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一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法
一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法 发明专利/实用新型/:发明授权 简介:本发明公开了一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制 备方法,其将纯度为 99.99%以上的金属镓原料溶解于酸中,配制澄清 的镓盐溶液,加入沉淀剂产生沉淀物,将获得的沉淀经洗涤、过滤、 干燥、煅烧制成单分散超细氧化镓粉体;用合成的单分散氧化镓粉体 作为原料,经模压成型和冷等静压强化获得氧化镓生坯,将生坯放在 高温炉
华中科技大学 2021-04-14
用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 现有物理气相沉积(PVD)制备多元薄膜材料采用合金靶材作为靶源,生产过程中,薄膜成分的调控范围受安装的合金靶材的成分比例的限制。如果预期获得纳微复杂结构的复合薄膜,按照常规技术路线需要上百块成分连续变化的合金靶材,这显然是无法实现的。同时,采用合金靶材制备某些多元薄膜时,需要特高纯度的或极端成分比例的靶材作为靶源,这类特殊靶材以现有技术难以制造。 为此,本发明研发出一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法,利用本发明技术有助于新材料的研发和促进半导体器件、切削刀具涂层等高新技术的发展。
武汉理工大学 2022-08-12
高精度陶瓷增材制造装备与工艺研究
面向大尺寸高精度陶瓷及其复合材料复杂形状结构的成形,基于面曝光技术,开发了专用大尺寸陶瓷增材制造成形装备及相关工艺。 技术特征 基于面曝光技术的陶瓷预制体成形设备可成形ZrO2、Al2O3陶瓷预制体,利用微透镜阵列聚焦及光斑微偏移技术,分辨率可提升到37.5μm,结合收缩预测技术,大大提高陶瓷成形精度,成形尺寸达270mm×300mm×450mm,成形相对精度达到±1%,同时配套研发了无缺陷脱脂与烧结工艺,烧结样件致密度可达97%。
南京航空航天大学 2021-05-11
高精度陶瓷增材制造装备与工艺研究
面向大尺寸高精度陶瓷及其复合材料复杂形状结构的成形,基于面曝光技术,开发了专用大尺寸陶瓷增材制造成形装备及相关工艺。技术特征基于面曝光技术的陶瓷预制体成形设备可成形ZrO2、Al2O3陶瓷预制体,利用微透镜阵列聚焦及光斑微偏移技术,分辨率可提升到37.5μm,结合收缩预测技术,大大提高陶瓷成形精度,成形尺寸达270mm×300mm×450mm,成形相对精度达到±1%,同时配套研发了无缺陷脱脂与烧结工艺,烧结样件致密度可达97%。应用范围:该项目研发了高精度结构陶瓷复杂结构成形的增材制造装备,并开展了相关工艺的研究,解决了工程陶瓷材料难以成形复杂结构的难题。项目所涉及技术可成功制备低介陶瓷无源器件、仿生多孔结构与吸波超结构等,可在航空航天、卫星、雷达等领域得到广泛的应用。
南京航空航天大学 2021-04-10
增材制造纳米陶瓷牙材料、工艺和装备系统
从底层材料设计出发制备性能优异的可打印氧化锆浆料,研制快速高质量立体光固化打印系统,优化脱脂烧结工艺流程,实现机械性能优异、生物相容性极佳、美观性良好的氧化锆陶瓷快速、低成本打印制造。 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 制备较低粘度、高固含量的氧化锆浆料和优化的脱脂、烧结过程成为光固化成型技术的关键步骤。为解决以上问题,推动增材制造氧化锆在口腔临床中的应用,申报人团队从底层材料设计出发制备性能优异的可打印氧化锆浆料,研制快速高质量立体光固化打印系统,优化脱脂烧结工艺流程,实现机械性能优异、生物相容性极佳、美观性良好的氧化锆陶瓷快速、低成本打印制造。
中山大学 2022-08-15
纳米级氧化铟锡粉体和高密度ITO靶材的制备
氧化铟锡(indium-tin-oxide)简称ITO,ITO靶材是一种功能陶瓷材料,主要用于制造ITO透明导电膜玻璃。以金属铟、锡为原料采用共沉淀法制备出纳米级ITO复合粉体。粉体造粒成型后分别采用加压和常压烧结法制备出相对理论密度大于99.5%、氧化铟单一相的ITO靶材。 粉体纯度大于99.99%、颗粒分散性好,粒径10nm—80nm之间可控,BET比表面积30~60m2/g ,In2O3:90.0±0.5%,SnO2: 10.0±0.5%;ITO靶材相对理论密度99.5%。 威海市蓝狐特种材料有限公司已采用该技术建设年产20吨纳米级氧化铟锡复合粉体生产线,采用该粉体烧制的ITO靶材相对理论密度达到99%以上。国内相对理论密度大于99%的ITO靶材主采用进口产品。 金属铟、锡是我国的优势资源,生产设备都是定型通用设备,年产20吨纳米级氧化铟锡粉体和高密度ITO靶材的生产厂需要人员50名。纳米级氧化铟锡粉体制备已建设年产20吨生产线。高密度ITO靶材的制备已完成实验室小试。
北京化工大学 2021-02-01
一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法
本发明涉及金属材料加工技术领域,具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤:将超高纯铝板材于50℃~300℃下热轧,道次压下量控制在40%~50%;将热轧后的超高纯铝板材在100~300℃温度下保温0~1小时;然后进行冷轧,道次压下量控制在40%~50%,通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升,抑制板材的
东南大学 2021-04-14
高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性 好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来 说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻 温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数 (TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时 会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜 电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度 系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为 兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻 靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜 稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量 的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。 技术指标如下: 温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后 ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议 2 半导体微环激光器 3 基光电集成电路 4 无线网络与应用:协作无线网络 5 移动通信—LTE 技术
天津大学 2021-04-11
一种基于陶瓷材料的增材制造成形装置及方法
本发明公开了一种基于陶瓷材料的增材制造成形装置,其特征 在于,该装置包括:光固化机构、传动机构以及挤出回抽机构,所述 光固化机构设于所述挤出回抽机构的一端,所述传动机构设于所述挤 出回抽机构的另一端;其中,所述光固化机构包括调光器(15)、紫外线 灯固定盘(16)和紫外固化灯(17);所述挤出回抽机构包括喷嘴(1)、喷嘴 连接件(2)、螺杆(3)、料筒(4)及料斗(6);所述传动机构包括电机(12)和 联轴器(11)
华中科技大学 2021-04-14
智能健身游戏拳击靶
成果简介智能健身游戏拳击靶将现代电子技术与体育运动器材拳击靶相结合, 可提供拳击力度、 频度、 准确度等参数的测量与显示, 进行等级评价并语音播报, 避免了传统训练时的盲目性和枯燥、 单调性, 可以帮助训练者合理、 科学地制定健身方案, 提高训练效率。 适用于职业拳击手和业余爱好者。设计原理: 在拳击靶内嵌入一个压力传感器, 并采用无线发送压力传感器的采集的数据, 交给中央控制器处理、 分析, 计算出拳击的力度、 平均值、 历史最高值以及击打的频率。 功能选择按键部分,
安徽工业大学 2021-04-14
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