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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
基于超音速热喷涂技术的装备关键零部件表面耐磨耐蚀涂层
许多工业设备往往因为某个关键零部件表面的损坏，导致整个系统效能大幅度降低甚至报废，造成极大地浪费。综合应用先进的表面涂层技术，不仅可以极大延长装备关键零部件的寿命，提高产品质量，甚至可以修复已损坏的关键零部件，实现装备的再制造，达到节能、减排、降耗、环保之目的。 热喷涂技术可使工件表面获得不同于基体材料的特性，具备更优良的强度、硬度、耐磨、耐蚀、耐热、绝缘、导电、密封、抗氧化、隔热、消毒、防微波辐射以及其它各种特殊物理化学性能。它不仅可以再制造修复关键零部件，使报废的零部件
华南理工大学
2021-04-14
汽车装配和零配件生产在线检测技术和系统开发
可以量产/n成果简介：零部件是汽车工业的基础，它决定着整车的质量和价格水平。基于图像的视觉测量方法是一种高速稳定的自动化测量方法，这种方法具有快速、稳定、精度高，以及易于维护、可移植性好的特点，近年在工业生产中得到了广泛的重视和推广应用。本成果综合运用了机械工程、仪器仪表、机器视觉和自动控制等技术领域知识，研究了基于机器视觉的自动检测新技术，通过视觉测量方法解决了汽车零配件生产过程中的在线几何尺寸和缺陷的全检测问题，同时，该成果可以用于汽车装配生产线的在线检测零部件的错装和到位问题，提高检测速度，实
湖北工业大学
2021-01-12
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技术
对于大型或超大型零部件，如大型箱体类零件上，常有轴承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技术区别于传统的加工方法，利用特有的等分定位技术和车间现场条件，可方便地确定孔的对称位置和关联面间的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技术 + 特殊的定位处理技术
北京科技大学
2021-04-11
轻量化汽车用非调质钢零部件锻造形性调控关键技术研发
致力于高性能非调质钢锻件关键技术研发与应用，通过锻件一体化复 合锻造成形技术、非调质钢曲轴和连杆热温复合锻造成形工艺及专用模具、 以及非调质钢复杂构件组织性能差异化控制技术等技术，创新性发明了非 调质钢在汽车零部件上应用的关键技术，解决了非调质钢强度有余而韧性 不足的关键问题。利用该成果对非调质钢线材通过控制形变、冷傲、滚丝、 时效处理等工艺技术，研究开发的形变强化高强度紧固件达到GB/T3098. 1 中的10.9级和12.&
南京工程学院
2021-01-12
光伏组件质量检测仿真实训
光伏组件质量检测仿真实训让学员在虚拟场景中学习根据IEC61215标准使用各种检测设备对组件进行质量检测，从而了解组件的关键技术参数以及发现组件典型缺陷。
一.1.1. 场景设计
根据IEC61215检测标准要求设计18个检测场景，包括：
1 组件外观检测实验室
2 最大功率检测实验室
3 绝缘检测实验室
4 温度系统检测实验室
5 标称工作温度检测实验室
6 STC和NOCT下的性能检测实验室
7 低辐照度下的性能检测实验室
8 室外曝晒试验场
9 热斑耐久试验室
10 紫外线试验室
11 热循环实验室
12 湿冻试验室
13 湿热试验室
14 牵引力实验室
15 湿漏电实验室
16 机械载荷实验室
17 冰雹撞击实验室
18 旁路二级管试验室
场景模型主要包括：实验室建筑场景、外观检测台、156多晶光伏组件、组件箱、工作台、电脑、组件支架、IV检测仪、EL检测仪、高低温湿热交变试验箱、湿漏电流测试仪及喷淋试验箱、盐雾腐蚀仪、紫外老化试验箱、机械载荷试验机、旁路二极管热性能试验仪、落球冲击测试装置、环境检测仪、室外环境监测仪、直流电源、万用表、光度计、数码相机等...
广东顺德宙思信息科技有限公司
2025-06-02
汽车零部件产品设计、强化工艺制定、耐久性评价以及研发能力提高
1. 具有自主知识产权的复杂服役条件下强度与耐久性评价技术：载荷谱处理新技术——有机地结合强度的动态变化特征等的载荷谱处理新技术；强度与耐久性快速试验和评价技术——基于动态强度特征零部件耐久性快速评价技术；复杂载荷下零部件疲劳寿命预测技术——有机的结合载荷强化和损伤特性、基于强度特征的疲劳累积损伤理论进行复杂载荷下汽车零部件寿命预测和评价。 2.基于载荷与强度特性的轻量化设计技术：具有自主产权的基于强度特征的轻量化设计方法——基于零部件载荷谱和强度特征进行轻量化设计，该方法能够充分发挥材料的强度潜能，疲劳强度和疲劳寿命设计更加合理；在零部件的轻量化设计中把静强度、疲劳强度和寿命、热处理要求、动态特性和成本有机结合起来进行，把产品的强度与耐久性延伸到成形工艺和热处理强化工艺，把成形工艺-热处理工艺-产品疲劳耐久性能关系有机的结合起来，成功的应用于等速万向传动中间轴自主开发设计中。
上海理工大学
2021-04-13
非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法
本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统后成像于探测器处；调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度，使探测器得到零条纹干涉图，移去对准平板，实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题，减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。
浙江大学
2021-04-11
基于配电网物理模型中的线路零序电流模拟与检测方法
本发明公开了一种基于配电网物理模型中的线路零序电流模拟 与检测方法，属于电力系统配电自动化领域；现有的检测方法实际负 载阻抗和零序电流互感器的容量不一致时将会出现较大的误差；本发 明提供的方法将三相线路和副方绕组绕在同一个环形铁芯上，通过磁 平衡原理大大提高了零序电流互感器的二次电流值和测量精度。
华中科技大学
2021-04-14
高速列车走行及悬挂系关键零部件载荷谱测试及可靠性设计技术
该项目是国家部委项目，现处于实验室研究阶段。 项目主要研究内容如下： （1）关键构件载荷谱编谱平台 建立以转向架构架标定试验台为主要装备的关键构件载荷谱编谱平台，该平台以多通道、高精度转向架测力构架标定加载系统为主要设备，配以多通道协同作用控制软件和相应的加载工装，完成转向架载荷谱测试中测力构架的载荷标定，这是确保载荷谱研究圆满完成所必需的基本试验手段。 （2）载荷线路测试与评估平台技术 建立以大容量、多通道、高信噪比（包括无线测量）的载荷线路测试与评估平台技术，该平台以高信噪比动态数据采集系统和无线遥测数据采集系统为主要设备，能够在高速动车组运行时，全程往返连续测试高速动车组转向架构架、轮轴等关键部件的载荷与动应力。 项目主要技术创新点如下：Ø 建立复杂载荷系下载荷标定技术和方法；Ø 载荷谱的损伤一致性编谱准则；Ø 高置信度编谱技术；Ø 各类测力装置和大容量高抗干扰能力的测试系统；Ø 可靠性评估技术。 本项目将形成以转向架构架标定试验台、结构疲劳试验系统和材料疲劳试验系统为主要装备的关键构件载荷谱编谱平台和多通道高信噪比测试设备为主体的载荷线路测试与评估平台。 应用范围： 高速列车车轮、车轴、构架、轴箱、齿轮箱、悬吊螺栓、悬吊支座等走行及悬挂系关键零部件的设计及试验评估。
北京交通大学
2021-04-13