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一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形; ②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体, 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小,耗费能量小,制作简单的优点。 
华中科技大学 2021-04-11
一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形;②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体,而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小,耗
华中科技大学 2021-04-14
机械零部件CAD/CAE三维设计与分析集成设计技术
计算机辅助工程(Computer Aided Engineering,CAE)分析是利用有限元分析、数值分析以及图形图像等技术模拟产品的实际工况,从而获取产品的静动态性能指标。采用CAE 分析技术,能大大缩短产品的开发周期,优化结构,降低成本,提升企业的市场竞争力。此项技术已广泛于航空航天、汽车、机车、电子、土木等各行各业,是企业产品创新设计时的不可缺少的有力保障。但CAE分析模型的建立异常冗繁,且有限元分析理论和相应的软件使用对于企业技术人员来说,仍是一个难点问题,为此,利用VC++和APDL等开
河海大学 2021-04-14
一种大幅面零部件的增减材复合制造设备
发明公开了一种大幅面零部件的增减材复合制造设备,包括床身,床身上安装有多个用于增材制造的六自由度倒挂机器人和五轴·825·联动龙门铣床,多个倒挂机器人分布在龙门铣床的铣削头周围;倒挂机器人上设有增材制造设备,所使用的热源可以是高功率激光束或者电弧;增材制造设备在工作平台上进行单层或多层毛坯体制造,龙门铣床铣削头对单层或多层的毛坯体进行精加工和修整。本发明克服了大幅面复杂零部件铣削加工的困难和增材制造技术
华中科技大学 2021-04-14
金属玻璃包覆金属丝复合材料的连续制备设备与工艺
金属玻璃(又称非晶合金)是指在固态下原子排列具有短程有序而长程无序,并在一定温度范围内保持这种状态相对稳定的金属合金。近十几年来,块体金属玻璃的发展更是其发展过程的一个里程碑,使得金属玻璃作为结构材料成为可能。 与传统晶体材料相比,块体金属玻璃很高的强度、大的弹性极限(2%~3%)及良好的耐腐蚀性等突出优点。正是由于其独特性能,使得块体金属玻璃在体育用品、电子、医学及国防等领域得到了越来越广泛的应用。 本项目开发了一种短流程、适合于大规模工业生产、并能获得完全清洁复合界面的金属玻璃包覆金属丝复合材料的连续制备设备与工艺。 设备构成为,由真空系统、预热系统、加热系统、冷却系统、牵引机构组成。牵引机构上下各有一个导轮,两导轮竖直方向相切,且下部导轮与电机相连,可以将制备的丝直接缠绕起来,实现连续生产;冷却装置紧置于坩埚下部,保证包覆的合金液快速凝固形成金属玻璃。 工艺过程为:将按照名义成分配好的合金先用电弧炉熔炼成均匀的母合金,然后将母合金和金属丝装在底部带有小孔的坩埚中,金属丝一端自内而外穿过坩埚的小孔,在加热炉中重熔母合金并保温,然后通过牵引机构由电机带动下拉浸渍在熔体中的金属丝,使其表面均匀浸渍一层合金液,在穿过加热区后通过冷却介质快速冷却形成金属玻璃,最终获得具有较高强度与延伸率的金属玻璃包覆金属丝复合材料。 技术特点:金属丝可以选用具有较高熔点及较高强度的钨丝,金属玻璃合金可以选用具有较强玻璃形成能力及较好力学性能的锆基合金体系。电机牵引拉丝速率为1-5mm/min,冷却装置的冷却速率为所吹氩气流速1-5m/s。 已申请专利:张勇,陈晓华,陈国良,张兴超,王自东,“一种金属玻璃包覆金属丝复合材料的连续制备设备与工艺”,中国发明专利申请号:200710120355.4,专利申请时间:2007.08.00,专利公开日:2008年3月12日。
北京科技大学 2021-04-11
昆虫病原线虫的生产及在无公害蔬菜生产中的应用
昆虫病原线虫是韭蛆等蔬菜有害昆虫的天敌,本项目的针对性:韭菜存在的韭蛆危害. 大棚蔬菜根部及叶面虫害防治.城市树木钻蛀型害虫的防治.中草药根部虫害的防治.高尔夫球场草坪草根部虫害防治。 韭蛆取食韭菜根部是韭菜的主要害虫, 因防治韭蛆大量使用农药造成韭菜农药残留超标严重危害人民身体健康。 项目进展:已完成固体和液体方法培养并生产昆虫病原线虫及其储藏的技
南开大学 2021-04-14
基于Web技术的汽车零部件产品知识数据库系统
汽车零部件产品知识数据库系统主要用于汽车产品的自主开发设计。系统内可储存相关成熟产品的设计图纸、结构图片、及设计知识。为设计师进行新产品设计开发提供查询和参考。系统可运用关键词或图号或所属关系进行模糊查询,调用内存中的设计图纸、结构图片、及设计知识。实现技术支持的目标。 系统可实现权限管理,即根据不同的权限进行分级授权管理和存储调用AutoCAD、Pro/E、UG、CATIA等多种绘图软件绘制的工程视图,以及对相关图片、表格和测试报告等资料。并设计接口以兼容和调用采用其它设计计算模块,使其能有效的进行二次应用与管理操作
上海理工大学 2021-04-11
机械产品(汽车整车及零部件)性能预测及数字化设计技术
机械产品性能预测技术是在虚拟样机技术基础上,结合产品的特点和要求,在产品的设计阶段就对产品的性能进行预测。汽车动力学仿真研究所现有成熟的产品性能预测技术有:1.刚度,强度及承载能力预测;2.疲劳性能预测;3.固有频率,模态及动态响应分析; 4.撞击性能预测;5.温度场,热应力场分析;6.汽车整车性能分析;7.建模造型技术。
南京工业大学 2021-04-13
半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
金属尾矿制备建筑微晶玻璃
该系类成果是对建筑装饰材料——微晶玻璃制备方法的创新。大大降低了微晶玻璃生产中的能耗,提高了产品的机械强度、耐久性和晶化程度。微晶玻璃制备的达到国际领先水平。成果获2012年度辽宁省科技发明一等奖,2006年度辽宁省技术发明二等奖,2001年辽宁省科技进步二等奖,并拥有金属尾矿建筑微晶玻璃的制备方法(发明专利号:ZL 2004 1 0087656.8)和金属尾矿建筑微晶玻璃及其一次烧结制备方法(发明专利号:ZL 2008 1 0012165.5)两项专利技术。
沈阳理工大学 2021-05-04
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