真空镀膜（PVD 技术）

真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将 CVD（化学气相沉积）技术应用于硬质合金刀具上。由于该技术需在高温下进行（工艺温度 高于 1000ºC），涂层种类单一，局限性很大，起初并未得到推广。到了上世纪七十年代末，开始出现 PVD（物理气相沉积）技术，之后在短短的二、三十年间 PVD 涂层技术得到迅猛发展，究其原因： （1）其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保； （2）其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之间的任何一种颜色，能够满足装饰性的各种需要； （3）可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、高收益的效果； （4）此外，PVD 涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。真空涂层技术发展到了今天还出现了 PCVD（物理化学气相沉积）、MT-CVD（中温化学气相沉积）等新技术，各种涂层设备、各种涂层工艺层出不穷。

西安交通大学 2021-04-10

真空镀膜技术

真空镀膜技术广泛用于航空、航天、工业、农业等各行各业，本单位长期从事镀膜技术的研究和开发，先后研制出两台镀膜机，达到国内领先水平，同时开展真空技术及器件、蒸铝技术、滤光片技术、各种保护膜的研究和开发，有多名长期从事相关技术研究的教授和专家，理论基础扎实及实践能力强。 

西安交通大学 2021-01-12

超薄功能膜镀膜技术和设备

开发了先进的离子镀膜技术，可以在各种金属、陶瓷、玻璃、有机玻璃和树脂材料上，镀制各种功能薄膜，并具有各种镀膜设备的开发和制备能力。目前可以镀制的薄膜种类包括：具有超硬特性的非晶金刚石薄膜，可以广泛地应用于光学、微电子、机械、航空航天等工业生产领域；应用于提高各种刀刃具寿命的氮化钛铝、氮化碳、氮化钛涂层；应用于微电子工业制备集成电路和柔性电路板的铜涂层；应用

西安交通大学 2021-01-12

多层复合镀膜镁金属骨科内固定螺钉

"拟对镁金属表面进行复合镀膜处理，用镀膜镁金属直接固定骨折，控制镁金属表面降解保持其骨折愈合期间的力学强度，优化镁金属的成骨作用，最终促进成骨并避免二次手术。 本研究公开了一种表面多重防护层的镁或镁合金材料或器件及制作方法。 本研究提供的表面多重防护处理的镁/镁合金材料或器件，旨在减缓镁/镁合金在生理环境中初期力学衰减和提高其耐蚀性能，有效延长其服役期。 本研究防护处理包括： 1）制作镁/镁合金基体并对基体表面进行清洗； 2）在镁/镁合金基体表面进行化学转化处理，于其表面生成一层厚度为数纳米的化学转化膜； 3）在化学转化膜上涂覆一层胶粘层； 4）在胶粘层外表面涂覆可降解聚合物膜。"

南京大学 2021-04-10

汽车车身防污镀膜液生产技术

可以量产/n成果简介: 汽车在雨天、洒水车、建筑工地、泥泞或多灰尘道路等环境行驶时，往往会造成车身被泥水或灰尘污染，这不但影响车身美观，而且污染物中的腐蚀性成分还会对车身油漆甚至车身本体造成伤害。目前常用的解决方法是洗车，洗车的方法存在如下缺点：耽误时间、增加花费、洗车液对车身表面清除污物的同时也会伤害车身油漆、高压水枪水可能渗透到后视镜等部件的内部而造成里面电子器件损坏。另外，由于洗完车后可能会很快被重新污染，很难做到每天洗车来解决这个问题。本技术采用无毒、无腐蚀性的环

湖北工业大学 2021-01-12

PLUTO-MC等离子体表面镀膜系统

上海沛沅仪器设备有限公司 2022-05-25

微弧离子镀设备研制及镀膜工艺开发

 微弧离子镀（Micro-arc Ion Plating，MAIP）技术有机融合了多弧离子镀和磁控溅射离子镀的优点，主要面向于精密制造领域的高端薄膜制备。微弧离子镀工艺因具有离化率高、绕镀性好、均匀性好、基片温升低等特点，是各种精密制品理想的表面改性工艺；以此技术开发的纳米氮化物系列超高硬度镀层、碳基非晶自润滑镀层、硫化钼基低摩擦系数镀层等在机械行业得到了广泛的应用。

南京工业大学 2021-04-13

微弧离子镀设备研制及镀膜工艺开发

微弧离子镀（Micro-arc Ion Plating，MAIP）技术有机融合了多弧离子镀和磁控溅射离子镀的优点，主要面向于精密制造领域的高端薄膜制备。微弧离子镀工艺因具有离化率高、绕镀性好、均匀性好、基片温升低等特点，是各种精密制品理想的表面改性工艺；以此技术开发的纳米氮化物系列超高硬度镀层、碳基非晶自润滑镀层、硫化钼基低摩擦系数镀层等在机械行业得到了广泛的应用。

南京工业大学 2021-01-12

维意真空小型桌面磁控溅射镀膜机支持定制

MS-246小型多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；升降基片台：尺寸直径100mm，高度60～120mm可调，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；磁控靶：直径2英寸2只（可升级成3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；质量流量计：10sccm、50sccm质量流量控制器各1套；膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。

北京维意真空技术应用有限责任公司 2025-04-25

维意真空小型桌面热蒸发镀膜机支持定制

EV-246小型电阻蒸发镀膜机真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；基片台：可拆卸式，尺寸60✕60mm，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能）；蒸发源及电源：水冷铜电极3组，逆变式蒸发电源，功率2KW，配源间防污隔板；膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。

北京维意真空技术应用有限责任公司 2025-04-25