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MEMS压力传感器
成果简介： 自然频率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 灵敏度 50-80Hz/kPa 一个大气压下（101.3kPa）的谐振频率 63 kHz-75 kHz 受温度的影响 15V±1.5V 驱动电压 50-80Hz/kPa
电子科技大学
2017-10-23
非硅MEMS 技术及其应用
1988年国际上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技术是将IC工艺和机电设计相结合制造微传感器、微执行器和微系统的新技术，也称硅MEMS。作为对硅MEMS的补充和发展，非硅材料种类繁多、性能各异，能满足不同应用领域的需求，我们在国家863 计划等项目支持下于九十年代初首先提出并创立了非硅MEMS技术。 提出非硅MEMS新概念和总体思路；开发了以金属基为主的多种材料兼容的非硅表面微加工、高深宽比三维微加工等成套非硅微加工技术，为非硅MEMS发展奠定了良好基础；把经典原理和非硅微加工结合，开发了一系列压电、静电、磁电、微流体、惯性等种类的微器件和微系统，形成若干具有完全知识产权的专利群；并将非硅MEMS应用于生物芯片、微引信、信息、光器件、复合膜模具、国防武器、非硅MEMS生产线等众多领域，取得了显著的经济、社会效益，推动和引领了我国非硅MEMS技术的应用和发展。 非硅MEMS技术及其应用获得国家技术发明二等奖2项（2008，2000），省部一等奖4项，获2009年中国工业博览会创新奖；授权发明专利200多项；出版MEMS专著6部。
上海交通大学
2021-04-13
全自动基因测序建库仪-草履虫P3
长沙演化生物科技有限公司
2025-05-19
光学防抖MEMS驱动器
本发明公开了一种光学防抖MEMS驱动器.现有的光学防抖驱动器,最多仅具有五轴.本发明包括平面三轴驱动器和垂直三轴驱动器.所述的平面三轴驱动器包括第一框架,驱动臂和中间固定板.垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件.运动件包括第二框架,第二悬臂,偏转盘,弹簧条,中心盘和第三接触点.多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接,另一端均与第二框架连接.驱动件包括底盘和扇环状电极片组.扇环状电极片组包括n片扇环状电极片.n片扇环状电极片均固定在底板上.扇环状电极片组与偏转盘对齐.本发明可实现使图像传感器在平面三轴及竖直三轴上运动,解决由于相机抖动带来的图像模糊问题.
杭州电子科技大学
2021-05-06
光纤陀螺光纤环绕环机
将Φ0.08～Φ0.30mm直径的细丝规则缠绕在圆柱体、圆锥体、椭圆体上的机械设备。 主要应用对象：光纤陀螺、精密线圈、制导线圈等领域。 主要性能指标：1. 缠绕直径Φ0.08-Φ0.30mm（可扩展）；2. 张力控制范围3-100g（可扩展）；3. 张力控制精度±0.2g（可扩展）。
北京航空航天大学
2021-04-13
光纤陀螺光纤环绕环机
1、成果简介 将Φ0.08-Φ0.30mm直径的细丝规则缠绕在圆柱体、圆锥体、椭圆体上的机械设备。技术指标： 1、缠绕直径Φ0.08-Φ0.30mm（可扩展） 2、张力控制范围3-100g（可扩展） 3、张力控制精度±0.2g（可扩展）2、应用说明 应用对象：光纤陀螺、精密线圈、制导线圈、线导线圈等领域。3、效益分析 高技术产品
北京航空航天大学
2021-04-13
新型谐振MEMS微惯性传感器
研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器，达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围。
上海交通大学
2021-04-10
一种 MEMS 器件的封装方法
本发明公开了一种 MEMS 器件的封装方法，包括 S1 在框架基 板与封盖的内表面上对称附着图形化的过渡金属化层和钎料层；S2 在 框架基板的钎料层上附着图形化的自蔓延多层膜；S3 将芯片键合固定 在框架基板上并实现信号互连；S4 将固定有芯片的框架基板与封盖进 行除气除湿处理后对准堆叠形成封装结构；S5 对封装结构施加压力、 预热后引燃自蔓延多层膜，自蔓延多层膜燃烧并熔化钎料层实现冶金 互连。本发明将封盖直接与框架
华中科技大学
2021-04-14
新型谐振MEMS微惯性传感器
针对我国在军事、工业等领域对高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器日益迫切的需求，上海交通大学自2001年起就开展基于MEMS技术的微惯性传感器的研究，已成功研制十余款传感器样机，在研的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等预期体积小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围，特别适合在高G环境下进行空间位置测量、导航与姿态控制等。此外，其在消费电子市场以及汽车市场也拥有这巨大的应用空间，如手机、游戏机等手持电子设备的姿态控制系统，照相机、摄像机的稳定电子平台，汽车的防翻车预警系统等。。相关研究内容作为重要组成部分曾获省部级及以上奖励多次，授权发明专利几十余项，微陀螺方面的专利国内第一，国际第二，发表SCI/EI等论文几十篇。
上海交通大学
2021-04-13
具有翻转芯片功能的芯片吸取装置
本实用新型提供了一种具有翻转芯片功能的芯片吸取装置，包括 Z 向高度调节与支撑机构、翻转驱动机构、芯片吸取机构，Z 向高度调节与支撑机构将芯片吸取机构移动到适宜高度，翻转驱动机构驱动芯片吸取机构旋转，芯片吸取机构包括直线导向运动部件和芯片吸取元件，直线导向运动部件内设有直线轴承和弹簧，直线导向轴从上往下穿过直线轴承和弹簧，其端部连接芯片吸取元件，由于弹簧的缓冲作用，芯片吸取元件将芯片吸住后跟随芯片上升一定的高度，再在翻转驱动机构的作用下旋转到达芯片供给位置。本实用新型一方面避免了非接触式吸取的不可靠
华中科技大学
2021-01-12