1.痛点问题 光刻胶作为集成电路制备中不可或缺的一部分，已成为国家的战略资源之一。半导体光刻胶的核心在于成膜树脂，受限于研发难度大、专利壁垒高、资金投入多、准入门槛高，目前国内企业尚难以突破KrF胶（248nm）或ArF胶（193nm），而EUV胶完全不能自主供给。 2.解决方案 本项技术采用了国际最前沿的纳米氧化物团簇材料的工艺路线，可以实现单2nm小分子的光刻胶成膜树脂材料，攻克了材料合成和纳米材料提纯的难题，可满足目前半导体3nm制程节点的技术要求，RLS分辨率、边缘粗糙度、灵敏度三项关键性能指标优异，其曝光剂量远低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本线。此外，本项技术具有多种半导体光刻胶兼容性，可以生产248nm和193nm光源的半导体光刻胶成膜树脂，以及电子束半导体掩膜用光刻胶成膜树脂，具有广阔的技术替代优势和市场应用前景。 3.合作需求 本项技术已设立衍生企业，位于江苏常州的3000m2研发生产中心正在建设中。 1）融资需求：本轮天使轮融资6000万元。 2）资源对接需求：集成电路芯片制造、掩膜板生产企业，地方政府等。

本项目提出一种创新的集成电路(IC)制造工艺路线，即压印光刻(Imprint Lithography－IL)技术，并对该技术相关的压印和脱模工艺机理、紫外光固化阻蚀胶材料的物化和工艺特性、与IC制造其它工艺的综合集成和优化、压印光刻设备的关键技术等进行研究和技术开发。其基本原理为：以电子束直写刻蚀(或其它刻蚀技术)生成IC图型母板(模具)，以母板(模具)步

氯化聚氯乙烯 (CPVC) 是聚氯乙烯(PVC)经氯化制得的一种新型高分子材料，具有比PVC更 加优良的抗腐蚀、耐老化、难燃等性能，是橡胶与塑料的优良改性剂和添加剂。一般PVC的氯 含量为56-59%，CPVC为64-75%，与PVC相比，CPVC树脂具有更优良的使用温度、耐化学稳定 性、耐老化性及阻燃消烟性。CPVC管材使用温度范围广，一般PVC管材最高使用温度不超过 80°C，安全使用温度为60°C，CPVC管材最高使用温度为110°C，在95°C下使用时，可保持足 够的机械强度，特别适用于输送热水、热化学溶液。国内PVC的产能过剩，开发CPVC项目可 以解决PVC的产能过剩问题，解决氯气产能过剩的问题，提高附加值，对氯碱工业有巨大的促 进作用。目前大部分企业采用水相悬浮法制备CPVC，存在的最大的问题是氯化不均匀，如何 提高氯化的均匀度成为当务之急。本技术采用专有技术对PVC树脂进行氯化，不仅氯化均匀度 高，而且对PVC树脂的型号适应性强。

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表 征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩 模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网 格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。 

微纳米结构成形是光电子制造中的核心工艺之一。压印光刻克服了传统光学光刻中光学衍射效应的限制，是一种经济、高效、高分辨的结构成形方法。 正在探索的压印工艺方法包括：UV-NIL、模板电诱导自组装纳米成形、电润湿驱动纳米压印等。   正在探讨压印光刻的应用领域包括：集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、生物微流控、光波导、光或磁存储、有机光电子、平板显示等器件的制造。

研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook，Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利，依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队，初步建成光学精密制造和检测平台。

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，

聚乙烯醇缩丁醛树脂（简称PVB）是由聚乙烯醇（PVA）和丁醛进行缩合反应所合成的一种热塑型树脂产品。外观为白色粉末，可溶于甲醇、乙醇、酮类、卤代烷、芳烃类溶剂。并与硝酸纤维素、酚醛树脂、环氧树脂和一些增塑剂都具有良好的相溶性。PVB具有良好的成膜性，形成的涂膜具有较高的透明性、耐寒性、耐冲击、耐紫外辐照等优越的特性。并且PVB具有特殊的化学结构，能够与金属、玻璃、木材、陶瓷、纤维制品等有优良的粘结力，并对颜料与染料具有良好的分散性。其广泛应用于制作安全玻璃夹层膜，涂料和油漆，覆铜板，瓷用花纸，织物印花，水松纸，油墨，以及特种粘合剂等。 用 途 打印油墨、苯胺印刷油墨、照相凹版印刷油墨、色料准备：所有低粘滞度聚乙烯醇缩丁醛类型都适合用于苯胺印刷和照相凹版印刷油墨。一种规格在所有的产品中有最低的粘滞度。 暂时粘结剂、陶术粘合剂、用作金属粉末粘合剂：聚乙烯醇缩丁醛显示出良好的陶器的粒子分散性,烤干后有良好的外形稳定性。它在陶器的未加工片中作为用作粘合剂。 粘合剂、印刷电路板粘合剂：聚乙烯醇缩丁醛和酚醛树脂的混合物用于粘和含铜箔羟苯板,具有良好的粘性和耐剥离性。 漆包线卷粘合剂： 在漆包线卷上涂上聚乙烯醇缩丁醛胶液,加热并粘和金属丝。 热熔粘接剂、蚀洗用涂料： 作为蚀洗用涂料是聚乙烯醇缩丁醛的重要用途之一。强力粘和到金属和它上面的覆盖表面,可以暂时防锈。广泛应用于船只,桥梁,车辆,飞行器以及电器用具等上的钢件和铝件的底漆。蚀洗用涂料与几乎所有的表面涂料具有强力粘和性,包括以聚氯乙烯,三聚氰胺和油性的羟苯涂料。 汽车表面整修底漆: 以聚乙烯醇缩丁醛为基准对金属有强性粘和力,在汽车表面整修工作用作钝化底漆,在粗加工后在裸金属上涂上这种底漆。 金属漆: 在用于金属普通干燥涂料和烘漆的聚乙烯醇缩丁醛掺有天然树脂,合成树脂和快干油。通过添加一些聚乙烯醇缩丁醛。这种涂料的粘附性,坚韧性和实用耐久程度具有明显的改善。通过添加热固性树脂将其增加耐冲击性,柔韧性和粘附性。例如一种酚醛树脂与少量的聚乙烯醇缩丁醛的混合物可以制成优良烘漆,这种烘漆可用于食品容器。 金属箔漆: 在金属箔(主要是铝)上涂有聚乙烯醇缩丁醛胶液,可以增加金属箔的抵抗力和防潮性。另外只要通过熔接就会达到良好的包裹作用。与自动包装设备一起使用,来紧缩巧克力、饼干、医药和摄影产品等。 粉末涂料: 含环氧树脂融合聚乙烯醇缩丁醛在边缘覆盖和防止粉碎中有作用。 真空金属涂层涂料: 由于它们可以良好粘和塑料和金属,聚乙烯醇缩丁醛的酒精溶液用于真空金属涂层粘合剂和装潢漆。 上光表面保护涂料: 聚乙烯醇缩丁醛用于网球拍球拍夹等等。用于细木家具上漆,铜和银线上漆和各种金属涂覆表面的上漆。 覆膜: 聚乙烯醇缩丁醛覆膜在室温下具有卓越延展率,在低温下,这种属性也不会消失。在增塑剂的作用下这种产品可以在皮革上生成一层柔软和有伸缩性的薄膜。但这只是丁缩醛树脂的性质。 其他领域、反射性薄板粘合剂: 鉴于聚乙烯醇缩丁醛对色料具有良好的分散性,聚乙烯薄膜的透明度和对塑料膜的粘和性,这种PET和其他涂有聚乙烯和玻璃珠溶液的塑料膜应用于交通管制薄板和引导标记。 染料转印带状物油墨: 由于聚乙烯醇缩丁醛对染料具有良好的分散性,由于聚乙烯醇缩丁醛对染具有良好的分散性,以聚乙烯醇缩丁醛树脂的油墨和升华染料最初涂在塑料膜上,由热升华的染料转到表面处理过的纸上。 录音磁带涂料: 聚乙烯醇缩丁醛对磁粉末具有良好分散性,可以用作高级磁带粘合剂。 陶器的标注转印纸: 印有图案的转印纸是湿的,粘到陶器的表面和纺织品表面上然后撕走。图案就印到表面上了。