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高频辉光放电等离子体化学气相沉积(PECVD)装置
PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)—等离子体化学气相沉积,在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子,提供化学气相沉积过程所需的激活能,相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1)自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号;2)可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境,且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3)专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构,可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构,可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4)该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计,符合产品要求。
北京交通大学 2021-04-13
一种高频超视距雷达选站辅助系统与方法
本发明公开了一种高频超视距雷达选站辅助系统与方法,辅助系统包括天线、收发开关、发射模块、 接收模块、信号处理及传输模块、显控模块,本方法利用所述的高频超视距雷达选站辅助系统模拟雷达 的工作方式,来全面的测试雷达站选址的环境状况,通过检测回波来分析环境因素对雷达工作的影响, 最终根据该测量结果选择合适的站址位置;本发明提供了一种轻巧、便携、低功耗的高频雷达选站辅助 系统,通过模拟实际的雷达工作方式并结合现场电磁环境来进行评估,使选站选址更加科学有效,提高 选站的成功率。
武汉大学 2021-04-13
一种后缘襟翼高频角度偏转的机械减振系统
本发明属于航空技术领域的飞行控制装置,涉及一种后缘襟翼高频角度偏转的机械减振系统,该系统由后缘襟翼,滑轨,滑块,连接杆,传动杆,偏心轮,光轴,齿轮组,伺服电机,深沟球轴承,推力球轴承,直线轴承,卡簧,机构固定底座,以及紧定螺钉其他部分组成。伺服电机根据需求在不同频率下驱动齿轮组转动,带动偏心轮旋转;偏心轮通过由连接杆和传动杆组成的连杆机构将旋转运动转换为往复运动;随后,该往复运动经由滑块与滑轨构成的直线导轨机构传递,补偿后缘襟翼的上下位移,最终实现后缘襟翼以设定频率进行往复角度偏转,改变局部升力和力矩分布。由于采用伺服电机驱动纯机械结构执行动作,故可以实现高频动态调节,抵消周期性气动载荷波动,降低机身振动。
南京工业大学 2021-01-12
气体绝缘装备特高频局部放电监测关键技术及其应用
本成果属于能源领域里电气工程高电压与绝缘技术学科。在973计划、国家 自然科学基金和重庆市重点攻关课题等共同资助下,开展了SF6气体绝缘装备特 高频局部放电(PD)定量监测(检测)方法与技术研究,解决了最能反映设备内部绝 缘故障特征与程度的PD信号传感、提取、定位和标定等关键科学技术难题,建 立了相应的绝缘故障专家诊断系统,研发的SF6气体绝缘装备绝缘状态在线监测 装置得到广泛应用。其核心发明点为: 1. 发明了特高频PD信号传感技术:创新了特高频传感器展频的附加阻抗匹 配网络、多层屏蔽谐振、非中心点馈电以及复合结构等关键技术,发明了强电磁 环境下采集微弱PD信号的微带与横电磁波喇叭超宽频带特高频复合传感器,检 测频带达到超宽范围(在驻波比为2、增益不小于3dB时,相对带宽为25. 6%),且 中心频率在500MHz~ 1GHz内可选,并可调节多频谐振点的相对位置以形成抑制 窄带干扰频段的阻带,解决了特高频PD信号监测中的首要技术难题。 2. 发明了抑制强电磁复合干扰方法与技术:率先提出复小波(包)变换需用 复阈值的科学思想,给出了选取复阈值的原则与方法,构建出用于抑制强电磁干 扰的最优复合信息WTRIn序列,发明了用复小波(包)变换抑制强电磁复合干扰的 算法与技术,解决了强电磁环境下监测(检测)PD信号需要抑制白噪声、电晕脉 冲、随机混频窄带及其复合干扰的技术难题,同时建立了抑制干扰效果的综合定 3. 发爵了基于传感器阵列的泰勒遗传PD源定位方法与技术:创新了非平稳 脉冲信号多样本能量相关提取信号时间差的方法和全局搜索PD源最大概率位置 的遗传算法,提出了双曲面定位方程的泰勒优化方法,发明了利用阵列传感器多 样本冗余检测数据融合并逐次修正定位结果的逼近技术,使定位时间差求取误差为皮秒级,距离误差在厘米级。 4. 发明了特高频PD定量监测(检测)的标定原理与技术:创立了用波形参量 时频域等效定量监测(检测)PD量的标定方法,揭示了PD波形参量与PD量之间 的内在关联,获取了不同影响因素下标定PD量大小的校正实验曲线及解析表达 式,发明了可方便用于实验室和现场监测(检测)的人工注入特高频标准校正波形 与实测PD波形时频域等效定量标定PD量的关键技术。 成果授权发明专利18项、实用新型专利6项及软件著作权1项,发表论文 237篇(SCI收录49篇、EI收录185篇),被国内外同行正面引用2344次。科学院程时杰、工程院李立涅和杨士中院士等多名同行专家对成果给出高度评价。成果获2013年重庆市科技进步一等奖、2009年重庆市自然科学二等奖。
重庆大学 2021-04-11
一种用于 RFID 标签生产的点胶控制设备
本发明公开了一种用于 RFID 标签生产的点胶控制设备,包括 XYZ 三轴运动单元、针筒单元、图像采集单元、设备控制单元以及气 路调整单元,其中通过对点胶前后的点胶位置、胶滴固化前后的形状尺寸、针筒内部的压力和温度、点胶高度等予以检测,并相应执行闭 环控制处理,能够在对点胶压力和点胶时间等关键工艺参数进行控制 的同时,使得点胶位置和胶滴的最终形状尺寸满足工艺要求。通过本 发明,能够对 RFID 标签的整个封装过程执行快速、精确和全面的质 量控制,同时具备结构紧凑、便于操控和适应性强等特点,因而适于 各类 RFID 标签的高质量生产过程。 
华中科技大学 2021-04-11
一种基于 RFID 的集体宿舍电量使用统计系统
本发明公开了一种基于 RFID 的集体宿舍电量使用统计系统, 包括单片机,比较器,蜂鸣器,按键装置,显示屏,计量使用电量的 电表,红外计数仪,RFID 读卡器和 RFID 标签;RFID 读卡器用于统 计已进入的经 RFID 登记的成员人数;按键装置用于输入密码,将未 经 RFID 登记的访客与所述经 RFID 登记的成员相关联,并统计已进入 的未经 RFID 登记的访客人数。通过将 RFID 标签与经 RFID 登记的成 员一一对应,并利用按键装置将未经 RFID 登记的访客与经 RFID 登记 的成员相关联,可以根据当前集体宿舍中人员的组成,实时调整使用 电量的分配,做到准确、及时、合理的电量使用统计。
华中科技大学 2021-04-13
一种用于 RFID 标签生产的点胶控制设备
本发明公开了一种用于 RFID 标签生产的点胶控制设备,包括XYZ 三轴运动单元、针筒单元、图像采集单元、设备控制单元以及气路调整单元,其中通过对点胶前后的点胶位置、胶滴固化前后的形状尺寸、针筒内部的压力和温度、点胶高度等予以检测,并相应执行闭环控制处理,能够在对点胶压力和点胶时间等关键工艺参数进行控制的同时,使得点胶位置和胶滴的最终形状尺寸满足工艺要求。通过本发明,能够对 RFID 标签的整个封装过程执行快速、精确和全面的质量控制,同时具备结构紧凑、便于操控和适应性强等特点,因而适于各类 RFID
华中科技大学 2021-04-14
一种 RFID 天线的外观缺陷检测系统及其方法
本发明公开了一种用于 RFID 天线的外观缺陷检测方法,包括:摄像装置的预标定步骤;将摄像装置移动至所需位置,并通过与条形光源或背光光源之间的配合,对待检测的天线拍摄其图像;采集所拍摄的图像并对其执行边缘检测,由此获得检测图像内的天线数量并分别记录其长、宽和中心点坐标值等信息;以及根据需求,选择性执行线宽检测、图案断线/粘连检测和毛刺/印刷污染检测等项目中的至少一项,由此获知所检测天线的质量结论。本发明还公开了相应的检测系统。通过本发明,能够以结构紧凑、便于操作的方式来对 RFID 天线执行质量检测
华中科技大学 2021-04-14
RFID辅助的地铁列车位置检测及精确停车系统
本实用新型公开了一种RFID辅助的地铁列车位置检测及精确停车系统,可用于对现有轨道交通列车位 置检测结果的实时校正。该系统包括车载读写器、射频天线、地面电子标签、列车信息处理单元和后台主 系统,车载读写器安装于地铁列车的头部,并与列车信息处理单元连接;射频天线安装于列车头底部的中 心,并位于轨道中心线的正上方;轨道中心线上装有距离间隔不等的地面电子标签。本实用新型可实现地 铁列车位置的实时检测和列车的精确停车,列车精确停车技术有效缩短了站台的长度,节约了投资成本, 能最大限度的与站台屏蔽门相吻合,方便乘客上下车,满足乘客出行的舒适性需求。
南京工程学院 2021-04-13
一种用于 RFID 标签生产的基板输送控制方法
本发明公开了一种用于 RFID 标签生产的基板输送控制方法, 包括:输入有关基板输送的一系列工艺参数,然后采集获取基板的当 前状态参数值;将基板的多个张力当前值分别与参考值相比较,并采 用双重张力控制方式来保证基板张力的稳定;此外,采用基于机器视 觉的纠偏方式来保证基板横纵向的精确定位。通过本发明,能够更好 地满足基板的张力控制需求,进一步改善定位精度,同时具备适应各 类复杂工况、不易被干扰、高效率和高可靠性等特点。 
华中科技大学 2021-04-11
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