山东鲁南瑞虹化工仪器有限公司（原山东鲁南化工仪器厂），始建于1969年9月，是中国仪器仪表行业协会理事单位、中国色谱学会理事、原化工部定点大型精密分析仪器专业生产厂，是色谱仪三大生产厂家之一，是山东省第一批高新技术企业，2014年被评为国家火炬计划重点高新技术企业；公司研发中心是山东省省级企业技术中心、山东省色谱工程技术研究中心，能够独立承担各类大型分析仪器的设计开发、应用创新及分析方法的建立；健全了质量管理体系、环境管理体系和安全管理体系，通过了GB/T 19001-2016、 GB/T14001-2016国际质量环境管理体系认证；公司产品于2002年、2005年、2008年、2011年及2016年连续五届荣获“山东名牌”称号。 公司集产品设计、开发、生产、销售、服务于一体，制定了长期经营战略方针，有优质的人力资源和丰厚的物质及财力资源，公司拥有员工五百余人，具有高级职称的工程技术人员占公司员工总数的三分之一以上，售后服务网点覆盖全国省、市、自治区，对服务需求及时响应。公司科研实力雄厚，分别在公司总部、北京、上海、合肥设立研发中心，独立研制的SP-502型气相色谱仪曾荣获“国家科技进步奖”、“山东省科技进步一等奖”和“全国科学大会奖”，被化工部列为替代进口产品。SP-6890型、SP-2000型、SP-7890型、SP-7820型气相色谱仪、LC-1000D液相色谱仪及RZF-3000型热解组分地化仪曾被列为“国家级重点新产品项目”，荣获省级、市级科技进步奖，多次获国家科技创新基金支持，“一种热导池检测器”2018年被授予国家发明专利。环境在线色谱（工业防爆）、便携式色谱（车载）、气相色谱-质谱联用仪（GC/MS）、全电子流量、电子压力控制的GC-8850,GC-8860型高性能色谱仪（EPC）已批量生产，目前生产实验室色谱、在线色谱及各类专业色谱六大系列共计20余个品种。 公司生产线设备精良，工艺先进，检验设备精密、全面、准确，操作人员技术精湛。产品质量优良、性能稳定，赢得了广大用户的信赖，具有广泛的品牌知名度及完美的产品美誉度，受到国内色谱界专业人士的一致称赞。 产品销往全国各地，并部分出口到俄罗斯、东南亚及中东地区。广泛应用于各大专院校、科研院所及医药、化工、石油、电力、农药、矿井、商检、公安、环保、疾控、酿造及食品残留检验等各个领域。

研究背景 芯片是人类最伟大的发明之一，也是现代电子信息产业的基础和核心。小到手机、电脑、数码相机，大到6G、物联网、云计算均基于芯片技术的不断突破。半导体光刻工艺水平的发展是以芯片为核心的电子信息产业的基石，目前半导体光刻的制造工艺几乎是摩尔定律的物理极限。随着制造工艺的越来越小，芯片内晶体管单元已经接近分子尺度，半导体制作工艺的“瓶颈效应”越来越明显。随着全球化以及科技的高速发展，急剧增长的庞大数据量要求数据处理模型和算法结构不断优化升级，带来的结果就是对计算能力和系统功耗的要求不断提高。而目前智能电子设备大多存在传输瓶颈、功耗增加以及计算力瓶颈等现象，已越来越难以满足大数据时代对计算力与功耗的需求，因此提高运算速度同时降低运算功耗是目前信息工业界面临的紧要问题。 如当年集成电路开创信息时代一样，当下已经普及的光通信正在成为新革命力量的开路先锋。与此同时，光子芯片正在从分立式器件向集成光路演进，光子芯片向小型化、集成化的发展趋势已是必然。相对于电子驱动的集成电路，光子芯片有超高速率，超低功耗等特点，利用光信号进行数据获取、传输、计算、存储和显示的光子芯片，具有非常广阔的发展空间和巨大的潜能。 项目功能 本项目瞄准光通信关键技术及核心芯片，基于量子阱二极管发光探测共存现象，探索关键微纳制造技术，研制出可以同时实现通信、感知功能的一体化光电子芯片。 技术路线 一、技术原理及可行性 本项目主要负责人王永进教授发现如图1所示的量子阱二极管发光探测共存现象，首次研制出同质集成发射、传输、调制和接收器件的光电子芯片，这些原创工作引起了业界相关科研小组地广泛关注，化合物半导体同质集成光电子芯片成为研究热点。香港大学的蔡凯威小组和申请人合作提出湿法刻蚀和激光选择性剥离技术，在蓝宝石氮化物晶圆上实现LED基同质集成光电子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉国王科技大学Ooi教授和美国加州大学圣巴巴拉分校Nakamura教授小组在蓝宝石氮化物晶圆上，研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院苏州纳米所孙钱小组在硅衬底氮化物晶圆上，研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK调制方式下，InGaN/GaN量子阱二极管可实现Gbps的光发射、调制和探测速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。这些工作表明研发基于光子传输的化合物半导体同质集成光电子芯片以实现片上光子通信是可行的。   二、总体结构设计及工艺流程 本项目提出的同时通信/感知一体化光电子芯片基于常规的蓝宝石衬底氮化镓基多量子阱LED外延片进行设计，无需特殊定制的外延结构。以典型的2寸氮化镓基蓝光LED外延片为例，其外延片结构如图2所示，从下至上依次为蓝宝石衬底、AlGaN缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层和P型GaN层，通过调节InGaN/GaN多量子阱层的参数（层厚度与In的比例等等）可制备具有不同中心波长的光源器件。   图3为本项目所提出的同时通信/感知一体化光电子芯片结构。在蓝宝石衬底的氮化物晶圆上通过刻蚀和沉积等一系列晶圆级微纳加工技术，制备出单片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N电极可以采用倒装技术直接与基板相连，光线从透明的蓝宝石衬底发出，这样不仅使得器件具有优良的电性能和热特性而且简化了其后期的封装工艺。 三、技术创新优势 1、同一块晶圆上集成LED和PD使得两者间距离大大缩短，不仅有助于增强PD对蓝宝石表面反射光线的耦合，提升感知系统性能，而且缩小了器件整体外形，符合集成电子器件小型化、便携化的发展趋势； 2、单片集成的LED和PD器件相比于传统异质的、分立的LED和PD简化了封装形式和工艺，不再需要对LED和PD进行单独的封装，而且同质集成器件的基板也较异质结构的简单统一，极大地缩短了集成系统的制作周期； 3、同时通信/感知一体化光电子芯片采用相同的工艺就可以制作出LED和PD，简化了生长异质材料的复杂性，缩短了器件流片的周期，使用同一工艺就可将LED和PD进行批量生产，有效地降低了生产成本。 四、实验验证 本项目团队所在的Peter Grünberg研究中心拥有完整的LED器件制备、光电性能测试与电学性能测试平台，并且项目成员积累了丰富的测试技术与经验，能够满足本项目的同时通信/感知一体化光电子芯片测试同时表征光电参数与电学参数的需求。下图4所示为器件形貌表征图，从左边依次是扫描电镜图、光镜图、原子力显微镜图。   基于通信感知一体化芯片，本项目利用单个多功能集成器件成功实现了对人体脉搏的监测功能，如图5所示。   另外基于通信感知一体化氮化镓光电子芯片，我们还实现了照明、成像和探测功能为一体的LED阵列系统，如图6所示。该系统可以在点亮照明的同时，实现对外界光信号的探测与感知，通过后端系统处理后，再将信息通过阵列显示出来，实现多种功能的集成。 项目负责人王永进教授是国家自然基金委优秀青年项目、国家973项目获得者，他以第一或通讯作者身份在Light-Sci Appl.等主流学术期刊发表一系列高质量研究论文，获授权中国发明专利23项，美国发明专利2项，被National Science Review、Semiconductor Today等做9次专题报道，荣获2019年中国电子学会科学技术奖（自然科学）、2019年南京市十大重大原创成果奖等。

在大尺寸宽禁带/半导体单晶衬底外延设备、材料生长等方面做出了突出的工作。2001年始，研制出国内第一台用于氮化镓（GaN）衬底的卤化物气相外延（HVPE）系统，研究发展了获得高质量GaN衬底所需的所有关键技术并拥有自主知识产权，在氮化镓单晶衬底设备和材料技术领域已获授权国家发明专利30余项、申请国家发明专利30余项。在国内最早研制出2英寸毫米级GaN单晶衬底，建成6英寸HVPE系统并实现7片2吋及4-6吋GaN均匀生长；研究出创新性的GaN衬底批量制备技术，即将进行高质量、低成本GaN衬底的产业化应用，为第三代半导体应用奠定了材料基础。

本发明公开了一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法及装备， 该方法将非氮元素的前驱体蒸汽和活性氮源前驱体气体分别输送到反 应腔室内温度为 250 至 800℃的衬底材料处，利用波长与活性氮源分 子键共振波长相等的激光束作用于活性氮源气体，使激光能量直接耦 合至活性氮源气体分子，加速 NH 键的断裂，提供充足的活性氮源， 使非氮元素与活性氮源发生化学反应，沉积第 III 族氮化物膜层材料， 持续作用直到沉积物覆盖整个衬底

团队与合作者首次报道了米级单晶Cu(111)衬底的制备方法，并在此基础上实现了米级单晶石墨烯的外延生长（Science. Bulletin 2017, 62, 1074）。与石墨烯不同，六方氮化硼等其它绝大多数二维材料不具有中心反演对称性，其外延生长普遍存在孪晶晶界问题：旋转180°时晶格方向发生改变，外延生长时不可避免地出现反向晶畴，而在拼接时形成缺陷晶界。 开发合适对称性的外延单晶衬底是解决这一科学难题的关键。研究团队探索出利用对称性破缺的衬底外延非中心反演对称二维单晶薄膜的新方

循环氢脱硫溶剂发泡，引起胺液跑损，夹带的分散相提高了循环氢的分子量，增加了循环氢压缩机的能耗，降低了氢气的纯度，缩短了催化剂的使用寿命和反应的效率。针对我国石油炼制行业原料油含硫量逐渐提高，循环氢气夹带重烃升高的趋势，提出并首先实现循环氢旋流脱烃、脱硫方法，发明预旋流脱重烃的循环氢气脱硫新工艺：采取预旋脱烃方法控制脱硫剂发泡、降低循环氢压缩机工质的分子量；采取后旋脱胺方法回收“跑损”胺液、降低胺液微粒危害。该工艺，在脱硫塔前设置了循环氢分烃设备，有效地脱出其中的液相组成，从源头上、根本上解决了循环氢带液的问题；在脱硫塔增加旋流分离器组，控制循环氢带液量，节约能源，部长环氢压缩机长周期连续稳定运转。该工艺可推广应用到炼油厂加氢裂化、催化裂化、焦化、重整以及催化裂解等装置产生的循环氢、液态烃、柴油和低分气的脱硫系统，以及含硫污水净化系统，还可以推广到由油田伴生气、天然气、水煤气合成等加工过程附产的液化气和燃料气的脱硫系统。本项目研究成果及衍生成果已申请了11件中国专利。其中，中国发明专利9件，授权中国发明专利3件和实用新型专利2件，负责编写国家标准1件（GB/TXXX-XX 液-液分离旋流器技术条件．计划编号：20079030-T-606）。目前拟再申请国家发明专利3件。

D-泛酸钙[N-(2,4-二羟基-3，3-二甲基丁酰)-β-氨基丙酸钙]属维生素类物质，作为人体和动物体内辅酶A的构成成分，主要作用是参与生物体内蛋白质、脂肪、糖类的代谢，广泛用于医药、食品和词料工业。 医药方面，D-泛酸钙作为药物，主要用于维生素B缺乏症及神经炎，手术后肠绞痛，辅助治疗红斑狼疮，此外还用于制造其他药物。食品方面，鉴于D-泛酸钙具有补充生物体内维生素B需求和增强食品风味两方面的功效，用作各种保健食品的营养增补剂。词料工业方面，D-泛酸钙主要用作猪鸡鸭、鱼等畜禽词料添加剂，防治动物因缺乏泛酸所引起的皮肤粘膜病变、发炎，肠道和呼吸道疾病，生殖机能紊乱，耐紧张能力降低，猪患鹅步病，家禽产蛋量低、胚胎死亡率高等。由于国内养殖业发展很快，加之D-泛酸钙在体内形成的活性代谢物泛酸是生物体自身成分，无毒性物质残留，是国际公认的一种绿色词料添加剂。工艺特点：工艺原料易得，来源广泛，立足国内； （1）本工艺反应条件温和，无高温、低温和高压等苛刻要求，因而对设备无特殊要求； （2）本工艺回收利用较完全，故成本较低； （3）本工艺“三废”主要是生产过程中产生的含氰废水，但可利用蒸馏—生物接触氧化塔处理工艺，使工艺废水达到国家排放标准； （4）本工艺采取先拆分、后酰胺化方法，产品质量较高，可达到出口标准，直接创汇。

山东工艺美术学院位于山东省济南市，始建于1973年，建有千佛山和长清两个校区，是目前独立设置的公办艺术院校中唯一一所工艺美术学院。现已形成本科教育、研究生教育、高等职业教育、继续教育、社区艺术教育和高中美术教育等多层次办学格局。设有视觉传达设计学院、建筑与景观设计学院、工业设计学院、服装学院、造型艺术学院、现代手工艺术学院、数字艺术与传媒学院、人文艺术学院、应用设计学院、继续教育学院、公共课教学部、思想政治理论教学研究部、艺术与设计实践教学中心、创新创业学院(淄博陶瓷学院)、附属中等美术学校15个教学单位。建有博物馆、美术馆，设有中国民艺研究所、中华传统艺术研究中心等研究机构，建有国家人才培养模式创新实验区、国家级实验教学示范中心，“非物质文化遗产研究中心”为山东省人文社会科学研究基地。编辑出版学报《设计艺术》、校报《山东工艺美院报》。建有学校网站及“设计?中国”等专业网站。学校是国家“十三五”产教融合发展工程规划建设单位、山东省首批应用型人才培养特色名校工程建设单位。 学校高度重视学科建设。立足建设以设计学为主导、美术学为基础、相关学科为支撑、传统工艺美术为特色的学科专业布局，艺术学理论、设计学、美术学为一级学科硕士学位授权点，艺术设计、美术为艺术硕士专业学位授权领域。设计艺术学、艺术学、戏剧与影视学为“十二五”省级重点学科，其中设计艺术学为省级特色重点学科，设计艺术学、艺术学为“泰山学者”特聘教授岗位。 学校坚持“以特色求发展”的办学理念。坚持“以教学为中心，以教师为主导，以学生为主体”，坚持立德树人，以培育和践行社会主义核心价值观为使命，建立并不断优化设计教育“创新与实践教学体系”，努力培养具有“科学精神、人文素养、艺术创新、技术能力”的创新型应用设计人才。学校设有28个本科专业，50余个专业方向，其中艺术设计、动画、艺术设计学为国家特色专业。 学校打造高素质师资队伍。教师中有中央联系的高级专家、中国文化名家暨中宣部“四个一批”人才、享受国务院政府特殊津贴专家以及全国优秀教师、全国先进教育工作者、中国设计业十大杰出青年、山东省“泰山学者”特聘教授、山东省有突出贡献的中青年专家、山东省专业技术拔尖人才、山东省教学名师、齐鲁文化英才等。同时聘有国内外名誉教授、客座教授、兼职教授及“六艺学者”特聘教授。 学校科研及创作实绩突出。建有“国家动漫产业发展基地”、“中国非物质文化遗产保护中心传统手工艺研究基地”。近年来，学校承担、完成国家社科基金项目等国家级、省部级重点研究项目;参与“中国民间文化遗产抢救工程”、“手艺农村”等科研及设计项目，作品入选首届“中国设计大展”并获奖;广大师生在“全国美展”等国家级展赛，以及在德国红点概念设计大赛、德国IF国际设计竞赛、美国弹力方程式国际设计锦标赛(简称“FE”)等国际设计大赛中成绩优异。 学校服务社会成果丰硕。近年来，学校发挥专业优势，完成北京奥运会官方海报设计、第十一届“全运会”视觉形象系统设计。参与完成上海世博会山东馆、韩国丽水世博会山东活动周、哈萨克斯塔阿斯塔纳世博会中国馆山东活动周、中国深圳文博会山东展区等设计施工运营工作，完成山东区域发展战略主题展等系列重点设计项目。学校与山东省十余地市人民政府及浪潮集团、海尔集团等知名企业签署合作协议，全面开展工业设计、城市规划、文创产业等重点项目合作和智库服务，取得积极成果。学校设有山东省文化创意产业“金种子”孵化器，不断完善专业人才培养、创意设计研发、区域经济与文化服务一体化的产教融合发展机制。 学校实施开放办学战略。积极开展教育合作与学术文化交流，学校为国际设计艺术院校联盟、国际平面设计协会联合会成员，举办国际设计艺术院校联盟会议等教育交流活动。与美国俄勒冈大学、法国里昂美术学院、英国杜伦大学等院校签订合作协议，开展教学与科研合作。近年来，举办“中国(济南)当代国际摄影双年展”、“世界大学生摄影艺术展”、“第七届中国体育美术作品展”、“中国国际大学生设计双年展”等重大展览和学术研讨活动，深化学术文化交流。 学校秉承“天工开物，匠心独运”的校训精神，围绕设计艺术教育特色，切实担负起人才培养、科学研究、社会服务、文化传承的大学使命，为“设计服务社会，设计引领生活”持续奋进。

Ø  成果简介：针对高强度钢、淬硬钢等难加工材料构成的曲轴、连杆、凸轮轴等发动机关键零部件切削加工效率低，以及切削液、固体废弃物和噪声等废流排放量大的特点，通过绿色干切削刀具与工艺的研究、开发和应用，在保证加工质量水平的前提下，大幅度提高了加工效率。开发出针对发动机零件“以车代半精磨”、“以铣代半精磨”等实用的绿色干切削工艺技术，在保证发动机零件加工质量和效率的前提下，显著减少了污染物排放，提高了加工经济性，达到了绿色制造的目的。Ø  效益分析：