的发展是以芯片为核心的电子信息产业的基石，目前半导体光刻的制造工艺几乎是摩尔定律的物理极限。随着制造工艺的越来越小，芯片内晶体管单元已经接近分子尺度，半导体制作工艺的“瓶颈效应”越来越明显。随着全球化以及科技的高速发展，急剧增长的庞大数据量要求数据处理模型和算法结构不断优化升级，带来的结果就是对计算能力和系统功耗的要求不断提高。而目前智能电子设备大多存在传输瓶颈、功耗增加以及计算力瓶颈等现象，已越来越难以满足大数据时代对计算力与功耗的需求，因此提高运算速度同时降低运算功耗是目前信息工业界面临的紧要问题。 如当年集成电路开创信息时代一样，当下已经普及的光通信正在成为新革命力量的开路先锋。与此同时，光子芯片正在从分立式器件向集成光路演进，光子芯片向小型化、集成化的发展趋势已是必然。相对于电子驱动的集成电路，光子芯片有超高速率，超低功耗等特点，利用光信号进行数据获取、传输、计算、存储和显示的光子芯片，具有非常广阔的发展空间和巨大的潜能。 项目功能 本项目瞄准光通信关键技术及核心芯片，基于量子阱二极管发光探测共存现象，探索关键微纳制造技术，研制出可以同时实现通信、感知功能的一体化光电子芯片。 技术路线 一、技术原理及可行性 本项目主要负责人王永进教授发现如图1所示的量子阱二极管发光探测共存现象，首次研制出同质集成发射、传输、调制和接收器件的光电子芯片，这些原创工作引起了业界相关科研小组地广泛关注，化合物半导体同质集成光电子芯片成为研究热点。香港大学的蔡凯威小组和申请人合作提出湿法刻蚀和激光选择性剥离技术，在蓝宝石氮化物晶圆上实现LED基同质集成光电子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉国王科技大学Ooi教授和美国加州大学圣巴巴拉分校Nakamura教授小组在蓝宝石氮化物晶圆上，研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院苏州纳米所孙钱小组在硅衬底氮化物晶圆上，研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK调制方式下，InGaN/GaN量子阱二极管可实现Gbps的光发射、调制和探测速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。这些工作表明研发基于光子传输的化合物半导体同质集成光电子芯片以实现片上光子通信是可行的。   二、总体结构设计及工艺流程 本项目提出的同时通信/感知一体化光电子芯片基于常规的蓝宝石衬底氮化镓基多量子阱LED外延片进行设计，无需特殊定制的外延结构。以典型的2寸氮化镓基蓝光LED外延片为例，其外延片结构如图2所示，从下至上依次为蓝宝石衬底、AlGaN缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层和P型GaN层，通过调节InGaN/GaN多量子阱层的参数（层厚度与In的比例等等）可制备具有不同中心波长的光源器件。   图3为本项目所提出的同时通信/感知一体化光电子芯片结构。在蓝宝石衬底的氮化物晶圆上通过刻蚀和沉积等一系列晶圆级微纳加工技术，制备出单片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N电极可以采用倒装技术直接与基板相连，光线从透明的蓝宝石衬底发出，这样不仅使得器件具有优良的电性能和热特性而且简化了其后期的封装工艺。 三、技术创新优势 1、同一块晶圆上集成LED和PD使得两者间距离大大缩短，不仅有助于增强PD对蓝宝石表面反射光线的耦合，提升感知系统性能，而且缩小了器件整体外形，符合集成电子器件小型化、便携化的发展趋势； 2、单片集成的LED和PD器件相比于传统异质的、分立的LED和PD简化了封装形式和工艺，不再需要对LED和PD进行单独的封装，而且同质集成器件的基板也较异质结构的简单统一，极大地缩短了集成系统的制作周期； 3、同时通信/感知一体化光电子芯片采用相同的工艺就可以制作出LED和PD，简化了生长异质材料的复杂性，缩短了器件流片的周期，使用同一工艺就可将LED和PD进行批量生产，有效地降低了生产成本。 四、实验验证 本项目团队所在的Peter Grünberg研究中心拥有完整的LED器件制备、光电性能测试与电学性能测试平台，并且项目成员积累了丰富的测试技术与经验，能够满足本项目的同时通信/感知一体化光电子芯片测试同时表征光电参数与电学参数的需求。下图4所示为器件形貌表征图，从左边依次是扫描电镜图、光镜图、原子力显微镜图。   基于通信感知一体化芯片，本项目利用单个多功能集成器件成功实现了对人体脉搏的监测功能，如图5所示。   另外基于通信感知一体化氮化镓光电子芯片，我们还实现了照明、成像和探测功能为一体的LED阵列系统，如图6所示。该系统可以在点亮照明的同时，实现对外界光信号的探测与感知，通过后端系统处理后，再将信息通过阵列显示出来，实现多种功能的集成。 项目负责人王永进教授是国家自然基金委优秀青年项目、国家973项目获得者，他以第一或通讯作者身份在Light-Sci Appl.等主流学术期刊发表一系列高质量研究论文，获授权中国发明专利23项，美国发明专利2项，被National Science Review、Semiconductor Today等做9次专题报道，荣获2019年中国电子学会科学技术奖（自然科学）、2019年南京市十大重大原创成果奖等。

在大尺寸宽禁带/半导体单晶衬底外延设备、材料生长等方面做出了突出的工作。2001年始，研制出国内第一台用于氮化镓（GaN）衬底的卤化物气相外延（HVPE）系统，研究发展了获得高质量GaN衬底所需的所有关键技术并拥有自主知识产权，在氮化镓单晶衬底设备和材料技术领域已获授权国家发明专利30余项、申请国家发明专利30余项。在国内最早研制出2英寸毫米级GaN单晶衬底，建成6英寸HVPE系统并实现7片2吋及4-6吋GaN均匀生长；研究出创新性的GaN衬底批量制备技术，即将进行高质量、低成本GaN衬底的产业化应用，为第三代半导体应用奠定了材料基础。

本发明公开了一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法及装备， 该方法将非氮元素的前驱体蒸汽和活性氮源前驱体气体分别输送到反 应腔室内温度为 250 至 800℃的衬底材料处，利用波长与活性氮源分 子键共振波长相等的激光束作用于活性氮源气体，使激光能量直接耦 合至活性氮源气体分子，加速 NH 键的断裂，提供充足的活性氮源， 使非氮元素与活性氮源发生化学反应，沉积第 III 族氮化物膜层材料， 持续作用直到沉积物覆盖整个衬底

团队与合作者首次报道了米级单晶Cu(111)衬底的制备方法，并在此基础上实现了米级单晶石墨烯的外延生长（Science. Bulletin 2017, 62, 1074）。与石墨烯不同，六方氮化硼等其它绝大多数二维材料不具有中心反演对称性，其外延生长普遍存在孪晶晶界问题：旋转180°时晶格方向发生改变，外延生长时不可避免地出现反向晶畴，而在拼接时形成缺陷晶界。 开发合适对称性的外延单晶衬底是解决这一科学难题的关键。研究团队探索出利用对称性破缺的衬底外延非中心反演对称二维单晶薄膜的新方

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高选择性负载型钯催化剂制备及清洁高效回收技术 项目介绍：该项目催化剂制备技术应用物化方法对载体表面的改性，采用附着-沉淀工艺应用于制备负载型钯催化剂，成功解决了活性组分钯粒子在载体上吸附率低，钯纳米粒子团聚、粒径大小、外形控制及负载催化剂活性金属组分分布均匀及负载均匀性难控的难题，获得2015年湖南省科学技术进步二等奖。