本发明提出这样一种阳极键合工艺方法：将 MEMS 陀螺仪器件层沉积到临时高分子衬底上，完成金属电极沉积和 MEMS 结构刻蚀之后，将临时高分子衬底用化学机械抛光的方法去除。去除之后，将玻璃基体和玻璃盖帽分别紧贴 MEMS 结构的两侧，加电加热后一次完成双面阳极键合。这种工艺方法与传统的两次阳极键合分两步进行相比，更加节省成本，而且避免了第二次阳极键合对第一次阳极键合强度削弱这个固有缺点，使得产品可靠性提高。

本发明公开了一种基于位移差分的 MEMS 重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元；前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量，后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量，第一组梁和第一检验质量构成第一机械振子，第二组梁和第二检验质量构成第二机械振子，第一振子单元和第二振子单元相向正对设置，第一机械振子和第二机械振子的敏感轴位于同一直线上，第一检验质量上的电容阵列与第二检验质量上的电容阵列构成位移检测电容，通过位移检测电容测得检验质量的位移差进而得到

2025年2月7日，珠海昊星自动化系统有限公司（下简称：昊星）作为广东实验室行业协会副会长单位，成功举办新春行业交流活动。广东省实验室设计建造技术协会（下简称：协会）秘书长罗菲同霍尼韦尔、广东易众洁净科技等9家会员单位代表到访，与公司总经理张雁翔、市场总监林旭峰等管理团队共话行业发展。

产品详细介绍商品说明：  型号 ID-01 工作频率 125（Khz） 读卡时间 0.08（s） 品牌 荣士 电源功率 0.2（W） 感应距离 8-15（cm） 感应方式 非接触式读卡 适用卡类 EM4100系列 类型 感应式读卡器       较之于同行的特点 专用USB设备接口,只需一条USB线连上电脑; 应用国际一流的纠错防冲突技术，读卡速度快; 公司自主开发生产,性能价格比高; 低返回率,保修速度快,可根据用户需求提供OEM产品! 提供ACTIVEX控件，可用于WEB网页开发！ 产品介绍 ID-01型USB接口ID卡读器 是我公司运用行业最新技术开发出来的一种低成本高性能电脑外部设备,通过本公司提供的专用高性能驱动程序和接口动态库函数，可在自己的电脑软件上控制读卡、驱动蜂响器声响。 有卡在感应区时指示灯会闪，此时调用动态库函数读卡可确保一次100%能读出卡号，不必要在程序上循环多次调用读卡函数。无卡指示灯会停止闪动。 技术参数 1． 即插即用，专用电脑USB接口，本公司提供驱动程序，动态库接口，例子源码开发包。点击下载开发包 2． 由电脑USB接口提供稳定的电源，无需外接电源，并内置电源保护。 3． 一个LED指示灯和一个蜂鸣器，刷卡时蜂鸣器响一声，指示灯闪一下。 4． 支持μEM4001、4100或及其兼容的RFID，频率：125kHz，感应距离为80mm-150mm。 5． 调用读卡函数可读出全部5字节卡号，而不仅仅是一般读卡器的]四个字节。 6． 功耗<0.2W、低功耗造就低故障率。 7． 支持Windows95/98/2000/XP。 8． 国内读卡器流行的外形，(尺寸:长×宽×高）10.8cm×7.8cm×2.8cm。

本项目设计了一种特殊多连杆机构，能通过腕关节屈伸产生的自身力源，来实现简单抓取动作的仿人型截肢者用假手。该假手可以用于掌部截肢者，在外观、结构、运动功能等方面进行了仿人化设计，目的是提供一种接近人体手指正常运动功能的佩戴式机械仿真手指装置。它不但具备了人体手指的屈伸运动功能，而且还具备了抓握、拿捏功能，其装置小巧，外形接近人体手指大小，适合佩戴在残缺了的手上。

本发明涉及一种基于 MEMS 系统的高灵敏度高分辨率的微型温度传感器及监测方法，包括两组 V 型弯曲梁组件，其中每组 V 型弯曲梁组件包括若干上下叠放的 V 型梁，所述每组 V 型弯曲梁组件的所 有 V 型梁同中心，且同时固定在一个固定块上；两组 V 型弯曲梁组件通过连接杆与固定在一个杠杆的 一端，所述杠杆另一端设有压电陶瓷，压电陶瓷的上下断面分别是接电的上电极和下电极。本发明可以 感应极其微小的温度变化并且将之转换为较大的电信号输出，能够显著

“虚拟工艺”软件可由标准工艺流程文件和掩膜版图文件，模拟出所要加工的MEMS器件的真实三维结构，具有良好的通用性和精度。下图为自主开发的“虚拟工艺”软件生成的微夹钳三维结构。 “虚拟运行”软件对器件的运动情况进行仿真，并与最初设计方案比较来指导和修正实际加工。下图显示了微夹钳的虚拟运行结果，图中的器件颜色表示了器件运动时的剧烈程度，红色表示变形最剧烈的部分，淡蓝色表示变形较小的部分。

项目的背景及目的 迄今为止，集成电路的模拟、仿真直至评测已有了非常完善的工具软件；并已成为设计过程的重要组成部分；对设计的成功、可靠、高效都已起到决定性作用。而对MEMS而言，还相差甚远，这和MEMS发展的成熟程度有着直接关系。当然，这并不意味着MEMS不需要这样的工具和系统。相反，由于MEMS的功能多样、加工复杂、分析困难、设计周期长、成本高等。特别需要一个能包括运动仿真、评测在内的设计工具和系统。这是当前推动MEMS发展的当务之急。

本发明公开了一种基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法，包括玻璃基片和微流 控芯片基片；玻璃基片上集成有两相平行的 P(VDF-TrFE)电纺丝薄膜条；微流控芯片基片制作有微沟道 和分布于微沟道两侧的电极凹槽；微流控芯片基片还设有进样口、出样口和银浆注入口，进样口、出样 口与微沟道两端连通，银浆注入口与电极凹槽连通；玻璃基片和微流控芯片基片键合，?P(VDF-TrFE) 电纺丝薄膜条位于微沟道和电极凹槽底部。本发明制作简单，成本低廉